Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Зайцев Ю.В. Переменные резисторы

.pdf
Скачиваний:
46
Добавлен:
24.10.2023
Размер:
11.18 Mб
Скачать

рование носителей заряда между отдельными частицами пленки, если ее температура не превышает 30—35°С. При более низких температурах туннельная эмиссия пре­ обладает в более широком диапазоне изменения а.

Проводимость и ТКр пленок зернистой структуры за­ висят также от температурных коэффициентов расшире­ ния проводящего материала и материала подложки. Ес­ ли температурный коэффициент расширения ТКР под­ ложки весьма значителен, то с повышением температуры расстояние между зернами будет увеличиваться, а ТКр становится более положительным. Обычно у материалов подложки ТКР незначителен и его влиянием на ТКр пленки можно пренебречь. Удельное сопротивление и ТКр монокристаллических полупроводниковых материа­ лов определяются температурной зависимостью подвиж­ ности и концентрации носителей заряда. В рабочем ин­ тервале температур концентрация носителей заряда практически постоянна и ТКр определяется температур­ ной зависимостью подвижности. Зависимость подвижно­ сти носителей заряда от температуры определяется их механизмом рассеяния; преобладающим механизмом рассеяния носителей заряда является рассеяние на теп­ ловых колебаниях решетки. Температурную зависимость подвижности, обусловленную рассеянием на тепловых колебаниях решетки (на фононах), для электронов и дырок в кремнии можно представить следующими соот­ ношениями:

uLn — 3,58* 105 Т-2,6;

uLp = 2,40-104 т~2'3-

(1-40)

Аналогично для электронов и дырок в германии

 

uLn = 4,90-103 Т-1,6;

uLp= 1,05-105 Г - 2-33.

(1-41)

Зависимость подвижности, обусловленной рассеянием на ионизированных примесях, от температуры описыва­ ется уравнением

“/ =

_________ 27/2 е2 (&Г)3/2_________

(1-42)

 

 

 

где в — диэлектрическая проницаемость полупроводни­ кового материала; е — заряд электрона, N — концентра­ ция ионизированных примесей.

Подставляя в (1-42) значения диэлектрической про-

60

ницаемости для

кремния е= 1 2 и эффективных

масс

электрона m* = l,08m0

и дырки /п*=0,59т0, получим:

 

4,36-1013 Г3/2

5,80-1013Г3/2

 

u i n

4 ,5 -108 Г 2

=

4,5 • 108Т2

 

 

N In

 

 

ЛЧп 1 +

N2/3

Ы2/3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(1-43)

 

Аналогично для германия получим:

 

 

 

_

 

11,4-1013 Г1*5

 

 

 

и 1п

---------------------------- »

 

 

 

 

 

N ln(l + 8 ,3 -108 T2/N2/3)

 

 

 

и

=

 

НЯ-Ю^Т1’5

 

(1-44)

 

Ip

 

ЛПп(1+8,3-10sT2/N 2/3)

 

 

Результирующая подвижность связана с усреднен­ ным временем релаксации соотношением « = е //п * < т > .

Пренебрегая рассеянием на дислокациях и нейтраль­ ных примесях (их вклад в результирующую подвиж­ ность невелик), запишем время релаксации так:

 

1 /т =

1 /т L +

1 /t j .

 

 

 

Введем обозначения

 

 

 

 

 

 

 

цт = (2 k T I m f 2; л: =

vlv\ = E/(kT),

 

где

vT— средняя тепловая

скорость носителей заряда;

v — скорость движения

носителя заряда с энергией Е\

k — постоянная Больцмана; Т — температура.

 

 

Тогда

 

 

 

 

 

 

 

V-1 X 1

; т/ =

Z (х) о3тх3/2 ,

 

 

 

 

 

 

 

 

где

lL — средняя длина

свободного

пробега

носителей

заряда при рассеянии

на

фононах;

Z(x) — некоторая

функция от х. Подставив

в эти

уравнения

(1-43) и

(1-44), получим:

 

 

 

 

 

 

 

и = и Л

*3е*Р(--*>

dx.

 

 

J

I

 

I

n

 

 

 

Л

1

 

 

 

Поскольку функция Z(x) изменяется медленно при изменении х, считаем ее постоянной величиной, при ко­ торой подынтегральное выражение имеет максимальное

61

значение (расчет показывает, что возникающая при этом погрешность не превышает 2%). Можно показать,

Итак, для результирующей подвижности получим следующее выражение:

где

 

 

Х =

S i X = f — dX-

CiX = f ^ ± d X .

По приведенному выражению

был произведен расчет

ТКр

для германия и кремния с различной концентраци­

ей легирующей примеси. Блок-схема программы расчета приведена на рис. 1-17, а основные данные, полученные в результате теоретического расчета, приведены на рис. 1-18.

Часто при конструировании переменных резисторов важно знать не только дифференциальный ТКр, а и средний ТК в рабочем интервале температур. В связи с этим были теоретически рассчитаны ТКр в интервале температур 200—300 К (рис. 1-19, а) и в интервале тем­ ператур 300—450 К- (рис. 1-19,6) для кремния и герма­

ния с концентрацией легирующей примеси от

1020 до

1025 м_3. Теоретический расчет ТКр проведен

автором

на ЭЦВМ «Минск-22» в вычислительном центре Мо­ сковского ордена Ленина энергетического института.

В зависимости от характера изменения сопротивления в диапа­ зоне рабочих температур ТКС определяют либо в полном диапазо­ не рабочих температур, либо в поддиапазоне рабочих температур, что указывают в стандартах или ТУ на резисторы отдельных типов. Когда изменение сопротивления резисторов в диапазоне температур (или отдельных частях) имеет резко выраженный нелинейный ха­ рактер, ТКС резисторов определяют в поддиапазонах рабочих тем­ ператур.

Температуру, при которой производят измерение сопротивления, в каждом поддиапазоне выбирают из табл. 1-7 и 1-8.

При определении ТКС в полном диапазоне рабочих температур или в поддиапазонах рабочих температур сначала измеряют сопро­ тивление резистора при температуре + 2 5 ± 1 0 вС, а затем при задан­ ных положительной и отрицательной температурах. Длительность выдержки резисторов в камере тепла при нормальной температуре и в камере холода определяется моментом установления температур­ ного равновесия между резисторами и окружающим воздухом; она

62

Рис. 1-17. Блок-схемы программ расчета на ЭЦВМ подвижности носителей заряда и ТКр монокристаллических полупроводниковых материалов, используемых в ПЭ переменных резисторов.

_В

гг

4, В, Gt Е — постоянные, описывающие температурную зависимость подвижности и ^ “ АТ

; <3=4,36*1013; £ “ 4,3-10® T2/N

31

N — концентрация ионизированных примесей; Т — температура, К-

 

 

г,5

1/К ТКр-102

S i п-типа.

 

л' = 10гом -•?

 

'1021

 

2 - 1021

 

5 - 1 0

Рис. 1-18. Расчетные зависимости ТКр от температуры для монокристаллического кремния и германия с различной концентрацией легирующих примесей.

Рис. 1-19. ТКр кремния и германия в диапазоне температур

200—300 К (а) и 300—450 К (б).

 

 

 

 

 

Таблица 1-7

Максимальная

Температура, при которой производят измерение

температура диапазона

 

сопротивления,

°С, в поддиапазонах

рабочих температур,

 

 

 

 

 

°С

 

2

3

4

5

 

 

55

55

 

 

 

 

70

70

 

 

 

 

85

85

100

 

 

 

100

70

125

 

 

125

70

100

 

 

155

70

100

155

200

 

200

70

100

155

 

Свыше 200

70

100

155

200

Т'макс

 

 

 

 

 

Таблица 1-8

Минимальная температура

 

Температура,при которой производят измерение

 

сопротивления, °С, в поддиапазонах

диапазона рабочих темпера­

 

 

 

 

тур, °С

 

1

2

 

3

 

 

 

—10

 

—10

 

 

 

—25

 

—25

—40

 

 

—40

 

—10

 

 

—55(—60)

 

—10

—55(—60)

 

 

—65

 

—10

—65

 

 

Ниже—65

 

—10

—65

 

Ттн

задается в стандартах или технических условиях на резисторы от­ дельных типов; ТКС вычисляют по формуле

ТКС = ^ ’

(М5)

66

где ДR — разность между сопротивлением, измеренным при задан­ ной положительной или заданной отрицательной температурах, и со­ противлением, измеренным при нормальной температуре; Ri — со­ противление резистора, измеренное при нормальной температуре, Ом; ДТ —■алгебраическая разность между заданной положительной или заданной отрицательной температурой и нормальной температурой.

Определение ТКС переменных резисторов производится путем измерения их сопротивления при заданных температурах с после­ дующим расчетом по формуле (1-45) или автоматически на специ­ альном измерителе ТКС, снабженном печатающим устройством.

1-4. Электродвижущая сила шумов

Шумы резистора — это случайные колебания разно­ сти потенциалов, возникающие на выводах ПЭ вследст­ вие флуктуаций объемной концентрации носителей за­ ряда в проводнике и флуктуаций сопротивления провод­ ника протекающему току. Величина шумов резистора накладывает ограничения на пороговую чувствитель­ ность электронных устройств, являясь помехой для по­ лезного сигнала.

Исследование шумов в ряде случаев позволяет вы­ явить особенности механизма электропроводности в ПЭ резистора, поскольку величина и характер шумов определяются условиями рассеяния носителей заряда в материале. Существует несколько механизмов, описы­ вающих шумы в резисторах.

Тепловые шумы обусловливаются хаотическим теп­ ловым движением электронов, вследствие чего на кон­ цах проводника возникает разность потенциалов. Проводящие материалы, применяемые при изго­ товлении резисторов, обычно имеют весьма высокую концентрацию носителей заряда с малой длиной сво­ бодного пробега. В таких проводниках происходит ча­ стый обмен энергией между носителями заряда, причем тепловые скорости носителей могут значительно превы­ шать направленную скорость их дрейфа, обусловленную внешним полем. В этих случаях собственное тепловое движение носителей можно считать не зависящим от приложенного поля.

Вследствие хаотического движения электронов час­ тотный спектр тепловых шумов равномерен до очень больших частот. Электродвижущая сила (э. д. с.) соб­ ственных шумов является мерой шумов резистора. Дей­ ствующее значение (среднеквадратическое) флуктуационного напряжения, обусловленного колебаниями объем­

5*

67

ной концентрации носителей заряда в проводнике (э. д. с. тепловых шумов) с активным сопротивлением R в ди­ апазоне частот Av, определяется формулой Найквиста

е] =

4 kTR y(v) Av,

(1-46)

где &= 1,38-10-23 Дж/К — постоянная Больцмана;

Т

температура проводника,

К; y(v) — спектральная

плот­

ность шумов.

 

что

При температурах 200—500 К можно считать,

Y(v) = 1 вплоть до частот 1012—1013 Гц.

В случае, когда сопротивление резисторов имеет за­ метную реактивную составляющую в формуле Найкви­

ста R необходимо

заменить на ReZ, где Z — комплекс­

ное сопротивление

резистора.

Для диапазона частот Av=V2—Vi, формулу

(1-46)

при y(v) = 1 запишем так:

 

ёт = (4 kTR A v)0,5 •

(1-47)

Зависимость э. д. с. шумов от сопротивления резис­ тора R и полосы частот Av= v—vi, рассчитанная при Т =*300 К, приведена на рис. 1-20, а. Отметим, что уро­ вень шумов высокоомных резисторов в ряде случаев пре­ вышает уровень шумов электронных ламп. Поэтому при малой величине сигнала с целью снижения уровня шу­ мов приходится использовать на входе схем резисторы с меньшими сопротивлениями, что приводит к уменьшению чувствительности схем.

В1ПЭ с гранулярной структурой наряду с тепловыми шумами возникают еще так называемые «токовые шу­ мы», связанные с флуктуациями тока, протекающего через контактные поверхности между частицами в про­ водящем материале. Для единичного контакта с сопро­ тивлением гк, к которому приложено напряжение UH среднеквадратичное напряжение шумов:

где а=0,8-т-0,9 [Л. 73].

Частотный спектр токовых шумов непрерывен, и в соответствии с законом колебания механического виб­ ратора (в данном случае гранулы проводника),амплиту­ да составляющих частот уменьшается с повышением ча­ стоты. При амплитуде колебаний В в частоте колебаний

68

v энергия колебания равна v2B2. С другой стороны, энер­

гия колебания на одну ступень свободы равна ~ кТ.

На основе приведенных выражений амплитуда коле­ баний может быть записана так:

В =

0,5

/V.

Флуктуации контактных сопротивлений Агк пропор­ циональны амплитуде колебания гранул, и соответствен­ но среднеквадратичное напряжение токовых шумов об­ ратно пропорционально частоте. Так, для узкой полосы

частот Av<Cv, e^=GAv/v,

где G — постоянная.

Для

диапазона частот V2—vi

среднеквадратичное напряже­

ние ШУМОВ (при V2>Vi)

 

 

 

е2 =

Gi lg v2/vi.

на­

Получим выражение для

среднеквадратичного

пряжения токовых шумов резистора, считая его ПЭ со­ стоящим из параллельно и последовательно включенных цепей единичных контактов: для п последовательно сое­

диненных контактов е2п —пе2; для N параллельно соеди­ ненных контактов e2N = e 2/N.

Среднеквадратичное напряжение токовых шумов ре­ зистора с сопротивлением R — rKn/N

el = ?R/rK,

где rK— сопротивление единичного контакта; е2/гк — мощность шумов, постоянная для данной системы. Для композиционных ПЭ, несмотря на сложность структуры, хорошо выполняется для широкого диапазона сопротив­

лений соотношение e2//'K= G2. Это свидетельствует о том, что изменение сопротивления элемента в основном про­ исходит за счет изменения числа параллельных прово­ дящих цепей N.

Рассмотренные соотношения позволяют получить вы­ ражение, описывающее э. д. с. токовых шумов резистора

[Л. 12]:

G3(D/t)xUx ( — lg —У’5,

\ГК П1

где D — диаметр проводящих частиц; I — длина ПЭ; U — напряжение на ПЭ; х, G3 — коэффициенты, завися’ щие от структуры ПЭ,

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ