Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Твердотельная электроника.-2

.pdf
Скачиваний:
120
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
1.09 Mб
Скачать

11.

.

11.1

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(

).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

V

 

. 7.

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

. 7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

. 7

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

: EC , EV

-

 

 

 

 

 

 

 

;

EF -

Ф

 

-

 

,

 

 

 

 

 

 

p -

; Ei

-

,

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

«

 

».

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

-

X .

 

 

 

v ,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

v

 

Ei

EF

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

121

Ф ,

 

(

).

,

(

)

.

(

)

,

,

,

.

.

,

-

.8

,

V 0

«

-

»

.

,. .

( . . 8, ).

V 0 ,

.

, . .

 

(

. 8, ).

.

LD ,

:

122

 

LD

 

s 0k T

 

.

 

 

(11.1)

 

 

q2Na

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

,

(11.1)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Nd .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

:

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

( . 8,

).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4 s 0k T

 

 

 

 

 

 

 

W

 

 

ln

Na

.

 

(11.2)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q2N

a

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

yinv

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(11.3)

 

 

 

Na

 

 

 

 

 

2 ln

ni

.

 

p -

n.

n -

. 8

.

-

 

.

 

-

,

 

.

,

,

,

123

 

 

 

.

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

-

 

.

 

 

 

,

 

 

,

 

 

,

 

 

 

 

 

.

 

,

 

 

 

 

 

V

 

 

 

Q .

 

 

-

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

,

 

 

,

 

 

 

,

.

(

«

»)

 

 

(

«

»).

,

 

 

 

 

 

- Qs ,

,

.

 

,

,

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

Qs

,

 

 

.

,

Qs V

 

 

 

 

V ,

.

 

 

 

 

 

 

 

Сs

 

 

:

 

 

 

 

 

Qs

 

 

V :

 

 

 

 

 

C

Qs

.

 

 

 

 

 

 

 

s

V

 

 

 

 

 

 

124

 

Qs

V

,

 

Cs Cs V -

 

 

-

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

-

 

Σ

 

 

 

 

 

 

 

: Cs

C

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

1

1

 

 

 

 

 

 

 

С

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

С

Cs

 

(11.4)

 

С

С V

-

 

 

 

 

 

(

Ф )

-

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

( )

 

 

 

( )

Ф .

.

9

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ф

 

 

 

 

 

 

 

-

,

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

p -

.

C

-

 

 

 

 

 

 

 

 

, Сmin

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

. 9

Ф .

 

 

yinv

-

 

Vmin.

 

-

 

,

( . 7).

 

V 0

,

:

,

 

125

.

С0

 

 

C0

s 0

.

 

 

 

 

 

 

LD

 

Ф

.9 (

 

 

 

).

 

 

( )

«

-

»

 

 

 

,

 

 

 

 

 

Q0 ,

 

-

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

Q0 C

V

0

 

 

.

 

 

 

 

 

 

q

( Na Nd ).

.

) ,

. 10

126

:

(11.5)

,

.

.

V 0 ,

(11.6)

(

.

, . .

-

.

 

 

, . .

 

 

,

 

.

,

 

V ,

-

,

 

.

 

 

V

 

 

,

 

.

 

, . .

 

 

 

.

 

 

 

 

V

 

 

.

 

 

n -

,

 

 

 

( .10).

 

 

,

 

.

 

 

 

 

 

.

 

 

 

(

).

 

,

 

,

p -

.

 

.

 

 

 

,

 

 

,

 

p -

.

 

,

 

 

,

 

 

 

.

 

 

 

x

.

N

P ,

,

127

N n x n0 dx,

 

.

0

 

P p x p0

dx

0

 

n x

p x -

, n0 , p0 -

V q n N q p P .

(11.7)

 

0

F , y

N n L

ysk

exp y 1

 

dy ,

 

0 d

 

 

 

 

 

ys

F , y

 

0

N n L

ysk

exp y 1

dy .

 

0 d

 

 

 

 

 

ys

 

 

 

:

(11.7)

-

.

(11.8)

(11.9)

 

 

 

 

 

 

 

exp( y ) 1

1 exp( y ) 1

1 y

1 2

 

 

 

 

F

, y

,

(11.10)

 

Nd

,

y

s

qV

k T

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni

 

 

s

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

Vs

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

V ,

 

 

 

 

, ys0 -

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

, ysk -

 

 

 

,

 

 

 

ys

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

128

 

 

 

y1

 

 

 

 

 

y2 ,

(11.9)

y

0

y

,

y k

y

2

.

 

 

 

 

s

1

s

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

y

0

0 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

s

 

 

(11.9), (11.10),

,

,

.

Ф

-

.

-

,

V ,

.

,

,

,

.

.

,

,

,

.

,

 

(i-

).

Ф

 

 

 

p n

,

 

.

.

 

 

 

 

 

.

 

 

 

-

 

 

 

 

.

129

 

 

 

 

 

 

 

ys

0

 

 

 

«

 

 

»

-

 

 

 

,

 

 

 

,

 

,

n

,

:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U

 

y

 

 

k T

 

1

 

exp ys

 

 

p

.

 

 

фэ

s

 

exp ys

2

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ys

qVs k T

-

 

 

 

 

 

 

 

 

,

Vs

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

 

V ,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

9

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

(11.11)

 

 

 

 

 

 

 

 

«

»

 

 

 

 

 

«

 

 

 

 

 

 

 

».

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

ys

11.2.

З

1.

 

 

 

 

 

 

-

 

 

n -

 

 

N

2 1014 c

3

 

 

 

d

 

 

 

S 1.5 10 2

2 ,

,

 

 

 

 

 

SiO2

0.1

.

130

(11.11)

,

,

,

.

( ys 0 ),

(11.11)

,

.

,