Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Сварка и свариваемые материалы. Том 2. Технология и оборудование

.pdf
Скачиваний:
59
Добавлен:
15.11.2022
Размер:
24.24 Mб
Скачать

 

 

 

 

 

 

 

Т А Б Л И Ц А ll.S

 

 

РЕКОМЕНДУЕМЫЕ

РЕЖИМЫ ТЕРМОКОМПРЕССИИ

 

 

 

ДЛЯ

РАЗНЫХ

СОЕДИНЕНИЙ

[1. 3. 7]

 

Материал полупроводника

Температура

Удельное

Деформация

Время, е

или покрытия

 

нагрева °С

давление,

вывода, х

 

 

 

 

 

 

ХНР Н/м»

 

 

 

 

 

 

Вывод золото

 

 

Кремний

 

 

 

350

14—15

60

5 -1 0

Германий

 

напыленный

350

14—15

60

3 - 5

Алюминий,

350

10—11

50

0 ,5 -3

на Si02

напыленное

на

250

14-15

60

1 -5

Золото,

300

10—11

50

0,5 -3

SiO,

 

 

 

 

 

 

 

 

Золото гальваническое

 

320—340

7—10

50

1—5

Серебро вожженное

 

350

10-11

50

1—5

 

17-18

60

7

 

 

 

 

400

13—14

60

5

 

 

 

 

Вывод алюминий

 

 

Кремний

 

 

 

450

7

60

10

Германий

напыленный

400

60

10

Алюминий,

400

(ь-7

60

1—3

яа SiOt

напыленное

на

350

6—7

60

3—7

Золото,

320

6—7

60

1—3

SiO,

 

 

 

320

6 - 7

60

1 -3

Золото гальваническое

 

Серебро вожженное

 

400

6 - 7

60

7—10

 

 

 

 

Вывод —■серебро

 

 

Алюминий,

напыленный

400

18-19

___

5 - 7

на Si02

напыленное

на

350

14

 

5 - 7

Золото,

5Ю2

гальваническое

400

18-19

 

3—7

Золото

 

 

 

 

350

18—19

5—7

пластичности проводника, сочетания свариваемых материалов, диаметра привариваемого Вывода и вида торца инструмента.

При сварке

алюминиевых

проводников

используют давления

(4—-8) • 107

Н/м2, а при сварке золотых

проводников— (10—

14) • 107 Н/м2. Температура

нагрева свариваемых материалов

в контакте не должна превышать температуры образования эв­ тектики соединяемых материалов (1—3, 5—9]. Длительность выдержки при условии постоянства температуры и давления выбирается в зависимости от сочетания свариваемых материа­ лов, состояния их предварительной очистки и от окружающей среды. Обычно определяется экспериментально путем оценки прочности соединений и составляет от 0,1 с до нескольких

десятков секунд. Области оптимальных рекомендуемых режимов СКИН приведены в табл. 11.2. Режимы термокомпрессии раз­ ных сочетаний материалов представлены в табл. 11.3.

11.3.О борудование

11.3.1.Конструктивные особенности установок

Установки для термокомпрессии и СКИН содержат следующие основные узлы и элементы [1—3, 5—8]: рабочий столик с нагревательной колонкой или без нее, механизм сжатия, рабочий инструмент, механизм подачи и обрезки про­ волоки, механизм подачи корпусов, манипуляторы для совмещения соединяе­ мых элементов, систему наблюдения, блоки питания и управления рабочими механизмами.

Рабочий столик предназначен для крепления кристалла или корпуса при­ бора. Рабочий столик делается сменным с целью возможности присоединения выводов к приборам разной конструкции.

. Нагревательная колонка служит для нагрева прибора до температуры термокомпрессии. Иногда для защиты прибора от окисления в колонку по­ дается защитный газ (осушенный азот, смесь азота с 6—8 % водорода или аргон).

Механизм сжатия обеспечивает регулирование усилия прижатия рабочего инструмента к свариваемым элементам. Для термокомпрессии более широко используются грузовые механизмы сжатия. Управление ими может осуществ­ ляться вручную, от ножной педали или от электродвигателя. При полуавто­ матическом цикле длительность прижатия устанавливается предварительно и выдерживается автоматически.

Рабочий инструмент является важнейшим элементом установок для тер­ мокомпрессии и СКИН. Его конструкция должна обеспечить сварное соеди­ нение требуемой формы и размеров, наибольшую эффективность подвода тепла в зону сварки, удобный подход к свариваемым деталям, простую и удобную подачу привариваемой проволоки под рабочий торец инструмента. Материал рабочего инструмента должен обладать высокой износостойкостью, малой способностью к схватыванию со свариваемыми деталями, теплостой­ костью и иметь низкую теплопроводность. В качестве материала рабочего ин­ струмента при термокомпрессии применяют стекло «Пирекс», рубин, сапфир, твердые сплавы ВК-2, ВК-6, ВК-6М, ВК-8, ВК-12, ВК-15, моно- и поликристаллический молибден, оксиды бериллия, бариевый слюдоситалл, корунд, и моноалюминат кальция. При СКИН для рабочего инструмента используют вольфрам, молибден, ниобий и ниобиевые сплавы.

Механизм подачи и обрезки проволоки используется в зависимости от назначения установки. При сварке иглой и монтаже внахлестку используется роликовый механизм подачи, при котором ролики вращаются от мотора. При сварке капиллярным инструментом с образованием шарика или инструментом типа «птичий клюв» применяют катушку со свободным сматыванием про­ волоки. При подаче проволоки через боковое отверстие в инструменте меха­ низм подачи и обрыва проволоки выполняют в виде электромагнита и рычаж­ ной системы. Иногда для подачи проволоки используют также пинцет.

Механизм подачи корпусов изготавливается в виде простых зажимов для крепления каждого корпуса или кристалла или в виде кассет с ленГой, в ко­ торой корпуса (кристаллы) предварительно ориентируются.

Манипуляторы предназначены для точного совмещения соединяемых эле­ ментов и рабочего инструмента. Используют манипуляторы двух видов: ры­ чажные и пантографные.

Система наблюдения состоит из бинокулярного микроскопа с увеличением от 8 до 80 раз. В отечественных установках используется микроскоп МБС-2.

233

 

 

ТИПЫ И ТЕХНИЧЕСКИЕ

ХАРАКТЕРИСТИКИ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ УСТАНОВОК

 

 

 

 

 

 

ДЛЯ ТЕРМО КОМПРЕССИОННОЙ СВАРКИ [1 -3 , 5— 8]

 

 

 

 

 

Характеристика

 

 

 

 

Тип установки

 

 

 

 

 

 

контакт 1А

контакт 2А

ЭМ-422

ЭМ-439

ЭМ-439А

ЭМ-446

МС-41ПЗ-3

ЭМ-410

 

 

 

Производительность,

число

 

 

2500

3200

800

 

800

1000

2000

соединений/ч

 

 

120

180

 

 

Диаметр вывода, мкм

10—100

40— 80

25—60

25-50

25-60

25—60

20-50

20

Температура нагрева, °С

20—450

100—500

100—400

250—400

250—400

250—400

100—450

250—450

Усилие сжатия,

Н

 

0,2—1,5

0,5-1,5

0,1—1

0,15—1

0,15—1

0,1—1

0,2—1,5

0,4—2,5

Время сварки,

с

 

1-10

1—6

0 ,5 -5

0,4—3,6

0,4—3,6

0,4—3,6

0,4—3,6

0,04—3,96

Способ соединения

 

 

Внахлестку

Встык шариком и внахлестку

Внахлестку

Встык

Инструмент

 

 

Клин

«Птичий

Капил­

Капилляры с центральным

Капилляр

шариком

 

 

Капилляр

 

 

 

 

клюв»

ляр с бо­

и боковым отверстием

с боковым

с централь­

 

 

 

 

 

 

ковым

 

 

 

 

отверстием

ным отвер­

 

 

 

 

 

 

отвер­

 

 

 

 

 

 

стием

 

 

 

 

 

 

стием

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Т А Б Л И Ц А

11.5

ТИПЫ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ

УСТАНОВОК

ДЛЯ

СКИН

[1 -3 , 5 - 8 ]

 

Характеристика

 

 

 

с к и н

 

 

|

СКИН с ультразвуком

СКИН-1

|

Контакт-ЗА

ЭМ-308

ЭМ-429

 

 

ЭМ-431

 

МС-64П2-1

 

 

 

 

1

 

Производительность,

число

соедине-

250

 

120

1000

1200

 

800

 

800

 

ний/ч

 

 

 

 

 

 

 

кри­

Диаметр вывода, мкм

 

 

30—100

 

20—100

20—100

20—100

Размер кри­

Размер

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

сталла

 

сталла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0,7X0,7;

 

0,7X0,7;

Температура нагрева, °С

300—1000

300—1000

300—800

300—800

1,8Х 1,8 мм

 

1,8Х 1,8 мм

200—500

 

200—500

Усилие сжатия,

Н

 

0,3—0,5

 

0,3—1,5

0,3—1,5

0,3—1,5

 

1—10

 

1—10

Время сварки, с

 

0,05—3

 

0,04—3,96

0,05—1

0,05—1

 

0,3—10

 

0,3—10

В настоящее время разработаны специальные проекторы для совмещения

места соединения подложки илн корпуса' с проволокой.

Блоки питания и управления осуществляют управление и контроль ра­ боты всех узлов установки..

11.3.2.Типы и основные технические характеристики установок

Втабл. 11.4 приведены основные технические характеристики

отечественных установок для термокомпрессии, а в табл.

11.5— для сварки СКИН.

11.4.Промышленное применение

Вполупроводниковом производстве термокомпрессионная сварка применяется для присоединения гибких проволочных проводников из золота, алюминия и меди к тонкопленочным контактным площадкам, к металлизированной поверхности по­ лупроводниковых кристаллов и выводам корпусов [6].

Наиболее успешно сварку СКИН применяют для присоеди­ нения золотой и алюминиевой проволок к траверсам корпусов транзисторов и к корпусам гибридных микросхем, изготовлен­ ных из ковара, никеля, ситалла с покрытием из золота [7]. Наи­ более широко распространенной схемой монтажа является со­ единение контактных площадок полупроводникового прибора, полученного по планарной технологии, с внешними выводами

корпуса с помощью гибких проволочных • выводов [1, 12]. При этом один конец круглого проводника из золота или алюминия 0 (10—300) мкм должен быть приварен к тонкой металличе­ ской пленке тоже из алюминия или золота, напыленной на окисленный кремний, а другой — к золоченому или алюмини­ рованному ковару или к золоченой толстой пленке на керами­ ческом основании корпуса. Иногда, когда полупроводниковые приборы выполняются без металлизации (например, мощные транзисторы), гибкие проводники присоединяют непосредст­ венно к поверхности кремния [1, 12]. При сборке кремниевых бескорпусных диодов используют плоские медные золоченые выводы, которые присоединяют непосредственно к полупровод­ никовому кристаллу [1]. При производстве гибридных инте­ гральных схем (ГИС) присоединение гибких проводников также осуществляется к металлическим пленкам разной тол­ щины, напыленным или выращенным гальванически на Диэлек­ трических подложках.

11.5. Контроль качества

Методы контроля качества сварных соединений, полученных термокомпрессией и СКИН, можно разделить на два слеДУ10щих основных вида: разрушающие и неразрушающие [1—3,

5—В]. К р а з р у ш а ю щ и м м е т о д а м контроля относятся: механические испытания соединений; микроскопические иссле­ дования на шлифах с применением обычных металлографиче­ ских или электронных микроскопов; химический анализ (обыч­

ный или с помощью

электронного

микрозонда) [1—3,

5—8].

К н е р а з р у ш а ю щ и м

м е т о д а м

контроля относятся:

визу­

альный осмотр соединений и готовых приборов; оценка каче­ ства соединений с помощью щупов; измерение электрических характеристик готовых приборов [1—3, 5—8].

Из разрушающих методов большей частью применяют ме­ ханические испытания сварных соединений и металлографиче­ ский анализ [1—3, 5—8, 13], которые являются наиболее эф­ фективными при отработке технологических режимов сварки и их контроля в процессе производства. Прочность определяют на срез или отрыв под углом 30, 45, 90 или 180° относительно поверхности подложки. Методом металлографического анализа определяют структуру сварного соединения и выявляют внут­ ренние дефекты [1, 3, 5, 8],

С помощью металлографического анализа выявляют такие дефекты, как: плохое сцепление металлической пленки с кри­ сталлом полупроводника или контактной площадкой микро­ схемы; выплавление металла в объем полупроводника, полу­ чившееся из-за высокой температуры процесса сварки; микротрещины в кристалле полупроводника; наличие интерме­ таллических соединений.

В качестве неразрушающих методов контроля применяют следующие: визуальный осмотр сварных соединений, испыта­ ние на центрифуге, обдув соединений струей сжатого воздуха, оценка прочности сварных соединений с помощью тарирован­ ных щупов, контроль электрического сопротивления в кон­ такте, а также технологические испытания (климатические, ме­ ханические и электрические) готовых приборов [2, 5—7, 13, 14].

Визуальный осмотр сварных соединений является наиболее распространенным методом контроля. Визуальным осмотром под микроскопом оценивают внешний вид сварного соединения по сравнению с эталонным (на соответствие требованиям чер­ тежа). Центрифугированию подвергают 100 % готовых изде­ лийСлабые сварные соединения обнаруживают методом об­ дува воздушной струей, с помощью тарированных щупов и пробников, а также испытаниями готовых приборов на вибра­ цию и удар (3, 5]. Получившиеся в процессе присоединения вы­ водов дефекты в структуре полупроводника могут быть также выявлены по электрическим характеристикам прибора [6, 8]. Для приближенной оценки качества сварного соединения без его разрушения в условиях отработанного технологического процесса исПользуют осадку металлического вывода [1, 2, 8, 15].

Гл а в а 12 ХОЛОДНАЯ СВАРКА

12.1.Общие сведения

Холодная сварка — один из наиболее рациональных способов получения не­ разъемных соединений однородных и разнородных пластичных (в первую очередь, цветных) металлов н сп'лавов. Как показывает опыт, применение холодной сварки приводит к значительной экономии материальных, энерге­ тических и трудовых ресурсов.

к

л

н

Холодная сварка (ХС)— один из видов сварки давлением — осуществля­ ется при значительной совместной пластической деформации без внешнего нагрева соединяемых деталей. Пластическая деформация может происходить под действием нормальных к плоскости соединения или нормальных и тан­ генциальных сил (рис. 12.1).

Рнс. 12.1. Схемы холодной сварки:

в—а — точечная внахлестку:

е —и — шовная; к—м — стыковая;

к —сдвигом;

о —«гру­

шевидная» ; п — сварка — клепка;

р — выпрессовываннем (экструзионная);

с — сов­

местным Деформированием

зоны

соединения; г —тавровых

соединений

(/.

// —

без предварительного, ///, I V , V —с предварительным зажатием; а, в, е, и —с

одно-

1

 

 

сторонним;

б, г.

д,

ж,

з с

двусторонним

дефор'

 

 

мнрованием;

к —с

плоскими

торцами;

л * - с

за­

 

 

остренными;

м — с

конусной

полостью зажимнДО гу­

 

 

бок; / — свариваемые детали;

2 — пуансоиы;

з — ра­

 

 

бочий

выступ; 4 — опорная ограничивающая

п0веР*'

 

 

ность;

6 — прижимы; 6 — зажимные

плиты; ? —коль­

 

 

цевые

выточки;

8 — рабочий ролик;

9 — опорный ро­

 

 

лик; /0 — матрица;

// — зажимные

губки; 12 — клин;

 

 

13 — выступ

клина;

14 — заготовка

заклепки;

15

заклепка; 16 — пуансон-толкатель; 17— сваренные детали;

18 — охватывающая

деталь;

— охватываемая деталь;

20 — обжимное

кольцо;

Р ос — усилие осадки;

Р 9

-^уси­

лие

зажатия; Р — усилие

деформирования;

Т — тангенциальное

усилие; N — НорИ*ль'

иое

сжимающее усилие

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Соединение при холодной сварке образу­ ется за счет возникновения металлических связей между соединяемыми частями при их совместной пластической деформации, в про­ цессе которой поверхностные оксидные пленки разрушаются и выносятся из зоны контакта, образуются участки контакта ювенильных по­ верхностей.

Степень требуемой

для

этого дефор­

мации должна быть

тем

больше, чем

меньше отношение твердости пленки и ме­ талла (рис. 12.2) и чем толще пленка [6]. Пластическая деформация при сварке одно­ родных и разнородных металлов обеспечивает

образование физического

контакта, активацию

контактных

поверхностей

и их

схватывание

на стадии

объемного взаимодействия.

На заключительной

стадии

образования

сварного соединения необходимо

всестороннее

сжатие с приложением значительного давле­ ния в зоне контакта.

О

20

40

60

60 стд.

Рис.

12.2.

Зависимость

сте­

пени

деформации

схватывания

еш1п

07 соотношения

твердо­

сти

оксидной пленки

н

ме­

талла

Н о к ^ М е

(по

шкале

Мооса) [6]

12.1.3. Основные особенности

Наиболее важная особенность ХС — отсутствие внешнего на­ грева, позволяющее сваривать термически разупрочняемые металлы без ухудшения их свойств, соединять электрические про­ вода, имеющие изоляционные покрытия, соединять разнород­ ные металлы (например, алюминий с медью) без образования

в

стыке хрупкой

интерметаллидной прослойки,

вести процесс

в

огне- и взрывоопасной средах, герметизировать емкости, на­

грев которых недопустим.

энергоемкость,

 

Достоинствами

ХС являются также малая

гигиеничность, высокая производительность, возможность ме­ ханизации и автоматизации процесса.

ХС успешно соединяются алюминий, медь, никель, серебро, титан, индий, золото и другие пластичные цветные металлы и их сплавы.

Прочность зоны ХС увеличивается вследствие наклепа ме­ талла при пластической деформации. Переходное электриче­ ское сопротивление в соединении, полученном ХС, практически отсутствует.

Недостатки ХС — ограничение в форме и размерах дета­ лей, небольшой диапазон свариваемых металлов, малая уни­ версальность оборудования. Наиболее рационально применять ХС в крупносерийном или массовом производстве однотипных изделий.

12.1.4. Области применения

Наиболее широко применяется ХС в электротехнике. С ее по­ мощью успешно заменяют дефицитную медь алюминием н ка­ честве токопроводящего материала с обеспечением надежных контактных соединений. ХС обеспечивает безотходное изготов­ ление обмоток электрических машин и трансформаторов. ХС можно создавать новые конструкции электротехнических изде­

лий, масса которых значительно меньше аналогов

(охладители

полупроводниковых приборов, силовые

конденсаторы,

распре­

делительные устройства).

 

процессов

Замена

ХС существующих технологических

также дает

значительную экономию

металла. Так,

замена

штамповки медных коллекторных пластин электрических дви­ гателей на ХС позволяет сократить отходы металла в восемьдесять раз. В радиотехнике и радиоэлектронике ХС применяют

для герметизации

корпусов

полупроводниковых приборов;

в цветной

металлургии — для

соединения алюминиевых

или

титановых

катодных

штанг с

магистральными медными

ши­

нами; в приборостроении — для изготовления шасси приборов из алюминия и его сплавов; в автомобильной промышленно­

сти — при

изготовлении

радиаторных

трубок

из алюминиевых

Сплавов;

в машиностроении — для

герметичного

пережатия

штенгелей

(трубок, отводов), при изготовлении медных уплот­

нительных

колец для

гидросистем

машин

и

механизмов,

а также переходных элементов из разнородных материалов, используемых в изделиях криогенной техники; на электрифи­ цированном железнодорожном, городском и промышленном транспорте—для соединения медных контактных (троллейных) проводов; в различных отраслях промышленности — при изго­ товлении посуды, бачков, молочных фляг и других изделий из алюминия.

12.1.5. Основные схемы

Точечная сварка (ХТС)

Это — способ соединения деталей посредством вдавливания пу­ ансона на глубину, при которой вследствие деформации обра­ зуется сварная точка. Площадь сварной точки, как правило, равна площади сечения вдавленной части пуансона, но при определенных условиях, рассматриваемых ниже, может и пре­ вышать ее. ХТС может выполняться без предварительного (сМ- рис. 12.1, а, б) или с предварительным (рис. 12.1, в, г) зажа­ тием деталей путем одностороннего (рис. 12.1, а, в) или дву­ стороннего (рис. 12.1, б, г) деформирования. К. ХТС с предва­ рительным зажатием относится и сварка в зажимных плитах 6 с кольцевыми выточками 7 (рис. 12.1, б) [1].