
книги из ГПНТБ / Прикладная спектрометрия с полупроводниковыми детекторами
..pdfприведены значения шума в энергетических единицах для не скольких значений входной емкости (СВХ= С П. т+ Cg+ C/ )и кру тизны, вольт-амперной характеристики полевого транзистора, рассчитанные для Тф = 5 мкс и 7=100 К.
Т а б л и ц а 6.8
Энергетический эквивалент |
шума при различных значениях S |
и С вх, эВ] |
||||
•S, мА/В |
|
|
С В Х ’ п ф |
! |
|
|
О |
5 |
10 |
16 |
24 |
||
|
||||||
|
|
|||||
2 |
61 |
154 |
308 |
4'90 |
740 |
|
5 |
39 |
97 |
194 |
310 |
466 |
|
10 |
27 |
69 |
137 |
220 |
330 |
Сравнение вкладов первого и второго |
членов уравнения |
(6.1) в общее энергетическое разрешение |
спектрометра пока |
зывает, что чем ниже энергия регистрируемого излучения, тем большую роль в общем энергетическом разрешении спектромет ра играют шумы детектора и входных каскадов усилителя. По этому в спектрометрах с высоким энергетическим разрешением используют, как правило, Rf не менее 1010 Ом, полевые тран зисторы в керамическом корпусе с малым собственным шумом и высокой крутизной вольт-амперной характеристики, ППД. малой площади, изготовленные по технологии, обеспечивающей при охлаждении ток утечки не более 10-12 А.
Приведем типичные значения параметров некоторых эле ментов одного из лучших современных спектрометров рентге новского излучения с ППД: Сд= 1 пФ (площадь равна 30 мм2,
толщина |
чувствительной |
области |
3 мм), |
Сп |
т= 3,5 |
пФ, |
С\ = |
= 0,5 пФ, |
R f = 5 - 1010 Ом, |
5 = 1 0 |
мА/В, |
Ig= 5 |
-10~13 |
А, |
1„. т = |
= 10-13 А. |
При этих значениях 7=100 К |
н тф = 5 мкс, Д£эл со |
ставило 96 эВ по кремнию.
Ввиду малых размеров детекторов в хороших спектромет рах рентгеновского излучения с ППД вклад в ширину линии неполного сбора носителей обычно мал. Кроме того, указанное явление при малом эффекте приводит, как правило, к уширению нижней части амплитудного распределения. Для оценки
величины |
этого вклада |
часто определяют |
отношение |
A£i/io/A£i/2 , |
которое для |
распределения Гаусса |
равно 1,86. |
Считают, что если это отношение не более двух, вклад сбора
носителей заряда в энергетическое |
разрешение относитель |
но мал. |
|
В некоторых случаях ухудшение |
энергетического разреше |
ния спектрометра, если оно достаточно велико, может происхо дить за счет шумового компонента, обусловленного микрофон-
280
иым эффектом. Это явление особенно заметно, если не приняты необходимые меры по его устранению при конструировании и монтаже головной охлаждаемой части предусилителя.
Статистический предел энергетического разрешения спек трометра рентгеновского излучения с кремниевым ППД, а так же его полное энергетическое разрешение при различных вели чинах шумов Л£Эл в диапазоне 200 эВ — 100 кэВ показаны на рис. 6.6.
О ............. |
|
, |
. ' |
. , ! . |
' . |
. 1. 1, 1__ I |
0,2 0,4 0,60,61,0 |
г |
4 |
6 |
3 10 |
20 |
40 60 60100 |
Энергия кданта, кэВ
Рис. 6.6. Расчетная зависимость энергетического разре шения спектрометра от энергии квантов при е= 3,0 эВ.
Таким образом, в большей части рассматриваемого диапа зона полуширина кривой полного поглощения определяется по ка уровнем энергетического эквивалента шумов Д£эл.
§ 6.3. СОСТАВ II ПОСТРОЕНИЕ БЛОКА ДЕТЕКТИРОВАНИЯ
Состав и конструкция блока детектирования спектрометра мягкого у- и рентгеновского излучения с ППД во многом определяют энергетическое разрешение, стабильность, надеж ность и долговечность работы спектрометра. Обычно блок де тектирования состоит из сосуда Дыоара с жидким азотом, ва куумной камеры с расположенным внутри ее на хладопроводе ППД, головного каскада предусилителя и собственно предуси лителя.
Объем и тип сосуда Дыоара определяются назначением бло ка детектирования. Применяют, как правило, два типа сосу дов: с выходным отверстием сверху и с выходным отверстием снизу. В первом случае хладопровод вакуумной камеры опу скается через верхнее отверстие в сосуд Дьюара, а ППД нахо-
281
днтся на другом конце хладопровода, который выше уровня жидкого азота. Рабочая поверхность детектора при этом обыч но направлена вверх пли в сторону. При понижении за счет испарения уровня жидкого азота температура ППД и полевоготранзистора может изменяться.
Во втором случае сосуд Дыоара имеет отверстие внизу, че рез которое жидкий азот поступает в трубку вакуумной каме ры, на закрытом конце которой располагаются ППД и полевой
транзистор. Обычное расположение ППД |
в этом случае — ра |
бочей поверхностью вниз или в сторону. |
Жидкий азот зали |
вают через верхнее отверстие, и температуру ППД поддержи вают неизменной независимо от уровня и количества жидкогоазота. Такая конструкция обеспечивает рабочую температуру ППД, лишь на доли градуса отличающуюся от температуры испарения жидкого азота, что особенно важно при использо вании германиевых радиационных детекторов.
Объем сосуда Дыоара может быть различным: от одного до нескольких десятков литров. Лучшие сосуды Дыоара обеспечи вают долговременное сохранение жидкого азота: испаряется не
более одного литра в сутки. |
|
|
Вакуумные |
камеры с ППД — весьма |
ответственный узел |
спектрометра |
рентгеновского излучения. |
Вдоль оси камеры |
проходит хладопровод или трубка с жидким азотом, заканчи
вающаяся коротким отрезком хладопровода, |
последний |
изго |
||
тавливают обычно из бескислородной |
меди |
пли |
алюминия. |
|
Алюминий применяют в тех случаях, |
когда необходимо |
свести |
||
к минимуму обратное рассеяние первичного излучения. |
того, |
|||
Вакуумирование камеры с ППД |
необходимо |
для |
||
чтобы на охлаждаемых элементах не оседала влага из |
возду |
|||
ха, уменьшилось число его молекул, |
которые |
адсорбируются |
поверхностью ППД во избежание изменения ее структуры, ро ста поверхностных токов утечки и ухудшения энергетическогоразрешения. Наконец, при недостаточно низком давлении про исходит значительный приток тепла на хладопровод, в резуль тате чего расход жидкого азота увеличивается, а температура: ППД повышается.
Удовлетворение этих условий обеспечивается при макси мальном рабочем давлении в вакуумной камере, не превы,- шающем 10-5— 10_б мм рт. ст.
Для продолжительного поддержания такого давления суще ствуют различные способы. Наиболее часто используют непре
рывную откачку воздуха |
с помощью |
охлаждаемого сорбента, |
||
в качестве которого |
применяют |
цеолиты различного типа, ак |
||
тивированный уголь |
и их |
смеси. |
Для |
повышения надежности |
часто одновременно устанавливают портативные электроразрядные насосы с сетевым или с батарейным источниками пи тания. В последнем случае можно надежно поддерживать низ кое давление при транспортировке, без сетевого питания.
282
Корпус вакуумной камеры обычно изготавливают из нержа веющей стали или алюминиевого сплава — материалов с хоро шими вакуумными свойствами. Вакуумные уплотнения делают из специальной вакуумной резины (кольцевые прокладки) или индиевой проволоки.
Как же указывалось, нижний порог регистрации опреде ляется также толщиной входного окна. Это окно во всех ваку умных камерах с кремниевыми ППД закрывают вакуумноплот ной бериллиевой фольгой, толщина которой у лучших совре менных спектрометров составляет 25 мкм. При этом через окно проходит около 20% рентгеновского излучения с энергией око ло 1 кэВ, соответствующей энергии характеристического излу чения натрия (2= 11).
Конструктивное исполнение охлаждаемого узла крепления ППД определяется его размерами, конструкцией, способом вывода электродов. Как правило, контакт с хладопроводом осу ществляет через индиевую фольгу та сторона ППД, к которой прикладывают напряжение смещения. При этом охлаждающая пластина соединена с основным хладопроводом посредством изоляционных материалов: сапфира, окиси алюминия или ни трида бора, т. е. веществ, имеющих при низкой температуре высокую теплопроводность. Детектор и полевой транзистор должны быть конструктивно расположены так, чтобы электри ческий выход с противоположной поверхности ППД распола гался в непосредственной близости от затвора полевого тран зистора и был максимально удален от проводников и деталей,
находящихся под нулевым |
или высоковольтным потенциалом. |
В ряде случаев ППД нельзя охладить до необходимой тем |
|
пературы из-за нагревания |
детектора инфракрасным излуче |
нием, испускаемым стенками вакуумной камеры. В таких слу чаях вводят дополнительные экраны для защиты ППД от этого излучения.
Оптимальная рабочая температура транзистора, как указы валось, лежит в диапазоне 113— 173 К, причем для каждого полевого транзистора желателен индивидуальный подбор тем пературы; достигают это разными способами. В одном случае экспериментально подбирают толщину теплоизоляционной про кладки между транзистором и хладопроводом. Другим, более эффективным следует признать способ принудительного подо грева полевого транзистора с помощью опорного диода либо терморезистора, расположенных в непосредственной близости ют транзистора и имеющих с ним (или с основанием, на кото ром он закреплен) тепловой контакт. В последнем случае мож но, не разбирая вакуумной камеры и регулируя ток через эти элементы, подобрать температуру полевого транзистора, при которой энергетическое разрешение блока детектирования бу дет наилучшим.
Большое внимание необходимо уделять мерам, нсключаю-
283
щим возникновение дополнительного шума из-за микрофонного' эффекта. При вибрации проводников входной цепи относитель но элементов, находящихся при различных потенциалах, может изменяться входная емкость и, следовательно, генерироваться' шумовой заряд. Это прежде всего касается шины (на нее по дается напряжение смещения ППД), находящейся под высо ким потенциалом. Она должна быть по возможности удалена:
и
к
г
Q
Рис. 6.7. Схема конструктивного выполнения вход
ного |
охлаждаемого |
каскада |
предусилителя (а) и |
||||||
|
|
конструкции |
Si (Li)-детектора |
(б): |
|||||
1 — тефлоновый |
изолятор; |
2 — конденсатор; |
3 — конденсатор |
||||||
обратной |
связи; |
4 — резистор; |
5 — 5Ни)-детсктор; 6 — винт; |
||||||
7 — ПТ; |
8 — тефлоновая |
|
трубка; |
9 — медный |
стержень; |
||||
10— медь: |
// — винт; 12 — латунь; |
13 — тефлон; |
14 — индие |
||||||
вое кольцо с проволокой; |
13 — ППД; 16 — ннднепо-галлне- |
||||||||
вая |
эвтектика; |
17 — штифт |
с |
пружиной; |
18 — тефлон; |
||||
|
|
|
|
19 — винт. |
|
|
|
от входа полевого транзистора и хорошо закреплена. Подсчи тано, что при напряжении смещения в 1000 В колебания этогопроводника, изменяющие емкость на входе детектора только на 5-10-7 пФ, вызывают микрофонный эффект, эквивалентный 10 кэВ по кремнию.
Пробулькиванпе испаряющегося азота в сосуде Дьюара также во многих случаях ухудшает энергетическое разрешение в результате микрофонного эффекта.
Схема одного из возможных вариантов расположения ППД, полевого транзистора (ПТ) и других элементов показана на рис. 6.7 [11]. Предусилитель располагается снаружи вакуумной камеры и соединяется со своей головной частью посредством вакуумного электрического многоштырькового разъема с высо
284
ким (более 1012 Ом) сопротивлением между контактами. Если напряжение смещения более 800— 1000 В, его ввод в вакуум ную камеру желательно осуществлять через отдельный герме тичный разъем.
§ 6.4. СПЕКТРОМЕТРЫ МЯГКОГО
V - И РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЙ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ
Длительное время арсенал средств, используемых для изу чения энергетического состава и интенсивности мягкого у- я рентгеновского излучений, включал главным образом сцпнтилляционные и газовые ионизационные детекторы, а также при боры, основанные на разложении излучения при отражении от кристаллической плоскости. Несмотря на разнообразие средств измерения излучения в данном энергетическом диапазоне, лишьнемногие из существующих задач могли быть более или менееудовлетворительно решены на базе существовавших измери тельных устройств. Основная причина такого положения в том, что при решении большинства выдвигаемых наукой и промыш ленностью задач требуется применять спектрометрические при боры, одновременно сочетающие большую чувствительность, или светосилу, высокие величины энергетической разрешающей, способности и скорости набора информации с относительно не большими размерами и энергопотреблением. Последнее требо вание особенно важно при различного рода поисковых и гео физических работах, при измерениях на морских судах, косми ческих аппаратах и т. д. Во многих случаях отсутствие или не достаточное удовлетворение одного из этих требований делает практически невозможным выполнение поставленной задачи. Легко заметить, что существовавшие до последнего временисредства измерения рентгеновского и мягкого у-излучения не удовлетворяли в необходимой степени поставленным требова ниям.
Действительно, приборы, включающие сцинтилляционные де текторы, имеют высокую чувствительность и быстродействие,, портативны, не требуют больших энергозатрат. В то же времянизкий и многоступенчатый коэффициент преобразования энер гии в этих детекторах обусловливает их плохое энергетическое разрешение. Если характеризовать этот параметр, как это ча сто делается, возможностью раздельной регистрации Да -линий химических элементов, то сцинтилляциониый спектрометр поз воляет это сделать только для элементов, у которых при средних Z порядковые номера отличаются не менее чем на 4—5 единиц.
Энергетическое разрешение устройств с пропорциональными: счетчиками несколько выше и без применения сложной мате матической обработки позволяет идентифицировать элементы, отличающиеся по Z не менее чем на 2—3 единицы [12]. Даль
285i
нейшее значительное улучшение энергетического разрешения этих приборов трудно ожидать, так как оно близко к возмож ному теоретическому пределу [13]. Кроме того, ввиду малой плотности среды, с которой происходит взаимодействие регист- -рируемого излучения, эффективность, а соответственно и чув ствительность регистрации резко падают с возрастанием энер гии излучения. Поэтому газовые пропорциональные детекторы редко используют для регистрации квантов с энергией выше. 20—30 кэВ.
Низкое энергетическое разрешение, характерное для этих типов детекторов, существенно ограничивает аналитические возможности, несмотря на то, что остальные качества, в том числе простота, портативность, низкая стоимость, создают ■благоприятные предпосылки для широкого применения в про мышленности.
Приборы различного типа, объединенные под названием дисперсионные спектрометры, отличаются от предыдущих чрез вычайно высоким энергетическим разрешением, удовлетворяю щим требованиям подавляющего большинства практических задач. Однако светосила дисперсионных спектрометров крайне
низка и не превосходит, |
как правило, 10_6— 10~8. Поэтому та |
кой прибор используют |
обычно совместно с высоковольтной |
рентгеновской трубкой, создающей интенсивный поток первич ного возбуждающего излучения, компенсирующий плохую све тосилу детектора излучения. Кроме того, стандартный диспер сионный рентгеновский спектрометр, или квантометр, сложен в настройке и юстировке, требует мощного высоковольтного источника питания для рентгеновской трубки, имеет значитель ные вес и габариты, высокую стоимость.
Появление более или менее портативных приборов такого типа расширяет их возможности только в области рентгенохи мического анализа вещества, не решая в принципе задачу соз дания светосильного рентгеновского спектрометра с высоким энергетическим разрешением [14, 15].
Большие успехи в области развития и совершенствования качества ППД и особенно разработки ннзкошумящих усилите лей, использующих головной каскад на охлаждаемом полевом транзисторе, создали благоприятные условия для создания пер вых спектрометров мягкого у- и рентгеновского излучений с ППД [16]. Как было показано выше, это измерительное уст ройство сочетает почти все качества, необходимые для прове дения надежных и информативных измерений в данном энер гетическом диапазоне. Энергетическое разрешение лучших рентгеновских спектрометров с ППД позволяет полностью раз делять К-линии соседних элементов с порядковым номером
выше 13— 14. При этом |
процесс совершенствования |
технологии |
||
и изготовления |
детекторов |
и полевых транзисторов, от качест |
||
в а которых в |
основном |
и |
зависит энергетическое |
разрешение, |
.286
протекает последние годы настолько стремительно (например,, за последние 5 лет этот параметр был улучшен в 5 раз!), чтонет сомнения, что в ближайшее время и в низкоэнергетической части рентгеновского диапазона измерительные устройства с ППД приблизятся по энергетическому разрешению к своему теоретическому пределу.
Наплучшие современные рентгеновские спектрометры с ППД обладают высокими измерительными характеристиками. Эю позволяет применять их при решении многих научных и при кладных задач.
Приведем в качестве иллюстрации обобщенные параметры современных рентгеновских спектрометров с ППД:
Тип детектора......................................................................... |
|
|
Si |
|
(Li) |
или |
Толщина чувствительной области |
|
|
Ge (Li) |
|
||
|
|
3+-5 мм |
|
|||
Площадь детектора............................................................ |
|
10— 500 мм2 |
|
|||
Напряжение смещения........................................................... |
|
|
до |
|
1500 |
В |
Время работы без добавления жидкого азота . |
. . |
ие менее двух |
|
|||
|
|
|
недель |
|
||
Выходной си гн ал ................................................................. |
|
|
0 + 1 0 |
В |
|
|
Тип формирования............................................................ |
|
гауссовский |
|
|||
Время формирования........................................................ |
|
1— 18 мкс |
|
|||
Интегральная нелинейность........................................... |
|
|
0, 1% |
|
|
|
Временная нестабильность.................................................... |
|
0, 1% |
за 8 ч |
|
||
Температурная нестабильность.......................................... |
|
0,01% |
на ПС |
|
||
Уровень экспапдировання выходного сигнала . |
. . |
|
0-ь 10В |
|
||
Усиления экспандера........................................................ |
|
|
1 +-20 |
|
||
Максимальная загрузка квантами с энергией 10 |
кэВ |
8-104 |
1/с |
|
||
Сдвиг пика при увеличении загрузки до 2-10-1 с- 1 |
0, 2% при |
Тф = |
|
|||
Энергетическое разрешение (при минимальном детек |
|
= |
1 мкс |
|
||
|
эВ по линии |
|
||||
торе) ................................................................................. |
180 |
|
||||
|
|
|
6,4 |
кэВ; |
|
|
|
|
450 |
эВ по линии |
|||
|
|
|
122 кэВ |
|
||
Гарантия................................................................................... |
|
12 месяцев |
|
|||
Приборы с такими параметрами позволяют надежно выде |
||||||
лять /(^-характеристические линии практически |
большинства |
элементов периодической системы в любой их комбинации. Ко нечно, существуют случаи наложения, например, Ка -линий лег ких элементов на L-лпнин бшее тяжелых, но в подобных об стоятельствах подчас бывают бессильны и дисперсионные ана лизаторы.
Чувствительность (или светосила) спектрометров рентгенов ского излучения с ППД из-за несколько меньших размеров в настоящее время ниже, чем чувствительность сцинтилляцнонных, но на несколько порядков выше, чем дисперсионных. Пло щадь чувствительной области ППД обычно не превосходит 500 мм2. Существующие возможности ППД в этом направлении еще далеко не исчерпаны.
287
По быстродействию и скорости набора информации (у луч ших образцов — около 105 имп/с) приборы с ППД не уступают
.аналогичным параметрам сцинтилляционных и пропорциональ ных счетчиков. Достигнутые характеристики не являются пре дельными.
Имеются все возможности изготовления простых, портатив ных с малым потреблением энергии и сравнительно недорогих спектрометров рентгеновского излучения с ППД, особенно при массовом промышленном выпуске. Конечно, они сложнее и до роже приборов со сцинтплляционными пли пропорциональными счетчиками, но проще п дешевле дисперсионных анализаторов.
Практически единственный недостаток современных спектро метров рентгеновского излучения с ППД (существенный лишь в немногих специальных случаях) — необходимость охлажде ния ППД и головного усилительного каскада жидким азотом пли другими способами. В то же время дальнейшее улучшение шумовых характеристик полевых транзисторов, а также воз можность изготовления ППД из материала, не требующего охлаждения при эксплуатации (например, из теллурпда кад мия), со временем ликвидируют это временное усложнение конструкции прибора и работы с ним. В результате будет соз дан прибор, совместивший в себе. все лучшие качества сцинтнлляционных, пропорциональных и дисперсионных систем и лишенный присущих им недостатков.
Тем не менее еще далекие от предельных возможностей спектрометры мягкого у- и рентгеновского излучений с ППД нашли и находят все более успешное применение в разнообраз нейших областях науки и промышленности.
Хорошо известно, что важные сведения о внутреннем строе нии ядра и его возбужденных состояниях можно получить на основании сравнения простых спектров излучения исследуемых радиоактивных изотопов со спектрами излучения, полученными в схеме совпадения с у- и рентгеновскими квантами, а также электронами внешней конверсии [17— 19]. Необходимое условие выполнения таких измерений— надежное выделение в общем ■спектре излучения линий для определения распределения кван тов, находящихся во временной корреляции с квантами данной энергии. Кроме того, из-за небольшого периода полураспада изотопов, с которыми часто приходится иметь дело, чувстви тельность измерительной системы должна быть достаточно вы сока. а измерение должно носить «многоканальный» характер,
т. е. весь спектр излучения должен определяться одновременно,
ане последовательно во времени (как, например, на магнит ных спектрометрах).
Вэкспериментах такого рода применяют обычно Si (Li)- и Ое(Ь1)-детекторы мягкого у- и рентгеновского излучений в лю бой комбинации, причем кремниевые ППД используют допол
нительно и как спектрометры p-излучения с высоким энергети
к е
ческпм разрешением. Более или менее стандартная схема про ведения измерений показана на рис. 6.8 [20]. Источник распола гался между двумя ППД, защита от p-излучения осуществля лась при необходимости пластинкой бериллия, определенной толщины. По двум временным каналам с каждого детектора импульсы поступали на время-амплитудиый конвертор (или схему совпадения). Одновременно через амплитудные усилите ли сигналы с детекторов, пропорциональные энергии квантов,
Рис. 6.8. Электрическая структурная схема установки, применяемой при работе "ППД в схеме совпадения.
подавались на линейные пропускатели, открываемые импульса ми совпадения; выходы пропускателей связывались со входом аналого-цифровых конверторов или многоканальных анализа торов. Из-за большого объема информации, получаемой в таких измерениях, ее дальнейшая обработка выполнялась при помо щи ЭВМ, непосредственно связанной с аналого-цифровым кон вертором. Хорошие временные характеристики ППД позволили без потери эффективности использовать схемы совпадений с разрешением порядка 20 нс. Таким способом, например, были измерены низкоэнергетические переходы и внешние конверсион ные каскады продуктов спонтанного распада ядер 252Cf [20, 21]. Аналогичную технику с ППД мягкого у- и рентгеновского из лучений использовали при измерении вероятности Я-захвата, Я- и L-флюоресцентных выходов, коэффициентов общей кон
10 Зак. 536 |
289 |