
книги из ГПНТБ / Шульц, Е. Ф. Индуктивные приборы контроля размеров в машиностроении
.pdfГЛАВА V
ПРИБОРЫ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ ВАЛОВ С БЕСКОНТАКТНЫМ ИНДУКТИВНЫМ ДАТЧИКОМ
1. БЕСКОНТАКТНЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИАМЕТРОВ ДЕТАЛЕЙ
Ыа современных шлифовальных станках с целью по
вышения |
точности и стабильности процесса |
шлифовки |
||||||||||
деталей применяются приборы активного контроля с кон |
||||||||||||
тактным способом снятия измерительного импульса. |
|
|||||||||||
Общими |
недостатками |
контактных |
измерительных |
|||||||||
устройств активного контроля (индуктивных, |
емкост |
|||||||||||
ных, пневматических и т. д.) |
являются: |
большая дина |
||||||||||
мическая погрешность, обусловленная неточностью |
||||||||||||
установки измерительного устройства на вращающейся |
||||||||||||
детали; износ измерительных контактов, |
приводящий к |
|||||||||||
необходимости частой поднастройки, и недолговечность |
||||||||||||
подвески измерительной системы датчика. |
поверхностей |
|||||||||||
Активный |
контроль |
прерывистых |
||||||||||
может быть осуществлен измерительными устройствами |
||||||||||||
с контактами |
специальной |
конструкции |
или |
арретиро- |
||||||||
ванием их на время прохождения паза. В обоих случаях |
||||||||||||
измерительное устройство |
получаетсй |
сложным, |
а при |
|||||||||
арретировании значительно усложняется и электриче |
||||||||||||
ская |
схема |
прибора. |
Бесконтактные |
пневматические |
||||||||
датчики позволяют измерять с точностью |
до |
2—3 мкм |
||||||||||
при использовании воздуха высокого качества, |
что |
в |
||||||||||
условиях производства обеспечить трудно. Поэтому наи |
||||||||||||
более |
перспективной |
является |
разработка |
|
средств |
|||||||
активного |
контроля |
с бесконтактными |
индуктивными |
|||||||||
датчиками. При этом должны быть решены задачи |
по |
|||||||||||
разработке: |
|
датчика, |
обеспечивающей |
малую |
||||||||
а) |
|
конструкции |
||||||||||
погрешность измерения от неточной установки датчика |
||||||||||||
относительно |
контролируемой |
детали |
и |
от |
изменения |
|||||||
магнитных свойств (удельная |
проводимость, |
магнитная |
90
проницаемость) поверхностного слоя обрабатываемых деталей;
б) конструкции измерительного устройства с бескон тактным индуктивным датчиком, обеспечивающей кон троль диаметров валов (с гладкой и прерывистой
поверхностью) в диапазоне 5— 100 и 100—200 мм; |
от |
в) электрической схемы прибора с элементами |
ключения измерительно-командных усилителей на вре мя прохождения паза при контроле шлицевых отвер стий.
В бесконтактных индук тивных датчиках контроли руемым параметром являет ся индуктивность L, величи на которой не остается по стоянной при изменении воз душного зазора с подвиж ным сердечником, роль кото рого обычно и выполняет объект измерения, выполнен ный из ферромагнитного ма
териала. Для контроля валов при шлифовке необходимо иметь конструкцию датчика, обеспечивающую высокую чувствительность к изменению диаметра и малую по грешность от установки измерительного устройства отно сительно детали. При расположении датчика 1, как пока зано на рис. 60, деталь 2 является одновременно якорем для сердечников двух катушек L] и Li и поэтому ради альные перемещения жестко связанных секций датчика будут вызывать одновременно увеличение одной и умень шение другой индуктивностей катушек. Однако суммар ная индуктивность обеих катушек остается почти неиз менной.
Иначе изменяются индуктивности катушек при из менении диаметра детали. В этом случае индуктивности изменяются в одну сторону, что приводит к значитель ному изменению суммарной индуктивности. Чтобы погрешность от изменения магнитных свойств деталей лежала в допустимых пределах, чувствительность дат чика к изменению зазора (изменению размера детали) должна быть в k раз больше чувствительности к изме нению магнитной проницаемости контролируемых дета лей, т. е.
91
_й£э_. |
d l3_ = |
(19\ |
|
[ d l 3 |
4 Ц д |
^Д^зИз |
|
где SA— площадь сечения магнитного потока в детали; |
|||
Z0— модуль комплексного сопротивления |
датчика; |
||
рд — минимальная магнитная проницаемость мате |
|||
риала детали; |
|
|
|
/д — длина магнитного пути в детали; |
|
||
/3 — длина магнитного пути в зазоре; |
|
||
S3— площадь сечения зазора; |
|
||
Из — магнитная проницаемость зазора. |
|
||
Если погрешность |
от |
изменения магнитных свойств |
деталей не должна превышать 1% от величины зазора, то величина k не должна быть меньше возможных пределов изменения магнитной проницаемости мате риала деталей Дрд в процентах, т. е. при Дрд = 30% величина k ^ 30; при Дрд = 100%, k ^ 100 и т. д. Как показали исследования {27], такие значения k практиче ски достижимы. Рассчитаем требуемую величину k для
зазора |
б = 2 X 700 = |
1400 |
|
мкм, |
чтобы |
погрешность |
||||
измерения не превышала 1,4 мкм |
(0,1%) при изменении |
|||||||||
магнитной проницаемости |
материала |
деталей на |
30 |
|||||||
и 50 %: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
*1 = -^*- = — |
= 300; й2 = — |
= 500. |
(20) |
||||||
|
Уцд |
0,1 |
|
|
0,1 |
|
v ’ |
|||
Таким образом, преобразователь должен иметь зна |
||||||||||
чения величины |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
k ^ |
300 при Ард = 30%, |
|
|
|
|
|
|
|||
k |
500 при Ард = 50%. |
|
погрешность измерения от |
|||||||
При |
этом |
максимальная |
||||||||
непостоянства |
магнитных свойств |
деталей |
не превысит |
|||||||
1,4 мкм при рабочем зазоре |
(в момент выдачи оконча |
|||||||||
тельной команды). |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
2 |
|
Сердечник датчика |
|
% |
|
“б- |
^Фм |
С mm |
С и сред |
k |
||
|
|
в |
в |
|||||||
|
|
|
|
в мкм |
в мкм |
в мкм |
мВ/мкм мВ'мкм |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
И з п л а с т и н ........................... |
|
1 ,6 |
|
0 , 5 |
1 0 ,0 |
0 , 2 0 |
0 , 5 0 |
240 |
||
К р у г л ы й |
и з А р м к о . . |
|
2 , 0 |
|
0 , 4 |
0 , 2 0 |
0 , 2 5 |
0 , 6 0 |
180 |
|
П р я м о у г о л ь н ы й и з А р м - |
|
|
|
|
|
|
|
|||
К О ..................................... |
|
1 , 8 |
|
0 , 3 |
0 , 2 0 |
0 , 3 0 |
0 , 6 0 |
200 |
92
На оснований выражений (19) и (20) разработаны датчики с сердечниками из пластин электротехнической стали и сердечниками из магнитомягкого материала Армко круглой формы и прямоугольной.
Основные показатели датчиков приведены в табл. 2.
где учд — погрешность |
измерения |
от |
изменения |
маг |
||||
нитной |
проницаемости |
материала |
деталей |
|||||
на 30—35%; |
измерения от радиального пе |
|||||||
у,- — погрешность |
||||||||
ремещения детали в зазоре на +50 мкм (по |
||||||||
грешность установки); |
|
от |
приближения |
|||||
Уфм — погрешность |
измерения |
|||||||
к датчику (зазору) ферромагнитных материа |
||||||||
лов на |
расстояние |
2—3 мм |
(погрешность, |
|||||
вносимая буртом); |
|
|
|
|
|
|
||
Sumin — минимальная |
чувствительность преобразо |
|||||||
вателя по напряжению при зазоре 0,7 мм на |
||||||||
сторону |
и питании |
измерительного |
моста |
|||||
током частотой 400 Гц; |
|
|
|
во |
всем |
|||
5 uсред— среднее значение чувствительности |
возможном диапазоне изменения зазора.
Из табл. 2 видно, что датчики мало отличаются по всем показателям, за исключением погрешности, вноси мой приближением бурта. В этом случае погрешность датчика с сердечником из пластин в десятки раз превы шает погрешность датчиков, магнитопроводы которых выполнены из Армко, что объясняется недостаточной экранировкой датчика с сердечником из Ш-образных пластин. Опытный образец датчика, выполненный с сердечником прямоугольной формы из Армко, показал лучшие результаты.
Исследования показали, что погрешность измерения Yr при неточной установке датчика в пределах ±50 мкм относительно контролируемой детали может составлять для различных конструкций датчика до 0,5— 1,0 мкм. Однако на практике не всегда удается установить изме
рительное устройство с |
датчиком относительно детали |
с указанной точностью. |
уг от величины Дг (рис. 61) |
Графики зависимости |
для различных значений рабочего зазора б показывают, что применяемая схема суммирования обеспечивает снижение погрешности от радиальных перемещений (погрешность установки) только до 2% от величины перемещений, не превышающих 15% от величины зазо-
93
ра |
между |
магнитопроводом |
Датчика и |
контролируемой |
|||
деталью. |
При радиальных |
перемещениях |
Л, |
свыше |
|||
|
|
|
0,15 мм из-за нелинейности ха |
||||
|
|
|
рактеристики |
каждой |
секции |
||
|
|
|
датчика погрешность |
измере |
|||
|
|
|
ния уг практически невозможно |
||||
|
|
|
сделать меньше 2 мкм при боль |
||||
|
|
|
ших значениях рабочего зазора |
||||
|
|
|
б. Кроме того, увеличение ра |
||||
|
|
|
бочего зазора б свыше 1,5 мм |
||||
|
|
|
на сторону значительно снижа |
||||
|
|
|
ет чувствительность преобразо |
||||
|
|
|
вателя, в результате |
неоправ |
|||
|
|
|
данно усложняется схема элек |
||||
Р и с . |
61. З а в и с и м о с т и |
тронного усилителя. |
|
||||
п о |
При погрешности установки |
||||||
г р е ш н о с т е й |
и зм е р е н и я о т |
п о |
|||||
г р е ш н о с т е й |
у с т а н о в к и |
при больше ±0,15 |
мм |
использова |
|||
|
р а з л и ч н ы х з а з о р а х |
ние бесконтактного |
индуктив |
||||
|
|
|
ного датчика |
значительно за- |
труднено и в большинстве случаев нецелесообразно.
2. СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ПОГРЕШНОСТИ МОСТА ПЕРЕМЕННОГО ТОКА С ОДИНАРНЫМ ДАТЧИКОМ
Рассмотренный бесконтактный |
индуктивный |
датчик |
||||||||
включается в мост переменного |
тока |
с |
добавочной ин |
|||||||
дуктивностью, используемой для |
точной |
настройки |
||||||||
|
|
|
|
моста |
по |
образцовой |
||||
|
|
|
|
детали. |
Температурный |
|||||
|
|
|
|
режим датчика |
и |
ин |
||||
|
|
|
|
дуктивности настройки |
||||||
|
|
|
|
может |
значительно от |
|||||
|
|
|
|
личаться, |
поэтому |
не |
||||
|
|
|
|
обходимо |
принимать |
|||||
|
|
|
|
меры |
по |
уменьшению |
||||
Р и с . 62. |
М о с т |
с о д и н а р н ы м д а т ч и к о м : |
температурной погреш |
|||||||
а — схема; б |
—• эквивалентная |
схема |
ности моста переменно |
|||||||
На |
рис. |
62, а показана |
|
го тока. |
с |
одинарным |
||||
схема |
моста |
индуктивным датчиком. Для упрощения анализа первичные обмотки дифференциального трансформато ра заменены в плечах моста активными сопротивления
94
ми. На рис. 62, б показана эквивалентная схема моста. Сопротивления Ri и R2 активных потерь датчика и до бавочной индуктивности складываются из сопротивле ний активных потерь в железе и омических сопротивле ний обмоток. Величина сопротивления R i активных по терь датчика изменяется при изменении воздушного зазора и при изменении температуры. Из общей темпе ратурной погрешности датчика значительная доля па дает на изменение величины активных потерь.
На рис. 63 изображена топографическая диаграмма моста. Отрезок, соединяющий потенциальные точки с и
d, характеризует модуль и фазу выходного |
напряжения |
||||
моста. Так как сопротивления X l2 , ^ |
и ^ |
постоянны, |
|||
точка d будет неподвижна. |
Положение |
точки с будет |
|||
изменяться при изменении X |
и Ri. При изменении ве |
||||
личины одного из сопротивлений, входящих |
в мост, |
||||
точка с может перемещаться |
по дуге |
окружности [25]. |
|||
Если принять равновесное состояние моста |
в |
качестве |
|||
исходного, траекторией точки с при изменении R\ будет |
|||||
окружность Q, проходящая через точку |
d u e |
центром |
|||
в точке q. |
траекторией точки |
с |
будет ок |
||
При изменении X l, |
|||||
ружность Р с центром |
в точке Р, также |
проходящая |
через точку d. Касательные М и N к этим окружностям, проведенные через точку d, будут перпендикулярны друг к другу.
95
При изменении воздушного зазора величина Ri и изменяются одновременно:
/?1= Т О ; x Ll = f"(6),
где б — длина воздушного зазора.
При этом точка с будет перемещаться по траектории, отражающей зависимости Ri и X l, от б. На топогра фической диаграмме эта траектория изображена кривой
ST, которая |
построена |
по характеристике реального |
||||||
датчика. Так как |
величины Ri |
и Хц |
при |
постоянстве |
||||
температуры однозначно зависят от б, кривая ST прой |
||||||||
дет через точку d. |
Если |
касательные М |
и N принять |
|||||
в качестве осей координат, то выходное |
напряжение |
|||||||
при нарушении равновесия моста |
можно представить в |
|||||||
виде проекций на эти оси. |
моста |
может |
нарушаться |
|||||
Состояние |
равновесия |
|||||||
в двух |
случаях: при изменении |
величины |
воздушного |
|||||
зазора |
в процессе |
измерения |
и при |
изменении темпе |
ратуры обмотки и сердечника датчика. В первом случае точка с смещается по кривой ST, во втором— по дуге окружности Q. Рассматривая второй случай, можно заметить, что проекция выходного напряжения на ось М при изменении температуры датчика будет иметь весьма малую величину. Если применить указатель, реагирую щий только на проекцию вектора выходного напряжения на ось М, то влияние температуры на точность измере ния перемещения будет значительно ослаблено.
В качестве такого указателя может быть применена одна из схем (см. гл. I, п. 3), реализующих функцию
/co = kldx COS(p,
где / ср — сила тока через рамку прибора;
0 Х— комплексное значение напряжения измеряе мого сигнала;
Ф — угол сдвига фаз между напряжением сигна ла 0 Хи опорным напряжением 0 У.
Обычно для получения максимальной чувствитель
ности указателя угол сдвига фаз ф между 0 Х и 11у уста навливается таким, чтобы он был равен нулю или я при небольших смещениях якоря датчика в ту и другую сторону от состояния равновесия моста. В этом случае на указатель действует как изменение индуктивности, так и изменение активного сопротивления, возникающее
96
при перемещении якоря датчика. На топографической
диаграмме направление вектора Uy должно в этом слу чае совпадать с направлением касательной к ST.
Установка такого фазового сдвига рациональна только с точки зрения получения максимальной чувстви тельности. Для получения минимальной температурной
погрешности направление вектора Uy должно совпадать с направлением оси М, т. е. угол ср должен быть равен углу Ф проекции вектора выходного напряжения на ось М. В этом случае указатель реагирует только на изменение индуктивности датчика и почти нечувствителен к изме нению его активного сопротивления.
Из этого следует, что действующая крутизна преоб разования датчика, отнесенная к току в рамке указа теля, уменьшится и составит
Sy = S0coscp,
где S0 — крутизна преобразования датчика с примене нием амплитудного указателя.
Это уменьшение может быть скомпенсировано при менением более чувствительного указателя или увели чением коэффициента усиления усилителя напряжения
сигнала 0 Х.
Необходимо заметить, что стрелочный указатель реагирует только на индуктивную составляющую век тора выходного напряжения, а усилитель и фазочув ствительная схема на модуль этого вектора. Это озна чает, что динамический диапазон усилителя должен быть расширен до величины
COS ф
где Uо — максимальное неискаженное напряжение на выходе усилителя с амплитудным указателем.
Характеристика фазочувствительной схемы должна быть линейной для высоких входных напряжений.
Методика наладки схемы проста. Мост уравновеши вается по осциллографу, включенному на его выход до полного баланса первой гармоники. На экране осцилло графа, в котором усилитель напряжения вертикального отклонения имеет большую чувствительность, баланс первой гармоники хорошо виден. Затем надо увеличить активное сопротивление плеча с индуктивным датчиком
4 З а к а з 802 |
%7 |
на величину, составляющую 0,5—0,75 ожидаемого при ращения активного сопротивления датчика под дей ствием температуры. Регулировкой фазы добиваются нулевых показаний указателя.
Все построения топографической диаграммы выпол нены для равновесного состояния моста и показывают возможность уменьшения температурного ухода нуле вой точки прибора. Однако нетрудно показать, что отрегулированная по предложенной методике схема будет в значительной мере защищена от температурной погрешности и при показаниях прибора, отличных от
Р и с. 64. Г р а ф и к и з а в и си м о с т и т е м п е р а т у р н о й п о г р е ш н о ст и д а т ч и к а о т ф а з о в о г о сд в и г а
нуля. |
Действительно, взяв |
на кривой |
ST точку Т |
(рис. |
63), соответствующую |
предельным |
показаниям |
прибора, и проведя дугу Q' с центром в точке q', най дем, что касательная N' к этой дуге, проведенная через точку Т, будет почти параллельна касательной N. Отклонение от параллельности будет тем .меньше, чем меньше относительное изменение полного сопротивле ния датчика. Так как в подавляющем большинстве случаев относительное изменение полного сопротивле ния датчика не превышает 10— 15%, отклонение от па раллельности касательных N и N' не превысит 5—7°
Графики, показанные на рис. 64, иллюстрируют ре зультаты, достигнутые с помощью метода установки фазы. Кривая / показывает отклонение стрелки при регулировке фазы, обеспечивающей максимальную чув ствительность, т. е. при угле ср, равном нулю или л; кривая 2 — при угле ср, равном углу ф>.
98
3. ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО
Измерительное устройство (рис. 65) предназначено для измерения валов диаметром от 10 до ПО мм. Ин дуктивный датчик 4 закреплен на подвижной рамке 7 Рамка перемещается по линейке 5, на которой нанесена шкала с ценой деления 1 мм. Для плавного перемеще ния и точной настройки на заданный зазор применяется устройство микрометрической подачи 3. Линейка с по
мощью кронштейна 6 закреплена на приборе ввода. Положение линейки с датчиками относительно детали может изменяться микровинтом 1. Настройка измери тельного устройства на заданный размер сводится к установлению определенного зазора между датчиком и эталоном. Эталонная деталь закрепляется в центрах. Измерительное устройство с датчиками, разведенными на заведомо больший размер, подводится к эталону, Освобождаются стопорные винты 2, и подвижная рам ка 7 с закрепленным на пей датчиком 4 плавно подво дится к эталону до касания. Устройством микрометри ческой подачи 3 устанавливается необходимый зазор, величина которого отсчитывается по нониусу.
После установки зазора зажимаются стопорные винты 2 и прибор готов к работе.
4* eg