4.5.2 Шлифование подложки

Шлифование является определяющей стадией механической обработки, в процессе которой обеспечивается сохранение ориентации, полученной при резке или исправления угла среза, и формируют основные параметры точности и качества подложек, подготавливая поверхности к последующему полированию.

Даже имея материал с исключительно высоким кри­сталлическим совершенством, невозможно получить высококачествен­ную эпитаксиальную пленку, если поверхность не обработана так, чтобы исключить все следы нарушений, связанных с резкой и меха­нической полировкой. Наряду с требованием к качеству поверхности должны быть обеспечены плоскостность и параллельность. И, наконец, подложка должна быть тщательно очищена и подготовлена к эпитаксиальному про­цессу таким образом, чтобы в идеальном случае единственным источником дефектов в пленке мог бы оказаться только сам процесс жидкофазной эпитаксии.

Жесткое блокирование плоской поверхности

1. Нагреть наклеечное приспособление

2. Установить наклеечное приспособление на подставку

3. Нанести слой смолы или клей-расплава в лунки наклеечного приспособления или на поверхность плоского наклеечного приспособления

4. Разогреть заготовки

5. Положить заготовки в лунки на слой смолы, нанесенный на поверхность наклеечного приспособления и прижать их

6. Охладить блок на воздухе

Расчет плоского блока

Рис.4.7. Схема блокирования.

Здесь выбираем оптимальную схему расположения заготовок в центральной зоне, обеспечивающую рациональное использование площади наклеечного приспособления, число зон, по которым располагаются заготовки, их количество. Коэффициент заполнения, характеризуемый отношением суммарной площади, занимаемой круглыми заготовками, к общей площади блока, одинаков у схем с одной, тремя и четырьмя заготовками в центральной зоне [26].

Для нахождения параметров блока последовательно выполняют следующие вычисления.

1. Рассчитаем диаметр D_i, описывающий i-ю зону блока для всех схем расположения заготовок диаметром D_Д в центральной зоне:

2. Найдем число i зон, по которым могут быть размещены заготовки и сравним с диаметром D_НП=500мм наклеечного приспособления.

При размещении одной детали в центре число зон – 5.

При трех и четырех деталях в центральной зоне – 4 зоны.

3. Определим количество заготовок М_бл заготовок, которые могут быть собраны на блоке.

1 деталь в центральной зоне:

3 детали в центральной зоне:

4 детали в центральной зоне:

Наиболее выгодным является заполнение с одним элементов в центральной зоне.

Шлифование плоской поверхности

Производить на станке 3ШП-350

Инструмент: плоскошлифовальный круг

1. Тонкое шлифование заготовки выполнить комплектом плоских шлифовальников по переходам, применяя абразивные материалы с убывающей зернистостью М10, М7, М5.

2. Установить на шпинделе обрабатывающий инструмент

3. Произвести тонкое шлифование микропорошком М10

4. После окончания шлифования выключить шпиндель, блок очистить от остатков шлифовального материала

5. Произвести тонкое шлифование микропорошком М7 и М5