Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Иваницкий Г.Р. Исследование микроструктуры объектов методами когерентной оптики

.pdf
Скачиваний:
17
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
8.24 Mб
Скачать

Таким образом, при параллельном переносе модуль спектра не изменяется |Si(co.v, соу) |= |S2(co.v, му) I. но по­

является

дополнительный

фазовый

множитель

ехр [/(со.-сДА'+а)уДг/)]. Этим обстоятельством

пользуются

для получения инвариантных к сдвигу описаний объекта [Л. 101]. Как уже отмечалось, все существующие светопрнемнпкп, включая глаз человека, реагируют только на освещенность и не замечают изменения фазы, поэтому при параллельном переносе элементов объекта в плоско­ сти Пя1 для наблюдателя характер спектра в плоскости

Плч не изменяется.

у') вокруг начала коор­

При повороте функции

динат на произвольный фиксированный угол а величина якобиана преобразования |D| = 1. Кроме того, известно [Л. 41], что если матрица А описывает поворот коорди­ натной сетки вокруг начала координат, то матрица, обратная к А, транспонирована с ней, т. е.

( А ) - » =

(А)'.

(30)

Учитывая (30) и (27), можно прийти к выводу, что

при повороте объекта

 

 

М =

L,

(31)

т. е. спектр поворачивается на такой же угол.

При равномерном изменении масштаба (сжатии и растяжении) функция fi(x', у') принимает тр^{тх,ту). При этом матрицы М н L, определяющие координаты точек объекта и его спектра соответственно во входной и частотной плоскостях, вырождаются в диагональные и принимают форму

 

М =

m

 

пг

(32)

 

0

 

I

 

 

 

 

 

 

 

 

пг

 

Величина |D|

согласно

(28) будет равна mг-. Спектр

(сйж, соу) преобразованной функции равен:

 

S2(wx,

+ 0О

 

 

 

Шу) = j j

f„ (rnx, my) exp [— /(шхх -f- totJy)] dx dy.

Вводя

новые

переменные x'=m x, y,= my, получим:

 

 

 

 

«-*->

 

 

>sK.

=

U * '. У')Х

 

30

X exp [ — j ^ Л+

у) ] dx' dlJ'-

(33)

Интеграл (33) есть не что иное, как спектр исходного сигнала fi(x', у') при частотах соJm и щ/т, т. е.

S2К , a>u) = — Sl

(34)

Итак, при равномерном сжатии точек объекта в пло­ скости Пл1 в частотной плоскости Плг во столько же раз расширяется спектр на оси частот и уменьшается мо­ дуль спектра, при равномерном увеличении размеров объекта происходит равномерное сжатие спектра и соот­ ветственное увеличение его модуля.

8. ПЛОСКИЙ ОБЪЕКТ С ХАОТИЧЕСКИМ РАСПОЛОЖЕНИЕМ И СЛУЧАЙНОЙ ОРИЕНТАЦИЕЙ ЭЛЕМЕНТОВ, ФОРМА

КОТОРЫХ ОТЛИЧАЕТСЯ ОТ КРУГА

Если Л0б (г, 0 ) — функция, описывающая распределе­ ние амплитуд в плоскости объекта, то при когерентном освещении и бесконечной апертуре системы спектр этой функции в полярных координатах можно записать:

 

оо

2г.

 

 

S06.a (р. ф) =

f г dr

I* Аоб (г,Ч) ехр {—/Г[гр cos (0 — Ф)]} с?0.

 

6

6

 

(35)

 

 

 

 

Периодичность

аргумента 0 в функции Л0б(г, 0)

по­

зволяет записать ее так:

 

 

 

00

 

Лоб(г,

0 ) = £ Ат {г) ехр(/т0).

(36)

 

 

 

1Н— — СО

 

В соответствии со стандартным приемом [Л. 78]

спектр этой функции можно выразить

 

 

 

00

(37)

S oG.a(P>

Ф )=

 

Sm (р) ехр

где

Ш =

— СО

 

 

 

 

 

 

Sm =

f Ат (г) Jm (гР) г dr\

(38)

 

 

 

О

 

Jm — функция Бесселя первого рода и т-го порядка.

 

31

Отметим в соответствии с формулой (31)

Л 0б ( Л 0) — S 06.r (P. Ф );

Л 0б [/'. (6 — « ) ] — 5 0б.а [р, (Ф — а )].

Если в дополнение к повороту функция Л0о(г, 0) сме­ щается в направлении 0Она величину г0 из своего преж­ него положения, то согласно формуле (29) спектр примет вид:

Soc.afp, (Ф—та)]ехр{—/[pr0cos (0О— Ф)]}.

(40)

Если имеется N объектов подобной формы и одинако­ вых размеров, разбросанных хаотически со случайной

ориентацией

в плоскости

(г, 0), то спектр для

всего

ансамбля непрерывающпхся объектов будет:

 

 

N

 

 

SN(Р.

ф) = S

5 0б.а [р, (Ф — а й )] ехр {—у fprs cos (0fi

Ф)]},

 

S=l

 

(41)

 

 

 

 

где

ag, rg,

Qg— случайные

переменные, суммирование

идет по индексам для всех объектов. Значение спектра более детально можно записать с учетом (37)

/V

 

/V

 

 

Sn = J ]

(Р)

ехр

(ф — ag

Ш= —00

 

g = 1

 

 

 

P 'fiC o s ( 0 g — Ф ) ] | .

(4 2 )

Суммирование по g во втором сомножителе формулы (42) может рассматриваться как суммирование векторов, имеющих единичную длину, случайную фазу или ориен­ тацию в комплексной плоскости.

Если любое значение фазы равновероятно, то в соот­ ветствии с теорией случайных процессов [Л. 65] наиболее ожидаемой величиной суммы по g будет Nl>2.

' Таким образом, наиболее вероятная величина интен­

сивности в спектральной

плоскости

будет:

 

 

 

 

 

 

 

00

 

 

5 НЛ, (Р,

Ф ) = < [SN(Р,

Ф )]2>

=

N

£

[ S m (р)]2,

(4 3 )

 

 

 

 

 

т = — со

 

 

где угловые

скобки означают

усреднение

по всему

ан­

самблю. Фактически это

другая

запись выражения

(22)

32

со

при Q = X [Sm(p)]2. На основании теоремы Парсеваля1

1П——0О

можно также записать:

о-

 

S„.v(P) = yv f Is a(p, Ф)Г^Ф-

(44)

6

 

Здесь берется N раз среднее в секторе йФ для каж­ дого угла (]> и для каждой отдельной частицы. Интенсив­ ность при этом есть величина, получаемая за счет стати­ стического усреднения амплитуд волн, дифрагируемых объектами в направлении угла Ф.

Таким образом, решая обратную задачу, т. е. измеряя интенсивность спектра как функцию вектора-радиуса р необходимо найти i[5a(p, Ф)] для каждой группы микро­ объектов, отличающихся своими геометрическими пара­ метрами. Затем на основании этого результата можно определить неизвестный параметр простых по форме ми­ крообъектов, для которых вычислено значение Q (напри­ мер, круглых объектов с различными радиусами, прямо­ угольных объектов с постоянной шириной, но с перемен­ ной длиной и т. д.).

Рассмотрим техническую реализацию этой програм­ мы. В этом случае основой расчетов может служить

интегральное выражение [Л. 76]

 

S„ (р) = j п (v) Q (р, v) dv,

(45)

v1

 

где v — изменяющийся параметр класса микрообъектов. Например, v может быть радиус круглых дисков, a n(v)dv — число дисков с радиусом v между v и v + dv.

На рис. 4 показана структурная схема установки и результаты измерении, полученные на ней [Л . 76].

Измерения производятся в фокальной плоскости (рис. 4), в ко­ торой собран прямой пучок; левее диафрагмы создается параллель­ ный монохроматический пучок света (при использовании излучения ОКГ диафрагма не нужна).

Измеряемые микрообъекты располагаются

на

предметном стек­

ле в рабочем пространстве установки (между

6 и

7). Свет, рассеян­

ный под данным углом Ф ь приходит в фокальную плоскость на за­ данное расстояние от центра. Регистрация S „(p) производится либо на фотопленку с последующим фотометрированием, либо фотоумно-

Формулировку теоремы Парсеваля см., например, в книге А. Арго «Математика для электро- и радиоинженеров». М., «Наука», 1965, стр. 664.

3—552

33

жителем. Последний перемещается в фокальной плоскости по ра­ диусу, от центра к периферии. Размер фокального пятна в этих из­

мерениях соответствовал Ф инн«10'.

Измерения S „(p) производились

для углов Ф 1 >|ФмI,„ и захватывали

область до

Ф |^5 -ь 6°. Освещен­

ность в фокальной плоскости убывает чрезвычайно

быстро,

пример­

но на порядок на каждый градус

угла Ф|.

При

столь

больших

Рис. 4. Структурная схема установки для измерения распределения частиц по размерам и результаты, полученные при ее использовании.

а — структурная схема установки; б — распределение частиц по размерам, по­ лученное на установке и микрофотографически (плоские модели метнл-

метакрнлатового порошка):

/ — оптический блок: 1 — точечный источник, 2 —

конденсорная линза, 3 — узкополосный светофильтр;

4 — точечная диафрагма,

5 — коллимационная линза;

6 — выходная диафрагма;

7 — приемная линза, 8 —

фокальная плоскость линзы

7, 9 — рабочее пространство, 10, II — нейтральные

ослабители, расположенные в фокальной плоскости; II — блок, преобразующий освещенность в электрический сигнал: 12 — двигатель фотоумножителя. 13 — ре­

версивная муфта, 14— ФЭУ,

15 — усилитель, 16 — функциональный потенцио­

метр; ///-счетно-решающий

блок: 17 — устройство дифференцирования.

18 —

функциональное устройство,

19 — блок

произведения, 20 — интегратор;

IV —

устройства управления {21), памяти (22),

индикация {23).

 

перепадах (на 5— б порядков) для измерений в области малых Ф 1 целесообразно использовать нейтральные ослабители. Фон прибора, возникающий за счет рассеяния на оптических элементах системы, вычитается при измерениях. На рис. 4,6 сопоставлены кривые рас­ пределения, полученные расчетом по формуле (45) (сплошные ли­ нии), с данными, полученными прямым измерением на микрофото­ графиях '(столбчатые кривые).

34

Значительное время при

обработке данных занимает расчет.

В связи с этим из готовых

блоков автором собрана счетно-решаю­

щая приставка, структурная

схема которой приведена в правой ча­

сти рис. 4,а. Прибор имеет следующие характеристики. Минимальный радиус объектов с/мии/2— 1 мкм; максимальный радиус </макс/2= =50 мкм; минимальная концентрация »Мпп= 50 '1 /см3; максимальная

концентрация /гМпкс = 800 1/см3; скорость

измерений-— около 20 то­

чек кривой N (d) в I мин. Расхождение

с микрофотографическими

данными в максимуме -распределения оказалось около 5— 10%, на краях — около 20%.

Некоторые добавления к описанному выше методу позволяют применить его к более общим задачам классификации |Л . 78]. Оста­ новимся на них подробнее.

Обозначим N j — число мнкрообъектов /-го типа, М -равно числу классов, в которые группируются микрообъекты. Общее количество всех микрообъектов

 

 

 

 

М

 

 

 

 

 

 

N =

2

N ].

 

(46)

 

 

 

 

/='

 

 

 

С учетом выражения

(-12)

получим равенство

 

 

 

м

со

 

 

 

5'д, (Р- ф) = J

]

 

Som (р)

exp | / |\ и |^Ф —

 

 

/= I т = — оо

д= I

 

 

ag

 

— P'-g cos (0g - Ф) j } ,

(47)

где S jm — обозначение

Sm для

/-го

типа

мнкрообъектов.

Очевидно,

что разделение -на Л4 групп возможно только, когда различие в рас­ сеивающих свойствах этих групп будет достаточно большим по от­ ношению к уровню шумов в измерительной системе.

Освещенность в этом случае можно записать:

М оо

[5'д,(р,

ф)]* =

£

Л/,

2

[S,m(p)l2

(48)

или в сокращенной записи

 

/=1

///=—00

 

 

 

м

 

 

 

 

S '„ Д. (Р)

 

 

 

 

 

=S Af3-Qj.

(49)

 

 

 

 

 

 

 

где

 

 

 

 

 

 

 

 

СО

 

 

 

2 тс

 

 

Qi (р) =

S

[S,m(р)]2 =

j

[S, (р,Ф)Р й Ф .

(50)

///= —оо

 

 

 

О

 

 

Если удается измерить значения спектра как функцию

радиуса

Рь где [= 1 , 2, 3 ,..., Р,

то

можно

составить Р линейных уравнений,

используя значение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

S u i —-5л (рО;

 

(51)

 

 

Qi j = Qj (рО •

 

(52)

3

35

С учетом (49) можно записать:

р

Sui —

QijNj.

(53)

 

/= I

 

Теперь необходимо определить вектор N, координаты

которого

/V|, iV2, . .., N m неизвестны, но

в результате эксперимента

и вычис­

лении известна группа линейных преобразований (52), в которую они

входят.

 

 

 

 

 

 

В матричной записи

 

 

 

 

 

 

S = QN.

 

 

(54)

Группа линейных преобразований

позволяет

перейти

от

вектора

S к вектору N. Матрица преобразований будет:

 

 

 

 

Qn . . . .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(55)

 

Q p i . . . • • • • • Q p m

 

 

 

Векторы S и N соответственно описываются

матрицей

из одно­

го столбца

 

 

 

 

 

 

 

- s r

~

N , ~

 

 

 

 

s 2

 

n 2

 

 

 

 

 

I!

 

 

 

(56)

отсюда

SP -

_ A 'm _

 

 

 

 

 

 

 

 

 

51 — QuN, -(- Qi2/V2 4- ... + Qi m

>

 

 

52 =

Q2i/V, + Q22W2 +

... +

 

 

(57)

 

 

 

 

 

 

SP —

QP tN l -)- Q p2^2 -|- ... +

 

 

 

Решая систему этих уравнений,

можно найти значения

вектора

N. Очевидно, что при больших значениях М такую задачу можно

решить только с использованием ЭВМ . Кроме

того,

необходимо,

чтобы Р ^ М , желательно, чтобы

Р ^> М . В этом

случае значения До­

будут определены с наибольшей вероятностью, которая вообще до­ стижима при таком методе подсчета.

Фактически в выражении (53) в правой части имеется два неизвестных. Значение левой части получают, измеряя освещенность дифракционных колец в спектральной плоскости. Как же пользовать­

ся приведенными формулами?

 

 

 

 

Для определения одного из неизвестных Q j

(матрицы

Q)

воз­

можны два пути —

аналитического

расчета либо

эксперимента.

Рас­

чет выполнен для

некоторых простых объектов:

круги,

эллипсы,

прямоугольники,

определенные

скопления точек (см.

ссылки

в {Л . 72]).

Для бодее сложных объектов аналитические преобразова­

ния очень

громоздки либо просто невозможны. В этом случае при­

меняют экспериментальный

метод, основанный на создании эталона

с использованием уравнения

(51).

36

Выделим группу частиц /-го типа и найдем для нее Q a путем последовательного интегрирования светового потока в небольшой кольцевой зоне на радиусе р< и отнесем его к площади кольца. Та­

ким

образом, получаем набор значения Q fj, т

 

е.

матрицу

Q.

 

При исследовании препарата, состоящего

из

таких же

частиц,

но

с неизвестной пропорцией между ними, мы,

зная Q,-,j

и

измерив

S A,

, вычислим по формуле (54) значения N j.

 

 

 

 

 

 

9. ПЛОСКИЙ ОБЪЕКТ С ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕШЕТЧАТОЙ

 

МИКРОСТРУКТУРОЙ

 

 

 

 

 

 

В природе встречаются объекты,

в

которых

 

состав­

ляющие их функциональные элементы имеют четко вы­ раженную преимущественную ориентацию. Такими струк­ турами особенно богата живая природа, где часто в пре­ делах небольшой области реализуется принцип само­ сборки некоторой структурной единицы с размножением ее путем параллельного переноса (рис. 5). Моделью та­ ких микроструктур может служить решетка.

При прохождении света через решетку, состоящую из чередующихся прозрачных и непрозрачных полосок, воз­ никает периодическое изменение амплитуды падающей волны вдоль направления, перпендикулярного штрихам решетки. Отражательная решетка создает периодическое изменение фазы.

При обсуждении вопросов формирования оптических изображений удобно рассматривать отдельно амплитуд­ ные решетки, вызывающие только изменения амплитуды, и фазовые решетки, определяющие только изменения фа­ зы. Реальные объекты могут давать одновременно изме­ нение амплитуды и изменение фазы.

Если на амплитудную синусоидальную решетку па­ дает плоская волна, то прошедшую сквозь нее или отра­

женную ее

волну

можно описать уравнением А (у) —

= а sin (соУу)

smcotf.

Аналогичным образом фазовая сину­

соидальная решетка вызывает синусоидальное изменение фазы волны.

Для того чтобы получить распределение, описываемое этим уравнением, необходимо иметь синусоидальное

изменение пропускания и изменение

знака

амплитуды

в точке, где sin (соУу) проходит через

нуль.

Распределе­

ние интенсивности, соответствующее приведенному урав­ нению, записывается в виде

/ = cf sin3 шуу = (1 — cos 2шУу).

37

Рис. 6. Распределение освещенности в спектральной плоскости для решетки.

а — при учете только

фактора рассеяния Q : б —

при учете только

структурного фактора

q\

в — реальное распределение

освещенности при

дифракции на решетке

 

с шириной щелеГ^ равной ширине непрозрач­

ных промежутков (е=2cl);

г — трансформация спектра решетки при из­

менении размера щелей и расстояний между ними.

можно разделить воображаемой системой линий, парал­ лельных штриху решетки, на бесконечное множество бес­ конечно малых элементов. Волны, исходящие от этих эле­ ментов, имеют одинаковую амплитуду, а их разность фаз меняется от 0 до 2 avdv{a2— см).

Распределение интенсивности для дифракции на щели можно получить, подставляя А ( у ) = а в соотношение (19) в области от 0 до с!у и интегрируя. Таким образом, получим фактор рассеяния для щели решетки

где а — амплитуда световой волны, проходящей через элементарный участок щели; соу— волновое число; dv— ширина щели. Вид фактора рассеяния для щели показан на рис. 6,а.

Для определения структурного фактора решетки вос­ пользуемся выражением (21), которое перепишем в со-

39

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ