
книги из ГПНТБ / Иваницкий Г.Р. Исследование микроструктуры объектов методами когерентной оптики
.pdfТаким образом, при параллельном переносе модуль спектра не изменяется |Si(co.v, соу) |= |S2(co.v, му) I. но по
является |
дополнительный |
фазовый |
множитель |
ехр [/(со.-сДА'+а)уДг/)]. Этим обстоятельством |
пользуются |
для получения инвариантных к сдвигу описаний объекта [Л. 101]. Как уже отмечалось, все существующие светопрнемнпкп, включая глаз человека, реагируют только на освещенность и не замечают изменения фазы, поэтому при параллельном переносе элементов объекта в плоско сти Пя1 для наблюдателя характер спектра в плоскости
Плч не изменяется. |
у') вокруг начала коор |
При повороте функции |
динат на произвольный фиксированный угол а величина якобиана преобразования |D| = 1. Кроме того, известно [Л. 41], что если матрица А описывает поворот коорди натной сетки вокруг начала координат, то матрица, обратная к А, транспонирована с ней, т. е.
( А ) - » = |
(А)'. |
(30) |
Учитывая (30) и (27), можно прийти к выводу, что |
||
при повороте объекта |
|
|
М = |
L, |
(31) |
т. е. спектр поворачивается на такой же угол.
При равномерном изменении масштаба (сжатии и растяжении) функция fi(x', у') принимает тр^{тх,ту). При этом матрицы М н L, определяющие координаты точек объекта и его спектра соответственно во входной и частотной плоскостях, вырождаются в диагональные и принимают форму
|
М = |
m |
|
пг |
(32) |
|
0 |
|
I |
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
пг |
|
Величина |D| |
согласно |
(28) будет равна mг-. Спектр |
|||
(сйж, соу) преобразованной функции равен: |
|
||||
S2(wx, |
+ 0О |
|
|
|
|
Шу) = j j |
f„ (rnx, my) exp [— /(шхх -f- totJy)] dx dy. |
||||
Вводя |
новые |
переменные x'=m x, y,= my, получим: |
|||
|
|
|
|
"Г «-*-> |
|
|
>sK. |
= |
U * '. У')Х |
|
30
X exp [ — j ^ Л+ |
у) ] dx' dlJ'- |
(33) |
Интеграл (33) есть не что иное, как спектр исходного сигнала fi(x', у') при частотах соJm и щ/т, т. е.
S2К , a>u) = — Sl |
(34) |
Итак, при равномерном сжатии точек объекта в пло скости Пл1 в частотной плоскости Плг во столько же раз расширяется спектр на оси частот и уменьшается мо дуль спектра, при равномерном увеличении размеров объекта происходит равномерное сжатие спектра и соот ветственное увеличение его модуля.
8. ПЛОСКИЙ ОБЪЕКТ С ХАОТИЧЕСКИМ РАСПОЛОЖЕНИЕМ И СЛУЧАЙНОЙ ОРИЕНТАЦИЕЙ ЭЛЕМЕНТОВ, ФОРМА
КОТОРЫХ ОТЛИЧАЕТСЯ ОТ КРУГА
Если Л0б (г, 0 ) — функция, описывающая распределе ние амплитуд в плоскости объекта, то при когерентном освещении и бесконечной апертуре системы спектр этой функции в полярных координатах можно записать:
|
оо |
2г. |
|
|
S06.a (р. ф) = |
f г dr |
I* Аоб (г,Ч) ехр {—/Г[гр cos (0 — Ф)]} с?0. |
||
|
6 |
6 |
|
(35) |
|
|
|
|
|
Периодичность |
аргумента 0 в функции Л0б(г, 0) |
по |
||
зволяет записать ее так: |
|
|||
• |
|
|
00 |
|
Лоб(г, |
0 ) = £ Ат {г) ехр(/т0). |
(36) |
||
|
|
|
1Н— — СО |
|
В соответствии со стандартным приемом [Л. 78] |
||||
спектр этой функции можно выразить |
|
|||
|
|
00 |
(37) |
|
S oG.a(P> |
Ф )= |
|
Sm (р) ехр |
|
где |
Ш = |
— СО |
|
|
|
|
|
|
|
|
Sm = |
f Ат (г) Jm (гР) г dr\ |
(38) |
|
|
|
|
О |
|
Jm — функция Бесселя первого рода и т-го порядка. |
|
31
Отметим в соответствии с формулой (31)
Л 0б ( Л 0) — S 06.r (P. Ф );
Л 0б [/'. (6 — « ) ] — 5 0б.а [р, (Ф — а )].
Если в дополнение к повороту функция Л0о(г, 0) сме щается в направлении 0Она величину г0 из своего преж него положения, то согласно формуле (29) спектр примет вид:
Soc.afp, (Ф—та)]ехр{—/[pr0cos (0О— Ф)]}. |
(40) |
Если имеется N объектов подобной формы и одинако вых размеров, разбросанных хаотически со случайной
ориентацией |
в плоскости |
(г, 0), то спектр для |
всего |
|
ансамбля непрерывающпхся объектов будет: |
|
|||
|
N |
|
|
|
SN(Р. |
ф) = S |
5 0б.а [р, (Ф — а й )] ехр {—у fprs cos (0fi — |
Ф)]}, |
|
|
S=l |
|
(41) |
|
|
|
|
|
|
где |
ag, rg, |
Qg— случайные |
переменные, суммирование |
идет по индексам для всех объектов. Значение спектра более детально можно записать с учетом (37)
/V |
|
/V |
|
|
Sn = J ] |
(Р) |
ехр |
(ф — ag— |
— |
Ш= —00 |
|
g = 1 |
|
|
|
— |
P 'fiC o s ( 0 g — Ф ) ] | . |
(4 2 ) |
Суммирование по g во втором сомножителе формулы (42) может рассматриваться как суммирование векторов, имеющих единичную длину, случайную фазу или ориен тацию в комплексной плоскости.
Если любое значение фазы равновероятно, то в соот ветствии с теорией случайных процессов [Л. 65] наиболее ожидаемой величиной суммы по g будет Nl>2.
' Таким образом, наиболее вероятная величина интен
сивности в спектральной |
плоскости |
будет: |
|
|
|||
|
|
|
|
|
00 |
|
|
5 НЛ, (Р, |
Ф ) = < [SN(Р, |
Ф )]2> |
= |
N |
£ |
[ S m (р)]2, |
(4 3 ) |
|
|
|
|
|
т = — со |
|
|
где угловые |
скобки означают |
усреднение |
по всему |
ан |
|||
самблю. Фактически это |
другая |
запись выражения |
(22) |
32
со
при Q = X [Sm(p)]2. На основании теоремы Парсеваля1
1П——0О
можно также записать:
о- |
|
S„.v(P) = yv f Is a(p, Ф)Г^Ф- |
(44) |
6 |
|
Здесь берется N раз среднее в секторе йФ для каж дого угла (]> и для каждой отдельной частицы. Интенсив ность при этом есть величина, получаемая за счет стати стического усреднения амплитуд волн, дифрагируемых объектами в направлении угла Ф.
Таким образом, решая обратную задачу, т. е. измеряя интенсивность спектра как функцию вектора-радиуса р необходимо найти i[5a(p, Ф)] для каждой группы микро объектов, отличающихся своими геометрическими пара метрами. Затем на основании этого результата можно определить неизвестный параметр простых по форме ми крообъектов, для которых вычислено значение Q (напри мер, круглых объектов с различными радиусами, прямо угольных объектов с постоянной шириной, но с перемен ной длиной и т. д.).
Рассмотрим техническую реализацию этой програм мы. В этом случае основой расчетов может служить
интегральное выражение [Л. 76] |
|
S„ (р) = j п (v) Q (р, v) dv, |
(45) |
v1 |
|
где v — изменяющийся параметр класса микрообъектов. Например, v может быть радиус круглых дисков, a n(v)dv — число дисков с радиусом v между v и v + dv.
На рис. 4 показана структурная схема установки и результаты измерении, полученные на ней [Л . 76].
Измерения производятся в фокальной плоскости (рис. 4), в ко торой собран прямой пучок; левее диафрагмы создается параллель ный монохроматический пучок света (при использовании излучения ОКГ диафрагма не нужна).
Измеряемые микрообъекты располагаются |
на |
предметном стек |
ле в рабочем пространстве установки (между |
6 и |
7). Свет, рассеян |
ный под данным углом Ф ь приходит в фокальную плоскость на за данное расстояние от центра. Регистрация S „(p) производится либо на фотопленку с последующим фотометрированием, либо фотоумно-
Формулировку теоремы Парсеваля см., например, в книге А. Арго «Математика для электро- и радиоинженеров». М., «Наука», 1965, стр. 664.
3—552 |
33 |
жителем. Последний перемещается в фокальной плоскости по ра диусу, от центра к периферии. Размер фокального пятна в этих из
мерениях соответствовал Ф инн«10'. |
Измерения S „(p) производились |
|||
для углов Ф 1 >|ФмI,„ и захватывали |
область до |
Ф |^5 -ь 6°. Освещен |
||
ность в фокальной плоскости убывает чрезвычайно |
быстро, |
пример |
||
но на порядок на каждый градус |
угла Ф|. |
При |
столь |
больших |
Рис. 4. Структурная схема установки для измерения распределения частиц по размерам и результаты, полученные при ее использовании.
а — структурная схема установки; б — распределение частиц по размерам, по лученное на установке и микрофотографически (плоские модели метнл-
метакрнлатового порошка): |
/ — оптический блок: 1 — точечный источник, 2 — |
|
конденсорная линза, 3 — узкополосный светофильтр; |
4 — точечная диафрагма, |
|
5 — коллимационная линза; |
6 — выходная диафрагма; |
7 — приемная линза, 8 — |
фокальная плоскость линзы |
7, 9 — рабочее пространство, 10, II — нейтральные |
ослабители, расположенные в фокальной плоскости; II — блок, преобразующий освещенность в электрический сигнал: 12 — двигатель фотоумножителя. 13 — ре
версивная муфта, 14— ФЭУ, |
15 — усилитель, 16 — функциональный потенцио |
||
метр; ///-счетно-решающий |
блок: 17 — устройство дифференцирования. |
18 — |
|
функциональное устройство, |
19 — блок |
произведения, 20 — интегратор; |
IV — |
устройства управления {21), памяти (22), |
индикация {23). |
|
перепадах (на 5— б порядков) для измерений в области малых Ф 1 целесообразно использовать нейтральные ослабители. Фон прибора, возникающий за счет рассеяния на оптических элементах системы, вычитается при измерениях. На рис. 4,6 сопоставлены кривые рас пределения, полученные расчетом по формуле (45) (сплошные ли нии), с данными, полученными прямым измерением на микрофото графиях '(столбчатые кривые).
34
Значительное время при |
обработке данных занимает расчет. |
В связи с этим из готовых |
блоков автором собрана счетно-решаю |
щая приставка, структурная |
схема которой приведена в правой ча |
сти рис. 4,а. Прибор имеет следующие характеристики. Минимальный радиус объектов с/мии/2— 1 мкм; максимальный радиус </макс/2= =50 мкм; минимальная концентрация »Мпп= 50 '1 /см3; максимальная
концентрация /гМпкс = 800 1/см3; скорость |
измерений-— около 20 то |
чек кривой N (d) в I мин. Расхождение |
с микрофотографическими |
данными в максимуме -распределения оказалось около 5— 10%, на краях — около 20%.
Некоторые добавления к описанному выше методу позволяют применить его к более общим задачам классификации |Л . 78]. Оста новимся на них подробнее.
Обозначим N j — число мнкрообъектов /-го типа, М -равно числу классов, в которые группируются микрообъекты. Общее количество всех микрообъектов
|
|
|
|
М |
|
|
|
|
|
|
N = |
2 |
N ]. |
|
(46) |
|
|
|
|
/=' |
|
|
|
С учетом выражения |
(-12) |
получим равенство |
|
||||
|
|
м |
со |
|
4з |
|
|
5'д, (Р- ф) = J |
] |
|
Som (р) |
exp | / |\ и |^Ф — |
|
||
|
/= I т = — оо |
д= I |
|
|
|||
— |
ag |
— |
|
— P'-g cos (0g - Ф) j } , |
(47) |
||
где S jm — обозначение |
Sm для |
/-го |
типа |
мнкрообъектов. |
Очевидно, |
что разделение -на Л4 групп возможно только, когда различие в рас сеивающих свойствах этих групп будет достаточно большим по от ношению к уровню шумов в измерительной системе.
Освещенность в этом случае можно записать:
М оо
[5'д,(р, |
ф)]* = |
£ |
Л/, |
2 |
[S,m(p)l2 |
(48) |
|
или в сокращенной записи |
|
/=1 |
///=—00 |
|
|||
|
|
м |
|
|
|
||
|
S '„ Д. (Р) |
|
|
|
|
||
|
=S Af3-Qj. |
(49) |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
где |
|
|
|
|
|
|
|
|
СО |
|
|
|
2 тс |
|
|
Qi (р) = |
S |
[S,m(р)]2 = |
j |
[S, (р,Ф)Р й Ф . |
(50) |
||
///= —оо |
|
|
|
О |
|
|
|
Если удается измерить значения спектра как функцию |
радиуса |
||||||
Рь где [= 1 , 2, 3 ,..., Р, |
то |
можно |
составить Р линейных уравнений, |
||||
используя значение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
S u i —-5л (рО; |
|
(51) |
|||
|
|
Qi j = Qj (рО • |
|
(52) |
3 |
35 |
С учетом (49) можно записать:
р
Sui — |
QijNj. |
(53) |
|
/= I |
|
Теперь необходимо определить вектор N, координаты |
которого |
|
/V|, iV2, . .., N m неизвестны, но |
в результате эксперимента |
и вычис |
лении известна группа линейных преобразований (52), в которую они
входят. |
|
|
|
|
|
|
В матричной записи |
|
|
|
|
|
|
|
S = QN. |
|
|
(54) |
||
Группа линейных преобразований |
позволяет |
перейти |
от |
вектора |
||
S к вектору N. Матрица преобразований будет: |
|
|
|
|||
|
Qn . . . . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(55) |
|
Q p i . . . • • • • • Q p m |
|
|
|
||
Векторы S и N соответственно описываются |
матрицей |
из одно |
||||
го столбца |
|
|
|
|
|
|
|
- s r |
~ |
N , ~ |
|
|
|
|
s 2 |
|
n 2 |
|
|
|
|
|
I! |
|
|
|
(56) |
отсюда |
SP - |
_ A 'm _ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
51 — QuN, -(- Qi2/V2 4- ... + Qi m |
> |
|
|
|||
52 = |
Q2i/V, + Q22W2 + |
... + |
|
|
(57) |
|
|
|
|
|
|
|
|
SP — |
QP tN l -)- Q p2^2 -|- ... + |
|
|
|
||
Решая систему этих уравнений, |
можно найти значения |
вектора |
||||
N. Очевидно, что при больших значениях М такую задачу можно |
||||||
решить только с использованием ЭВМ . Кроме |
того, |
необходимо, |
||||
чтобы Р ^ М , желательно, чтобы |
Р ^> М . В этом |
случае значения До |
будут определены с наибольшей вероятностью, которая вообще до стижима при таком методе подсчета.
Фактически в выражении (53) в правой части имеется два неизвестных. Значение левой части получают, измеряя освещенность дифракционных колец в спектральной плоскости. Как же пользовать
ся приведенными формулами? |
|
|
|
|
|
Для определения одного из неизвестных Q j |
(матрицы |
Q) |
воз |
||
можны два пути — |
аналитического |
расчета либо |
эксперимента. |
Рас |
|
чет выполнен для |
некоторых простых объектов: |
круги, |
эллипсы, |
||
прямоугольники, |
определенные |
скопления точек (см. |
ссылки |
в {Л . 72]). |
Для бодее сложных объектов аналитические преобразова |
|
ния очень |
громоздки либо просто невозможны. В этом случае при |
|
меняют экспериментальный |
метод, основанный на создании эталона |
|
с использованием уравнения |
(51). |
36
Выделим группу частиц /-го типа и найдем для нее Q a путем последовательного интегрирования светового потока в небольшой кольцевой зоне на радиусе р< и отнесем его к площади кольца. Та
ким |
образом, получаем набор значения Q fj, т |
|
е. |
матрицу |
Q. |
|
|
При исследовании препарата, состоящего |
из |
таких же |
частиц, |
||
но |
с неизвестной пропорцией между ними, мы, |
зная Q,-,j |
и |
измерив |
||
S A, |
, вычислим по формуле (54) значения N j. |
|
|
|
|
|
|
9. ПЛОСКИЙ ОБЪЕКТ С ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕШЕТЧАТОЙ |
|||||
|
МИКРОСТРУКТУРОЙ |
|
|
|
|
|
|
В природе встречаются объекты, |
в |
которых |
|
состав |
ляющие их функциональные элементы имеют четко вы раженную преимущественную ориентацию. Такими струк турами особенно богата живая природа, где часто в пре делах небольшой области реализуется принцип само сборки некоторой структурной единицы с размножением ее путем параллельного переноса (рис. 5). Моделью та ких микроструктур может служить решетка.
При прохождении света через решетку, состоящую из чередующихся прозрачных и непрозрачных полосок, воз никает периодическое изменение амплитуды падающей волны вдоль направления, перпендикулярного штрихам решетки. Отражательная решетка создает периодическое изменение фазы.
При обсуждении вопросов формирования оптических изображений удобно рассматривать отдельно амплитуд ные решетки, вызывающие только изменения амплитуды, и фазовые решетки, определяющие только изменения фа зы. Реальные объекты могут давать одновременно изме нение амплитуды и изменение фазы.
Если на амплитудную синусоидальную решетку па дает плоская волна, то прошедшую сквозь нее или отра
женную ее |
волну |
можно описать уравнением А (у) — |
= а sin (соУу) |
smcotf. |
Аналогичным образом фазовая сину |
соидальная решетка вызывает синусоидальное изменение фазы волны.
Для того чтобы получить распределение, описываемое этим уравнением, необходимо иметь синусоидальное
изменение пропускания и изменение |
знака |
амплитуды |
в точке, где sin (соУу) проходит через |
нуль. |
Распределе |
ние интенсивности, соответствующее приведенному урав нению, записывается в виде
/ = cf sin3 шуу = (1 — cos 2шУу).
37

Рис. 6. Распределение освещенности в спектральной плоскости для решетки.
а — при учете только |
фактора рассеяния Q : б — |
при учете только |
|
структурного фактора |
q\ |
в — реальное распределение |
освещенности при |
дифракции на решетке |
|
с шириной щелеГ^ равной ширине непрозрач |
|
ных промежутков (е=2cl); |
г — трансформация спектра решетки при из |
менении размера щелей и расстояний между ними.
можно разделить воображаемой системой линий, парал лельных штриху решетки, на бесконечное множество бес конечно малых элементов. Волны, исходящие от этих эле ментов, имеют одинаковую амплитуду, а их разность фаз меняется от 0 до 2 avdv{a2— см).
Распределение интенсивности для дифракции на щели можно получить, подставляя А ( у ) = а в соотношение (19) в области от 0 до с!у и интегрируя. Таким образом, получим фактор рассеяния для щели решетки
где а — амплитуда световой волны, проходящей через элементарный участок щели; соу— волновое число; dv— ширина щели. Вид фактора рассеяния для щели показан на рис. 6,а.
Для определения структурного фактора решетки вос пользуемся выражением (21), которое перепишем в со-
39