Вакуумные и специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

101

выключается охлаждение установки.

Вакуумная система всегда будет работать, если на выходе диффузионного насоса поддерживать давление не более 10 Па (10-1 мм рт ст). Высоковакуумный (диффузионный) насос часто не обеспечивает предельный вакуум по следующим причинам:

1)мало масла в насосе. Рекомендуется 70 грамм на 100 литров

откачки;

2)масло потеряло фракционирующие свойства из-за окисления;

6.8 Аварийные режимы вакуумного оборудования и методы реанимации режимов

Несоблюдение последовательности включения или выключения установки, отключение электричества или воды, приводит к потере служебных характеристик установки.

Ниже приводится перечень наиболее встречающихся неприятностей при работе на установках и возможные приемы реанимации работоспособности:

1)прекратилась подача воды - необходимо выключить нагрев диффузионного насоса. Необходимо, чтобы работал механический насос до полного остывания диффузионного насоса;

2)прекратилась подача электроэнергии - необходимо перекрыть все вентили и выключить установку. Остудить диффузионный насос;

3)забыли включить механический насос, но включили диффузионный насос. Если прошло не более 10-15 мин необходимо снять нагрев, включить механический насос. Если прошло более 15 мин выключить установку и произвести переборку диффузионного насоса и заменить в нем масло;

4)забыли открыть воду при запуске диффузионного насоса.

Необходимо снять нагрев диффузионного насоса. Пустить воду в насос после его остывания;

5)открыли входной или выходной вентиль работающего диффузионного насоса на атмосферу. Для реанимации необходима замена масла в диффузионном насосе;

6)выключили форвакуумную откачку при горячем диффузионном насосе. В этом случае необходимо включить форвакуумный насос и провести откачку горячего диффузионного насоса в течение 2-3 часов. Если по истечении этого времени диффузионный насос не обеспечит рабочий вакуум - провести замену масла в диффузионном насосе;

7)начали измерение высоковакуумным датчиком ПМИ–2 при форвакууме в вакуумной системе. Последствия - сгорает катод датчика. В этом случае продолжают работать «вслепую», ориентируясь по термопарному датчику.

Реанимация: по окончанию работ и выключении установки провести замену датчика;

102

8) выключили форвакуумный насос не закрыв вакуумные затворы.

После остановки насоса атмосферное давление выдавливает масло из форвакуумного насоса на выход диффузионного насоса. Подмес форвакуумного масла к высоковакуумному приведет к потере работоспособности диффузионного насоса. Если форвакуумный насос двухступенчатый – то выдавливание происходит в течение 5-10 минут. Если насос одноступенчатый – то происходит «выстрел» масла из форвакуумного насоса в диффузионный;

9)вакуумные затворы закрыли, но не напустили атмосферный воздух в форвакуумный насос. Масло из форвакуумного насоса поднимается до затвора. Лечение: провести напуск воздуха во всю вакуумную систему, прокрутить вакуумный насос вручную;

10)нештатная ситуация: изменение звука работающего механического насоса, запах масла, прорыв воды внутри установки или в вакуумной камере, оставление ручек и других посторонних предметов и т.п. В этих случаях следует принять меры по выключению установки.

ИНСТРУКЦИИ ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ ЭВМ Плазма является источником высокочастотных колебаний на

различных частотах. Элементы ЭВМ могут выступать антеннами, на которых выделяется высокочастотная мощность. Не рекомендуется располагать ЭВМ вблизи высокочастотных генераторов, ударных установок, разрядных цепей.

7Список рекомендуемой литературы

1.Барыбин А.А. Электроника и микроэлектроника. Физикотехнологические основы: учебное пособие/ А.А. Барыбин. – Физматлит

2006. – 424 с – ISBN 5- 9921-0679-1.

2.Браун Я., Келлер Р, Холмс А и др. Физика и технология источников ионов. – М.: Мир, 1998. – 500 с.

3.Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний – материал наноэлектроники.//уч. пособие для вузов. Сер.Мир материалов и технологий. – М.: Техносфера, 2007. – 352 с.

4.Данилина Т.И., Смирнова К.И., Илюшин В.А, Величко А.А. Процессы микро– и нанотехнологии. – Томск: ТУСУР, 2005. – 315 с.

5.Розанов Л.Н. Вакуумная техника – М.: Высшая школа, 1990.-

320 с.

6.Орликов Л.Н. Технология и автоматизация производства электронных приборов. – Томск: ТМЦДО, 2001. – Ч.1-2. – 150 с.

7.Орликов Л.Н. Специальные вопросы технологии. – Томск: ТУСУР,

2007.– 229 с.

Учебное пособие

Орликов Л.Н.

Вакуумные и специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

Учебное пособие по дисциплине «Основы вакуумных технологий» и дисциплине «Специальные вопросы технологии приборов

квантовой и оптической электроники.

Усл. печ. л. 12,19. Препринт Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

634050, г.Томск, пр.Ленина, 40