Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Вакуумные и плазменные приборы и устройства.-7

.pdf
Скачиваний:
5
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
2.35 Mб
Скачать

Учебное пособие

А. И. Аксенов, А.Ф. Злобина, Н.Г. Панковец, Д.А. Носков

Учебное пособие по дисциплине «Вакуумные и плазменные приборы и устройства»

Усл. печ. л. ______ . Препринт Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 634050, г.Томск, пр.Ленина, 40