Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Вакуумные и плазменные приборы и устройства

..pdf
Скачиваний:
7
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
2.17 Mб
Скачать

Учебное пособие

А. И. Аксенов, А.Ф. Злобина, Н.Г. Панковец, Д.А. Носков

Методические указания по самостоятельной работе по дисциплине «Вакуумные и плазменные приборы и устройства»

Усл. печ. л. ______ . Препринт Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 634050, г.Томск, пр.Ленина, 40