Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Измерение ширины запрещенной зоны полупроводника методом температурного сканирования.-2

.pdf
Скачиваний:
3
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
157.3 Кб
Скачать

я

 

Ы

 

 

 

Э

(

)

Э

Ы

(Э )

 

 

Ы А

Ы

А

 

А

А

А

Я

-

«

ы

э

»

 

:

 

.

ы Э

 

ИИИИИИИ

ы

. .

« 27 » _

я____ 2013 .

2013

 

А И

1.

…………………………………………………………………………. 3

2.

…………………………………………………………….. 3

2.1.

…………. 3

2.2. Э

……………… 5

2.3.

…………………………….. 6

2.4.

………………… 7

2.5.

……... 8

2.6.

………………………………………………….. 9

3. Э

……………………………………………………... 10

3.1.

………………………………………. 10

3.2.

………………………………………….11

3.3.

…………………….. 12

4.

……………………………13

5.

……………………………………………………………………….15

2

1. ВВ

И

,

,

.

,

,

,

. .

 

 

 

 

,

-

 

 

(

 

 

).

 

 

 

 

2.

ИЧ

КА ЧА

 

2.1.

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

.

,

 

 

,

 

. Э

 

 

,

 

.

,

 

,

 

,

 

 

 

(

,

. .)

 

.

 

 

 

 

:

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

,

 

 

 

,

,

 

Eg :

Eg .

 

 

 

 

 

 

,

 

 

»

 

)

 

 

3

 

 

 

 

 

 

»).

,

,

 

 

 

 

 

 

.

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(

 

).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

кр ,

 

 

 

 

,

:

 

 

 

кр

Eg .

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E

 

 

hc

,

(1)

 

 

 

 

 

 

 

g

 

кр

 

 

 

 

 

 

 

 

h

, c

 

 

.

,

 

кр ,

(1)

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

:

 

-

,

 

 

 

 

 

,

 

 

(

 

 

 

 

 

 

 

),

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

;

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

,

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

.

,

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

P-N

.

 

 

 

 

 

 

4

2.2.

 

 

 

 

 

 

,

 

,

 

,

 

 

.

 

,

 

,

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

.

 

 

,

 

.

.

«

»

,

 

.

 

 

 

.

,

 

 

 

 

:

.

,

 

 

 

 

,

 

 

.

 

 

 

 

 

.

 

 

 

:

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

.

,

 

,

 

;

 

-

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

.

 

 

 

.

 

,

 

 

 

 

 

.

,

 

, . .

 

 

 

 

.

 

 

 

 

.

 

 

 

 

,

 

,

,

5

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

,

 

 

 

 

 

,

 

,

 

 

 

 

.

 

 

 

 

,

 

 

 

 

N-

 

 

 

 

 

 

.

,

 

 

 

,

 

 

P-

 

 

 

.

 

 

 

 

2.3. К

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

(

).

 

 

 

n-

,

 

 

 

p-

. Э

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

p-n

 

.

 

 

 

 

 

 

p-n

,

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

,

 

.

p-n

 

 

 

 

 

 

 

( . .

,

 

)

 

 

.

 

 

 

 

p-n

,

 

 

 

 

 

.

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p-

,

n-

.

 

p-n

 

 

 

 

,

 

,

 

 

 

.

Э

 

 

 

 

 

n-

p-

 

.

 

 

.

 

 

 

 

,

.

p-n

,

.

n- p-

,

6

 

,

.

 

 

.

 

,

,

 

 

,

 

.

Э

 

.

p-n

 

.

 

p-n

:

 

 

 

 

 

N

 

 

 

 

I

 

Sen2 D

 

1

,

 

(2.1)

 

0

 

 

 

i

 

 

 

 

 

 

S -

p-n

 

; e -

 

 

 

 

; ni

-

 

; D -

 

 

 

 

 

 

 

;

-

 

 

 

 

 

; N -

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2.3.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Eg

 

 

 

 

T :

 

 

 

 

 

 

E

 

 

 

 

 

 

 

 

(2.2)

 

 

 

 

2k T

 

ni Nc Nv 1 2 EXP

 

 

g

Nc , Nv -

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

; k -

 

 

 

 

 

 

.

 

,

(2.1)

(2.2)

 

 

 

 

 

ni

 

: D, , Nc , Nv , Eg .

 

 

 

 

 

 

,

ni .

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

E

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

k T

 

 

I0 A exp

 

 

g

.

(2.3)

 

 

 

 

A -

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

(2.3):

 

ln I

 

 

ln A

Eg

 

1

.

(2.4)

 

0

 

 

 

 

 

 

 

k

 

T

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7

 

 

 

y

a

b x ,

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(2.4)

,

 

 

 

 

 

 

b tg

Eg ,

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

k

 

 

(

.

.1).

 

 

 

 

 

 

 

x

1 T

, . .

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

LN (I0)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T0/T

 

 

 

.1.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(2.4)

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

T0 .

 

 

 

 

 

 

 

 

ln I0 ln A

Eg

 

T

 

 

 

 

 

 

0

.

(2.5)

 

 

 

k T0

T

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

b tg

Eg .

 

 

(2.6)

 

 

 

 

 

 

k T0

 

 

 

 

 

 

,

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p-n

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(

6),

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(2.6)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p-n

:

 

 

 

 

 

8

 

 

 

 

 

 

 

Eg k T0

T0

T

 

 

 

 

ln I0

 

.

(2.7)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

:

p-n

?

 

 

 

 

 

,

,

, «

-

»,

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

.

,

 

 

 

 

 

p-n

 

 

 

 

 

 

,

,

 

( .

.2).

 

 

 

 

:

-

 

 

 

 

p-n

,

p-n

. ..

 

 

 

 

-

 

I0 .

 

 

 

 

 

 

 

,

 

.

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

. Э

 

 

 

 

 

 

 

T ,

 

 

 

I0

f T .

 

Ln( I0 ) f 1 T .

p-n

.

.

,

p-n

.

(

.3)

.

.

,

.

4.

1.

:

-

;

9

-

 

 

;

-

;

 

 

-

 

;

 

-

 

,

 

 

 

p-Ч

;

-

 

p-Ч

 

 

,

 

 

 

 

;

 

-

 

 

.

2.

WORD

 

.

 

 

 

.

 

:

ARIAL – 12,

2

,

.

 

 

3.

 

 

 

 

 

 

.

4.

 

 

 

 

 

,

 

 

.

 

 

10

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]