Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Исследование свойств МДП-структур

..pdf
Скачиваний:
2
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
234.96 Кб
Скачать

с с

сс с

 

В

В

 

В

(

)

 

В ( )

 

-

с

 

с

 

с

«

э

»

с

 

 

 

200100.62 «

 

э

»,

:

сс

ИИИИИИИИ В. .

«15 »

2013

2013

1. ВВ

 

 

 

 

 

 

 

2.

 

 

 

 

 

 

 

 

2.1.

с

 

м

 

 

 

 

2.2.

 

с

с с

с

э

с м

 

2.3. В

-

 

с

 

-с

.

3.

 

 

 

 

 

 

 

 

3.1.

 

м

м с

-с

 

 

 

3.2.

с

э с

м

с

 

 

 

3.3.

 

с

с

 

 

м

 

3.4.

 

 

 

 

 

 

4.

В

 

 

В

 

 

 

5.

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

1.

 

 

 

 

 

 

 

 

м

В

м

 

э

м

м

 

э

. В

60-

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

с

м

 

 

 

м

 

с

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

 

с

 

э

 

 

 

сс

,

 

 

 

 

 

 

с

м

с

 

 

 

 

 

 

 

 

м

э

с

 

 

.

м

с с

м

 

м

 

 

с

 

 

:

-

,

 

с

м

 

с

 

э

 

с

с

м

 

 

с

с

 

с

 

(

сс

 

)

с

 

 

 

 

 

с

,

 

 

 

 

с

 

с

 

 

с

 

с

;

 

-

,

 

э

 

 

 

 

с

э

 

с

 

,

 

с

 

 

 

м с

с

 

э

 

 

 

 

 

 

с

с .

В

э

с

 

 

 

 

 

сс

 

 

 

 

 

 

э

 

с

 

с

 

м э

 

с

с

 

 

 

с

с

 

 

 

 

, с

с

м

 

 

 

 

«

э

-

 

 

 

».

э

м

 

м

 

с

с

с

 

м

-

э

 

-

 

 

 

(

)

с

 

с

 

м

 

м

 

 

 

 

с

 

с

-

 

 

 

 

с

м

 

 

 

 

э

 

,

 

с

м

 

м

 

сс

 

 

 

м

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2.

 

 

Ч

 

Ч

 

 

 

 

 

 

2.1.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

с

 

с

с

 

 

 

 

 

 

с

 

м м

 

м

 

с

 

 

с

с

с

,

 

э

 

с

с

с

 

 

с

с

 

 

 

?

 

 

м,

э

 

с

с

 

 

с

с

с

с

м ,

 

м

 

 

 

с

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

:

 

 

 

м

 

 

 

-

 

 

 

 

 

,

 

м

 

с

с

 

 

«м

-

э

 

-

 

 

» (

), «м

 

-

 

 

» . .

 

 

 

м

 

 

м

м

 

 

ссм

 

м

с

 

м

 

 

,

с

 

м

 

ссм

 

 

-с

.

 

 

 

 

 

 

я

я. В

 

 

 

 

с

с

 

с

 

 

 

 

 

 

с

э

 

с

м с

 

э

 

,

 

с

 

 

 

с .

 

 

 

 

 

 

с

 

 

, э

 

с

с с

 

э

 

 

 

с

 

с

 

 

с с

 

 

м

 

 

 

.

 

с

с

м

 

.

 

 

 

 

 

с

м,

 

 

 

с

с

 

с

 

 

 

с

 

 

 

 

, . .

 

 

 

 

 

с

м м с

 

м с .

 

м с

м .

3

 

 

 

 

 

 

 

с

 

с

с

 

 

 

 

 

э

 

,

м

 

 

 

с

 

м

с

с

с

 

м

 

 

м

с с

 

 

.

э

м

с

 

э

 

 

 

 

с

 

 

с

м

 

м м

 

 

 

 

 

 

 

м с

 

 

 

.

В

 

 

 

э

 

 

 

с

м

 

с

м

 

 

 

 

э

 

 

 

э

 

 

 

 

 

э

,

 

 

 

 

 

 

м с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(

)

 

мм

 

м

 

 

,

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

с

 

с

 

 

.

 

 

 

 

 

с

 

с с

 

мм

 

 

 

 

 

с

1015 м 2 .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

э

м с с

 

м

 

 

с

 

с

с

 

м

 

 

 

с с с

м , с

 

м с с

 

м с

с м

 

с .

В

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

с

 

м

 

м

 

 

с мм

 

 

 

 

с

с

 

с

 

м

 

 

с м

 

 

 

 

 

 

(

 

э

м

 

с

 

 

с мм

 

 

 

 

 

с

м

с

 

с

 

с

 

),

 

с

 

м

 

 

 

 

с

 

с с

 

м

 

 

 

. .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В

 

 

с с

 

м

мм

 

 

м

с

м

с

 

 

 

 

 

 

 

,

 

с

 

 

 

с

 

с

 

 

м

 

 

с

с

с

 

 

 

 

:

с

 

 

 

с

,

 

с

 

 

 

 

 

,

 

 

 

м

м

с

м

с

м ,

с

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

с

 

э

.

 

 

 

э

,

,

с

 

с с

 

– э

 

с

с

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

м

с

 

 

 

 

с

с

 

 

 

 

,

 

 

м

м

с с

м

 

м

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

с

 

м .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

я .

 

 

 

 

 

с

 

с

 

с с

 

 

 

с

 

сс

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

,

 

 

м

с м м

 

 

с

 

 

 

 

 

,

 

м , 1 см2 .

 

с

 

 

с

с с

 

 

 

 

 

 

с м

м NSS .

 

 

 

 

 

с

 

с с

 

с

 

 

с

 

м

 

-

с

,

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

м

 

 

 

 

 

 

- с

 

 

 

э

м

см

 

 

 

м

 

 

 

с

 

э

 

м

 

м

 

с

 

 

с с

 

:

 

 

с с

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

 

,

 

 

 

с с

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

,

 

 

 

м

 

.

 

э

м

 

 

с

 

м

 

 

м

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

4

 

с

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

м

э

с

 

м

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

э

 

 

 

эВ. э

м

м

 

 

э

с

м

 

с

 

 

э

 

.

 

 

м

 

м,

с

 

 

с

с с

 

 

(

)

 

 

 

 

с

м

э

 

с с

 

 

 

 

 

 

с

 

с cм 2 эВ 1.

 

 

м

 

э

 

 

 

м

м

 

 

м

с

 

 

с

 

 

с -

с

с

 

: N

2.2 1012cм 2эВ 1.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

SS

 

 

 

.

с

 

 

 

м

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

с

 

с

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

, .

. с

 

 

.

 

 

 

 

 

-

с

 

 

с м с

 

э

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

м

с

 

 

 

м

с .

с

 

 

,

 

с

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

м

,

м м

э

 

 

 

 

с

 

 

 

.

 

,

с

см

с

 

 

 

 

 

 

м с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

NSS (E)

м

 

 

 

 

с

э с

 

-

 

 

,

с

с

с

с

 

с

-

 

 

м .

 

Ф

 

 

 

я

 

 

.

 

 

 

 

с ,

 

с

 

 

 

м

 

м

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

с

 

 

с

с

 

 

 

 

 

э

 

с

 

,

 

 

,

 

 

 

с

с

 

э

 

.

,

м

с

 

м

 

м

 

 

с

 

м

с

 

м

SiO2 .

 

м

 

 

 

 

 

м

 

с

 

 

с

 

м с

 

 

(

 

 

,

,

 

с

 

 

. )

 

э

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м .

 

с

 

 

 

 

 

,

с

 

 

 

м

 

с

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

м.

э

 

с

 

 

 

 

 

с

 

э

с

 

м

 

 

с

 

( . .

 

 

м

 

м

)

 

э

, с

с

с

 

с

 

 

м

 

 

с

 

с

-

 

с

 

.

 

 

 

 

Е

 

 

 

 

.

 

м

с

м

 

 

с

 

 

 

 

,

 

с

с

 

 

 

э

 

с

 

 

Q

 

 

м

 

 

V: C

Q V .

 

-

 

 

«

 

 

э

 

»

 

 

 

 

 

 

э

 

 

,

с

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

 

 

м

э

с

 

,

 

 

 

 

 

 

 

с

м

ссм

 

 

 

 

м

с

 

с

с

5

 

 

. В

 

м

с

 

 

 

 

 

с м с

,

. .

 

 

с

 

 

с

 

 

 

 

с

 

 

 

,

 

с

 

 

 

 

с

-

м

 

с

 

 

м

с

 

 

с

 

.

 

 

 

 

2.2.

ч

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ч

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

э

 

,

с

 

 

 

 

с с

 

э

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

с

с ,

 

с

с

м

с

 

с

 

э

м

 

 

 

 

 

с

.

с

э

 

с

с

с

 

 

с

 

с

 

 

 

сс

 

с

м

 

с

 

м

 

 

 

 

 

 

э

 

 

 

(

).

 

 

 

 

 

 

 

 

м с

 

э

с

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

э

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

с

 

,

м

с

 

 

 

 

 

 

э

 

 

 

м

 

с

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

.

м

с

 

 

 

 

 

 

1.

с

-с

 

 

 

с.

 

 

 

 

 

 

d -

м

с

э

,

 

 

с.1

 

 

 

V -

 

.

 

-

 

 

 

 

 

 

 

с

 

мм

 

- с

 

с

с

 

 

 

 

 

 

с. 2.

 

 

 

 

 

 

V

 

 

 

с

с

 

 

э

 

с

 

 

мм

м

,

 

 

 

 

 

э

 

 

-с

 

.

с

 

э

 

с

мм

э

,

с

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

м

 

с

э

 

.

 

с

с.

2

 

э

 

-

 

 

 

 

 

 

с

 

мм

 

 

 

.

 

 

 

 

 

 

с

 

 

с

 

 

-

 

 

 

 

 

 

:EC , EV - э

мс

EF - э

 

м ,

 

;

 

 

 

с

с

с

м

 

 

 

 

 

с

-с

.

 

 

 

с

ссм

с

 

с

p -

; Ei - э

 

с.2

 

 

-

6

 

 

.

 

э

 

(

э

)

м с

 

с

«

m , с

с

м ».

 

 

 

 

.

В

 

 

м

 

 

 

 

 

 

b

 

 

с

м с

(

 

 

 

 

 

 

 

с

м

э

 

 

 

,

 

с

с

 

 

с

м

с

 

э

 

с

.

 

 

(

 

м

10 6 м)

, с

 

 

мм

 

 

с

э

 

с

 

 

с

э

 

с

с

 

с

 

 

 

 

, эм

 

с

э

, м

 

 

 

 

 

э

 

м

э

 

м

 

 

 

-

 

 

 

 

 

b ,

 

 

Ei

EF

.

 

 

 

q

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с.2

 

).

 

 

 

 

 

с

э

с

 

м

с

 

э

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

с

м с

 

 

,

с

э

с

 

с

 

 

 

,

 

 

 

 

 

.

с

 

 

 

 

 

м –

с

с м с-

 

 

 

 

 

с.3

 

 

 

 

 

 

.

,

с

с

 

-с

 

с с

 

 

 

 

 

,

») э

 

 

 

 

м

с

м

(

 

«

 

 

 

 

 

 

 

V

0

 

 

 

«

 

 

-

э

»

щ

с

 

с

.

 

 

 

м

 

 

 

 

 

, . .

 

с

с

 

 

 

 

 

 

с

м

с

м

(см.

с.3,

).

с

 

 

м

э

 

 

 

м

 

 

 

 

 

V

0 ,

 

 

с

 

 

.

 

м

 

 

 

 

 

 

 

, . .

 

с

 

 

с

м

с

м

(

с.3,

). В э

м

м

э

 

 

 

э

 

с

 

 

 

с

с

с

 

 

м

м

 

 

м с .

с

 

с

э

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7

 

 

LD ,

 

(

 

 

 

 

 

)

с

 

 

м с :

 

,

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

LD

 

s 0kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

2Na

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

м

 

с

с

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

сс:

 

 

 

 

 

э

.

 

,

 

э

м

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-с

 

 

с

с

с

 

 

 

 

 

э

 

 

 

 

 

 

 

 

-

с

 

 

с

,

 

м

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

с

 

.

э м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

(

с.3,

 

 

).

В

э

 

м

 

м

с

с

 

 

с

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

м с ,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4 s 0kT

 

 

 

Na

 

 

 

 

 

 

 

 

W

 

 

ln

.

 

 

 

(1)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q 2N

a

 

 

 

 

ni

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

м

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

м

с

-

с

м м

- Cmin .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

м

 

с с

 

(

с. 2). В э м

 

 

 

м

 

 

м

 

V 0

 

м

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

 

м

м

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

s

м :

м

s ,

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

э

 

 

 

 

 

с

 

.

с

м

э

м с

 

 

 

 

 

м

с

 

с

 

 

 

с

с

 

э

 

 

:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C0

 

 

s

0

.

 

 

 

 

 

 

 

(2)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

LD

 

 

 

 

 

 

 

 

м

с с

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

с

 

 

 

э:

 

 

 

Q ик

 

С V ,

 

 

(3)

C -

м с

э

,

 

V V 0

- с

 

 

с

с

 

 

 

 

 

,

 

м

с

 

 

 

 

с с

с

с

,

м с

-с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C

C C 0

 

 

 

(4)

 

 

 

C

C 0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

8

 

 

 

 

с

 

 

мм

 

 

 

ссм

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

n -

 

с

 

 

 

 

с. 3

 

м

 

 

м

 

 

м

 

м .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2.3.

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ссм

 

 

-с

 

 

м

 

 

,

 

 

 

 

 

с

м

 

с

.

 

 

 

 

м

с

, с

 

 

с

 

,

м

 

 

с

э

,

 

с

 

 

 

 

 

с

 

с

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

э

 

 

– э

 

э

 

с

 

с

,

 

 

 

э

 

 

 

с

м

 

с

 

.

 

 

 

с

с

с

с

м

 

с

м

 

 

 

 

 

 

 

с

с

 

 

 

 

-с

 

 

м с

 

с

с .

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

с

,

 

 

 

 

 

м

м

 

с

м

 

с

 

м ,

 

 

 

м

э

 

м,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

с

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

м .

с

 

 

,

м

с

 

 

с

с

 

с

м

 

 

 

 

м

с

 

м

Q .

 

V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

с

 

 

 

с

 

 

 

 

с

 

с

 

 

 

 

,

 

с

 

с

 

с

ссм

м

 

 

 

м

 

 

 

 

 

м м ,

 

 

 

 

 

 

 

с

 

с

 

 

 

 

 

с

 

 

с

с

 

 

 

 

м

 

 

,

 

 

 

 

 

с . В

 

м

 

м

 

 

 

м

 

 

 

с

 

 

с

 

 

 

 

с

с

 

(

 

м

 

 

)

 

 

с

 

 

с

 

 

 

(

м

 

с

).

 

 

 

,

э

 

м

 

 

 

с

с с

 

 

 

 

 

 

 

 

- Qs . В

 

м

 

 

,

с

 

,

э

 

с

с

с

 

 

 

 

м

м

 

 

 

с

,

 

 

 

 

 

 

м с .

э

м

э

м

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

м

 

 

Qs

 

м

 

,

м

 

м

 

 

 

 

 

 

 

с .

 

м

 

 

м,

 

с м с Qs V м

 

 

 

м м м

 

с

 

 

 

V ,

с

 

с

 

 

 

.

м с

с

 

 

с

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

:

 

 

 

 

 

с

 

 

м

 

 

 

 

с

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

.

м

с

 

э

 

с

с

 

:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C

 

Qs

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

s

 

V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

Qs

 

с

V

 

 

 

 

м

м,

 

Cs

Cs V -

м

с

 

-

 

с

 

 

 

с

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

,

 

м

 

м .

 

 

 

 

м

с

 

- с

 

 

СΣ

9

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

с

 

 

 

 

 

 

 

 

с

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

:

 

 

э

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Cs

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

1

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

С

С

C

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

s .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с м с

 

 

 

 

 

 

 

С

С V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

)

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

.

 

В

 

 

 

с м с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

м

 

-

 

 

 

 

 

 

с. 4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

м

с

(

 

 

м

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

м

 

 

 

 

м

м

 

с

 

 

 

 

 

 

)

 

 

 

 

 

 

ч

 

 

(В )

 

 

 

 

ч

 

 

 

 

 

(

 

) В .

 

 

 

 

с. 4

 

 

с

с

с

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

В

 

 

 

 

.

-с

 

с

 

 

 

 

,

 

 

 

 

м

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C

 

-

 

э

 

 

с

 

с

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

с

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

В

 

;

Сmin

-

 

м

 

м

 

м

с

с

 

 

,

 

 

 

 

 

 

с

 

 

с

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

с

 

В

В

. В с

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

м

с

с

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

с

 

 

 

э

 

 

 

 

 

 

 

м

м

 

 

СΣ С .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ч

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3.1.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

м

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

м

с

 

 

с

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

э

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

С ,

с

 

 

 

м

 

с

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

с

э

 

 

 

 

Сэ , . .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

с

с

 

 

с

.

с

 

 

э

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

 

U

 

,

с

м

м

 

с э

 

 

 

 

 

м

с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(см.

с.5):

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U x

I

 

1

 

 

 

U

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

Сэ

 

 

 

U

 

.

 

 

 

 

 

j Cэ

 

 

 

 

 

 

 

 

j Cэ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

1

 

 

 

 

С

Сэ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

j Cx

 

j Cэ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

м

 

 

 

 

 

 

с

 

 

 

 

 

 

 

:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10