
книги из ГПНТБ / Зайцев Ю.В. Переменные резисторы
.pdfрование носителей заряда между отдельными частицами пленки, если ее температура не превышает 30—35°С. При более низких температурах туннельная эмиссия пре обладает в более широком диапазоне изменения а.
Проводимость и ТКр пленок зернистой структуры за висят также от температурных коэффициентов расшире ния проводящего материала и материала подложки. Ес ли температурный коэффициент расширения ТКР под ложки весьма значителен, то с повышением температуры расстояние между зернами будет увеличиваться, а ТКр становится более положительным. Обычно у материалов подложки ТКР незначителен и его влиянием на ТКр пленки можно пренебречь. Удельное сопротивление и ТКр монокристаллических полупроводниковых материа лов определяются температурной зависимостью подвиж ности и концентрации носителей заряда. В рабочем ин тервале температур концентрация носителей заряда практически постоянна и ТКр определяется температур ной зависимостью подвижности. Зависимость подвижно сти носителей заряда от температуры определяется их механизмом рассеяния; преобладающим механизмом рассеяния носителей заряда является рассеяние на теп ловых колебаниях решетки. Температурную зависимость подвижности, обусловленную рассеянием на тепловых колебаниях решетки (на фононах), для электронов и дырок в кремнии можно представить следующими соот ношениями:
uLn — 3,58* 105 Т-2,6; |
uLp = 2,40-104 т~2'3- |
(1-40) |
Аналогично для электронов и дырок в германии |
|
|
uLn = 4,90-103 Т-1,6; |
uLp= 1,05-105 Г - 2-33. |
(1-41) |
Зависимость подвижности, обусловленной рассеянием на ионизированных примесях, от температуры описыва ется уравнением
“/ = |
_________ 27/2 е2 (&Г)3/2_________ |
(1-42) |
|
||
|
|
где в — диэлектрическая проницаемость полупроводни кового материала; е — заряд электрона, N — концентра ция ионизированных примесей.
Подставляя в (1-42) значения диэлектрической про-
60
ницаемости для |
кремния е= 1 2 и эффективных |
масс |
||||
электрона m* = l,08m0 |
и дырки /п*=0,59т0, получим: |
|||||
|
4,36-1013 Г3/2 |
5,80-1013Г3/2 |
|
|||
u i n |
4 ,5 -108 Г 2 |
= |
4,5 • 108Т2 |
|
||
|
N In |
|
||||
|
ЛЧп 1 + |
N2/3 |
Ы2/3 |
|
||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
(1-43) |
|
Аналогично для германия получим: |
|
|
|||
|
„ |
_ |
|
11,4-1013 Г1*5 |
|
|
|
и 1п |
---------------------------- » |
|
|
||
|
|
|
N ln(l + 8 ,3 -108 T2/N2/3) |
|
|
|
|
и |
= |
|
НЯ-Ю^Т1’5 |
|
(1-44) |
|
Ip |
|
ЛПп(1+8,3-10sT2/N 2/3) |
|
|
Результирующая подвижность связана с усреднен ным временем релаксации соотношением « = е //п * < т > .
Пренебрегая рассеянием на дислокациях и нейтраль ных примесях (их вклад в результирующую подвиж ность невелик), запишем время релаксации так:
|
1 /т = |
1 /т L + |
1 /t j . |
|
|
||
|
Введем обозначения |
|
|
|
|
|
|
|
цт = (2 k T I m f 2; л: = |
vlv\ = E/(kT), |
|
||||
где |
vT— средняя тепловая |
скорость носителей заряда; |
|||||
v — скорость движения |
носителя заряда с энергией Е\ |
||||||
k — постоянная Больцмана; Т — температура. |
|
||||||
|
Тогда |
|
|
|
|
|
|
|
V-1 X 1 |
; т/ = |
Z (х) о3тх3/2 , |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
где |
lL — средняя длина |
свободного |
пробега |
носителей |
|||
заряда при рассеянии |
на |
фононах; |
Z(x) — некоторая |
||||
функция от х. Подставив |
в эти |
уравнения |
(1-43) и |
||||
(1-44), получим: |
|
|
|
|
|
|
|
|
и = и Л |
*3е*Р(--*> |
dx. |
|
|||
|
J |
I |
|
I |
n |
|
|
|
Л |
1 |
|
|
|
Поскольку функция Z(x) изменяется медленно при изменении х, считаем ее постоянной величиной, при ко торой подынтегральное выражение имеет максимальное
61
значение (расчет показывает, что возникающая при этом погрешность не превышает 2%). Можно показать,
Итак, для результирующей подвижности получим следующее выражение:
где |
|
|
Х = |
S i X = f — dX- |
CiX = f ^ ± d X . |
По приведенному выражению |
был произведен расчет |
|
ТКр |
для германия и кремния с различной концентраци |
ей легирующей примеси. Блок-схема программы расчета приведена на рис. 1-17, а основные данные, полученные в результате теоретического расчета, приведены на рис. 1-18.
Часто при конструировании переменных резисторов важно знать не только дифференциальный ТКр, а и средний ТК в рабочем интервале температур. В связи с этим были теоретически рассчитаны ТКр в интервале температур 200—300 К (рис. 1-19, а) и в интервале тем ператур 300—450 К- (рис. 1-19,6) для кремния и герма
ния с концентрацией легирующей примеси от |
1020 до |
1025 м_3. Теоретический расчет ТКр проведен |
автором |
на ЭЦВМ «Минск-22» в вычислительном центре Мо сковского ордена Ленина энергетического института.
В зависимости от характера изменения сопротивления в диапа зоне рабочих температур ТКС определяют либо в полном диапазо не рабочих температур, либо в поддиапазоне рабочих температур, что указывают в стандартах или ТУ на резисторы отдельных типов. Когда изменение сопротивления резисторов в диапазоне температур (или отдельных частях) имеет резко выраженный нелинейный ха рактер, ТКС резисторов определяют в поддиапазонах рабочих тем ператур.
Температуру, при которой производят измерение сопротивления, в каждом поддиапазоне выбирают из табл. 1-7 и 1-8.
При определении ТКС в полном диапазоне рабочих температур или в поддиапазонах рабочих температур сначала измеряют сопро тивление резистора при температуре + 2 5 ± 1 0 вС, а затем при задан ных положительной и отрицательной температурах. Длительность выдержки резисторов в камере тепла при нормальной температуре и в камере холода определяется моментом установления температур ного равновесия между резисторами и окружающим воздухом; она
62
Рис. 1-17. Блок-схемы программ расчета на ЭЦВМ подвижности носителей заряда и ТКр монокристаллических полупроводниковых материалов, используемых в ПЭ переменных резисторов.
_В |
гг |
■ |
4, В, Gt Е — постоянные, описывающие температурную зависимость подвижности и ^ “ АТ |
; <3=4,36*1013; £ “ 4,3-10® T2/N |
31 |
N — концентрация ионизированных примесей; Т — температура, К- |
|
|
г,5
1/К ТКр-102 |
S i п-типа. |
|
|
,Лл' = 10гом -•? |
|
'1021 |
|
2 - 1021 |
|
5 - 1 0
Рис. 1-18. Расчетные зависимости ТКр от температуры для монокристаллического кремния и германия с различной концентрацией легирующих примесей.
Рис. 1-19. ТКр кремния и германия в диапазоне температур
200—300 К (а) и 300—450 К (б).
|
|
|
|
|
Таблица 1-7 |
Максимальная |
Температура, при которой производят измерение |
||||
температура диапазона |
|
сопротивления, |
°С, в поддиапазонах |
||
рабочих температур, |
|
|
|
|
|
°С |
|
2 |
3 |
4 |
5 |
|
|
||||
55 |
55 |
|
|
|
|
70 |
70 |
|
|
|
|
85 |
85 |
100 |
|
|
|
100 |
70 |
125 |
|
|
|
125 |
70 |
100 |
|
|
|
155 |
70 |
100 |
155 |
200 |
|
200 |
70 |
100 |
155 |
|
|
Свыше 200 |
70 |
100 |
155 |
200 |
Т'макс |
|
|
|
|
|
Таблица 1-8 |
Минимальная температура |
|
Температура,при которой производят измерение |
|||
|
сопротивления, °С, в поддиапазонах |
||||
диапазона рабочих темпера |
|
|
|
|
|
тур, °С |
|
1 |
2 |
|
3 |
|
|
|
|||
—10 |
|
—10 |
|
|
|
—25 |
|
—25 |
—40 |
|
|
—40 |
|
—10 |
|
|
|
—55(—60) |
|
—10 |
—55(—60) |
|
|
—65 |
|
—10 |
—65 |
|
|
Ниже—65 |
|
—10 |
—65 |
|
Ттн |
задается в стандартах или технических условиях на резисторы от дельных типов; ТКС вычисляют по формуле
ТКС = ^ ’ |
(М5) |
66
где ДR — разность между сопротивлением, измеренным при задан ной положительной или заданной отрицательной температурах, и со противлением, измеренным при нормальной температуре; Ri — со противление резистора, измеренное при нормальной температуре, Ом; ДТ —■алгебраическая разность между заданной положительной или заданной отрицательной температурой и нормальной температурой.
Определение ТКС переменных резисторов производится путем измерения их сопротивления при заданных температурах с после дующим расчетом по формуле (1-45) или автоматически на специ альном измерителе ТКС, снабженном печатающим устройством.
1-4. Электродвижущая сила шумов
Шумы резистора — это случайные колебания разно сти потенциалов, возникающие на выводах ПЭ вследст вие флуктуаций объемной концентрации носителей за ряда в проводнике и флуктуаций сопротивления провод ника протекающему току. Величина шумов резистора накладывает ограничения на пороговую чувствитель ность электронных устройств, являясь помехой для по лезного сигнала.
Исследование шумов в ряде случаев позволяет вы явить особенности механизма электропроводности в ПЭ резистора, поскольку величина и характер шумов определяются условиями рассеяния носителей заряда в материале. Существует несколько механизмов, описы вающих шумы в резисторах.
Тепловые шумы обусловливаются хаотическим теп ловым движением электронов, вследствие чего на кон цах проводника возникает разность потенциалов. Проводящие материалы, применяемые при изго товлении резисторов, обычно имеют весьма высокую концентрацию носителей заряда с малой длиной сво бодного пробега. В таких проводниках происходит ча стый обмен энергией между носителями заряда, причем тепловые скорости носителей могут значительно превы шать направленную скорость их дрейфа, обусловленную внешним полем. В этих случаях собственное тепловое движение носителей можно считать не зависящим от приложенного поля.
Вследствие хаотического движения электронов час тотный спектр тепловых шумов равномерен до очень больших частот. Электродвижущая сила (э. д. с.) соб ственных шумов является мерой шумов резистора. Дей ствующее значение (среднеквадратическое) флуктуационного напряжения, обусловленного колебаниями объем
5* |
67 |
ной концентрации носителей заряда в проводнике (э. д. с. тепловых шумов) с активным сопротивлением R в ди апазоне частот Av, определяется формулой Найквиста
е] = |
4 kTR y(v) Av, |
(1-46) |
где &= 1,38-10-23 Дж/К — постоянная Больцмана; |
Т — |
|
температура проводника, |
К; y(v) — спектральная |
плот |
ность шумов. |
|
что |
При температурах 200—500 К можно считать, |
Y(v) = 1 вплоть до частот 1012—1013 Гц.
В случае, когда сопротивление резисторов имеет за метную реактивную составляющую в формуле Найкви
ста R необходимо |
заменить на ReZ, где Z — комплекс |
ное сопротивление |
резистора. |
Для диапазона частот Av=V2—Vi, формулу |
(1-46) |
при y(v) = 1 запишем так: |
|
ёт = (4 kTR A v)0,5 • |
(1-47) |
Зависимость э. д. с. шумов от сопротивления резис тора R и полосы частот Av= v—vi, рассчитанная при Т =*300 К, приведена на рис. 1-20, а. Отметим, что уро вень шумов высокоомных резисторов в ряде случаев пре вышает уровень шумов электронных ламп. Поэтому при малой величине сигнала с целью снижения уровня шу мов приходится использовать на входе схем резисторы с меньшими сопротивлениями, что приводит к уменьшению чувствительности схем.
В1ПЭ с гранулярной структурой наряду с тепловыми шумами возникают еще так называемые «токовые шу мы», связанные с флуктуациями тока, протекающего через контактные поверхности между частицами в про водящем материале. Для единичного контакта с сопро тивлением гк, к которому приложено напряжение UH среднеквадратичное напряжение шумов:
где а=0,8-т-0,9 [Л. 73].
Частотный спектр токовых шумов непрерывен, и в соответствии с законом колебания механического виб ратора (в данном случае гранулы проводника),амплиту да составляющих частот уменьшается с повышением ча стоты. При амплитуде колебаний В в частоте колебаний
68
v энергия колебания равна v2B2. С другой стороны, энер
гия колебания на одну ступень свободы равна ~ кТ.
На основе приведенных выражений амплитуда коле баний может быть записана так:
В = |
0,5 |
/V. |
Флуктуации контактных сопротивлений Агк пропор циональны амплитуде колебания гранул, и соответствен но среднеквадратичное напряжение токовых шумов об ратно пропорционально частоте. Так, для узкой полосы
частот Av<Cv, e^=GAv/v, |
где G — постоянная. |
Для |
|
диапазона частот V2—vi |
среднеквадратичное напряже |
||
ние ШУМОВ (при V2>Vi) |
|
|
|
е2 = |
Gi lg v2/vi. |
на |
|
Получим выражение для |
среднеквадратичного |
пряжения токовых шумов резистора, считая его ПЭ со стоящим из параллельно и последовательно включенных цепей единичных контактов: для п последовательно сое
диненных контактов е2п —пе2; для N параллельно соеди ненных контактов e2N = e 2/N.
Среднеквадратичное напряжение токовых шумов ре зистора с сопротивлением R — rKn/N
el = ?R/rK,
где rK— сопротивление единичного контакта; е2/гк — мощность шумов, постоянная для данной системы. Для композиционных ПЭ, несмотря на сложность структуры, хорошо выполняется для широкого диапазона сопротив
лений соотношение e2//'K= G2. Это свидетельствует о том, что изменение сопротивления элемента в основном про исходит за счет изменения числа параллельных прово дящих цепей N.
Рассмотренные соотношения позволяют получить вы ражение, описывающее э. д. с. токовых шумов резистора
[Л. 12]:
—G3(D/t)xUx ( — lg —У’5,
\ГК П1
где D — диаметр проводящих частиц; I — длина ПЭ; U — напряжение на ПЭ; х, G3 — коэффициенты, завися’ щие от структуры ПЭ,