Сварка и свариваемые материалы. Том 2. Технология и оборудование
.pdf
|
|
|
|
|
|
|
Т А Б Л И Ц А ll.S |
|
|
|
РЕКОМЕНДУЕМЫЕ |
РЕЖИМЫ ТЕРМОКОМПРЕССИИ |
|
||||
|
|
ДЛЯ |
РАЗНЫХ |
СОЕДИНЕНИЙ |
[1. 3. 7] |
|
||
Материал полупроводника |
Температура |
Удельное |
Деформация |
Время, е |
||||
или покрытия |
|
нагрева °С |
давление, |
вывода, х |
||||
|
|
|
|
|
|
ХНР Н/м» |
|
|
|
|
|
|
Вывод — золото |
|
|
||
Кремний |
|
|
|
350 |
14—15 |
60 |
5 -1 0 |
|
Германий |
|
напыленный |
350 |
14—15 |
60 |
3 - 5 |
||
Алюминий, |
350 |
10—11 |
50 |
0 ,5 -3 |
||||
на Si02 |
напыленное |
на |
250 |
14-15 |
60 |
1 -5 |
||
Золото, |
300 |
10—11 |
50 |
0,5 -3 |
||||
SiO, |
|
|
|
|
|
|
|
|
Золото гальваническое |
|
320—340 |
7—10 |
50 |
1—5 |
|||
Серебро вожженное |
|
350 |
10-11 |
50 |
1—5 |
|||
|
17-18 |
60 |
7 |
|||||
|
|
|
|
400 |
13—14 |
60 |
5 |
|
|
|
|
|
Вывод — алюминий |
|
|
||
Кремний |
|
|
|
450 |
7 |
60 |
10 |
|
Германий |
напыленный |
400 |
— |
60 |
10 |
|||
Алюминий, |
400 |
(ь-7 |
60 |
1—3 |
||||
яа SiOt |
напыленное |
на |
350 |
6—7 |
60 |
3—7 |
||
Золото, |
320 |
6—7 |
60 |
1—3 |
||||
SiO, |
|
|
|
320 |
6 - 7 |
60 |
1 -3 |
|
Золото гальваническое |
|
|||||||
Серебро вожженное |
|
400 |
6 - 7 |
60 |
7—10 |
|||
|
|
|
|
Вывод —■серебро |
|
|
||
Алюминий, |
напыленный |
400 |
18-19 |
___ |
5 - 7 |
|||
на Si02 |
напыленное |
на |
350 |
14 |
|
5 - 7 |
||
Золото, |
— |
|||||||
5Ю2 |
гальваническое |
400 |
18-19 |
|
3—7 |
|||
Золото |
— |
|||||||
|
|
|
|
350 |
18—19 |
— |
5—7 |
пластичности проводника, сочетания свариваемых материалов, диаметра привариваемого Вывода и вида торца инструмента.
При сварке |
алюминиевых |
проводников |
используют давления |
(4—-8) • 107 |
Н/м2, а при сварке золотых |
проводников— (10— |
|
14) • 107 Н/м2. Температура |
нагрева свариваемых материалов |
в контакте не должна превышать температуры образования эв тектики соединяемых материалов (1—3, 5—9]. Длительность выдержки при условии постоянства температуры и давления выбирается в зависимости от сочетания свариваемых материа лов, состояния их предварительной очистки и от окружающей среды. Обычно определяется экспериментально путем оценки прочности соединений и составляет от 0,1 с до нескольких
десятков секунд. Области оптимальных рекомендуемых режимов СКИН приведены в табл. 11.2. Режимы термокомпрессии раз ных сочетаний материалов представлены в табл. 11.3.
11.3.О борудование
11.3.1.Конструктивные особенности установок
Установки для термокомпрессии и СКИН содержат следующие основные узлы и элементы [1—3, 5—8]: рабочий столик с нагревательной колонкой или без нее, механизм сжатия, рабочий инструмент, механизм подачи и обрезки про волоки, механизм подачи корпусов, манипуляторы для совмещения соединяе мых элементов, систему наблюдения, блоки питания и управления рабочими механизмами.
Рабочий столик предназначен для крепления кристалла или корпуса при бора. Рабочий столик делается сменным с целью возможности присоединения выводов к приборам разной конструкции.
. Нагревательная колонка служит для нагрева прибора до температуры термокомпрессии. Иногда для защиты прибора от окисления в колонку по дается защитный газ (осушенный азот, смесь азота с 6—8 % водорода или аргон).
Механизм сжатия обеспечивает регулирование усилия прижатия рабочего инструмента к свариваемым элементам. Для термокомпрессии более широко используются грузовые механизмы сжатия. Управление ими может осуществ ляться вручную, от ножной педали или от электродвигателя. При полуавто матическом цикле длительность прижатия устанавливается предварительно и выдерживается автоматически.
Рабочий инструмент является важнейшим элементом установок для тер мокомпрессии и СКИН. Его конструкция должна обеспечить сварное соеди нение требуемой формы и размеров, наибольшую эффективность подвода тепла в зону сварки, удобный подход к свариваемым деталям, простую и удобную подачу привариваемой проволоки под рабочий торец инструмента. Материал рабочего инструмента должен обладать высокой износостойкостью, малой способностью к схватыванию со свариваемыми деталями, теплостой костью и иметь низкую теплопроводность. В качестве материала рабочего ин струмента при термокомпрессии применяют стекло «Пирекс», рубин, сапфир, твердые сплавы ВК-2, ВК-6, ВК-6М, ВК-8, ВК-12, ВК-15, моно- и поликристаллический молибден, оксиды бериллия, бариевый слюдоситалл, корунд, и моноалюминат кальция. При СКИН для рабочего инструмента используют вольфрам, молибден, ниобий и ниобиевые сплавы.
Механизм подачи и обрезки проволоки используется в зависимости от назначения установки. При сварке иглой и монтаже внахлестку используется роликовый механизм подачи, при котором ролики вращаются от мотора. При сварке капиллярным инструментом с образованием шарика или инструментом типа «птичий клюв» применяют катушку со свободным сматыванием про волоки. При подаче проволоки через боковое отверстие в инструменте меха низм подачи и обрыва проволоки выполняют в виде электромагнита и рычаж ной системы. Иногда для подачи проволоки используют также пинцет.
Механизм подачи корпусов изготавливается в виде простых зажимов для крепления каждого корпуса или кристалла или в виде кассет с ленГой, в ко торой корпуса (кристаллы) предварительно ориентируются.
Манипуляторы предназначены для точного совмещения соединяемых эле ментов и рабочего инструмента. Используют манипуляторы двух видов: ры чажные и пантографные.
Система наблюдения состоит из бинокулярного микроскопа с увеличением от 8 до 80 раз. В отечественных установках используется микроскоп МБС-2.
233
|
|
ТИПЫ И ТЕХНИЧЕСКИЕ |
ХАРАКТЕРИСТИКИ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ УСТАНОВОК |
|
|
|
|||||||||
|
|
|
ДЛЯ ТЕРМО КОМПРЕССИОННОЙ СВАРКИ [1 -3 , 5— 8] |
|
|
|
|
|
|||||||
Характеристика |
|
|
|
|
Тип установки |
|
|
|
|
|
|
||||
контакт 1А |
контакт 2А |
ЭМ-422 |
ЭМ-439 |
ЭМ-439А |
ЭМ-446 |
МС-41ПЗ-3 |
ЭМ-410 |
||||||||
|
|
|
|||||||||||||
Производительность, |
число |
|
|
2500 |
3200 |
800 |
|
800 |
1000 |
2000 |
|||||
соединений/ч |
|
|
120 |
180 |
|
|
|||||||||
Диаметр вывода, мкм |
10—100 |
40— 80 |
25—60 |
25-50 |
25-60 |
25—60 |
20-50 |
20 |
|||||||
Температура нагрева, °С |
20—450 |
100—500 |
100—400 |
250—400 |
250—400 |
250—400 |
100—450 |
250—450 |
|||||||
Усилие сжатия, |
Н |
|
0,2—1,5 |
0,5-1,5 |
0,1—1 |
0,15—1 |
0,15—1 |
0,1—1 |
0,2—1,5 |
0,4—2,5 |
|||||
Время сварки, |
с |
|
1-10 |
1—6 |
0 ,5 -5 |
0,4—3,6 |
0,4—3,6 |
0,4—3,6 |
0,4—3,6 |
0,04—3,96 |
|||||
Способ соединения |
|
|
Внахлестку |
Встык шариком и внахлестку |
Внахлестку |
Встык |
|||||||||
Инструмент |
|
|
Клин |
«Птичий |
Капил |
Капилляры с центральным |
Капилляр |
шариком |
|||||||
|
|
Капилляр |
|||||||||||||
|
|
|
|
клюв» |
ляр с бо |
и боковым отверстием |
с боковым |
с централь |
|||||||
|
|
|
|
|
|
ковым |
|
|
|
|
отверстием |
ным отвер |
|||
|
|
|
|
|
|
отвер |
|
|
|
|
|
|
стием |
||
|
|
|
|
|
|
стием |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Т А Б Л И Ц А |
11.5 |
|||
ТИПЫ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ |
УСТАНОВОК |
ДЛЯ |
СКИН |
[1 -3 , 5 - 8 ] |
|
||||||||||
Характеристика |
|
|
|
с к и н |
|
|
| |
СКИН с ультразвуком |
|||||||
СКИН-1 |
| |
Контакт-ЗА |
ЭМ-308 |
ЭМ-429 |
|
|
ЭМ-431 |
|
МС-64П2-1 |
||||||
|
|
|
|
1 |
|
||||||||||
Производительность, |
число |
соедине- |
250 |
|
120 |
1000 |
1200 |
|
800 |
|
800 |
|
|||
ний/ч |
|
|
|
|
|
|
|
кри |
|||||||
Диаметр вывода, мкм |
|
|
30—100 |
|
20—100 |
20—100 |
20—100 |
Размер кри |
Размер |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
сталла |
|
сталла |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,7X0,7; |
|
0,7X0,7; |
|||
Температура нагрева, °С |
300—1000 |
300—1000 |
300—800 |
300—800 |
1,8Х 1,8 мм |
|
1,8Х 1,8 мм |
||||||||
200—500 |
|
200—500 |
|||||||||||||
Усилие сжатия, |
Н |
|
0,3—0,5 |
|
0,3—1,5 |
0,3—1,5 |
0,3—1,5 |
|
1—10 |
|
1—10 |
||||
Время сварки, с |
|
0,05—3 |
|
0,04—3,96 |
0,05—1 |
0,05—1 |
|
0,3—10 |
|
0,3—10 |
В настоящее время разработаны специальные проекторы для совмещения
места соединения подложки илн корпуса' с проволокой.
Блоки питания и управления осуществляют управление и контроль ра боты всех узлов установки..
11.3.2.Типы и основные технические характеристики установок
Втабл. 11.4 приведены основные технические характеристики
отечественных установок для термокомпрессии, а в табл.
11.5— для сварки СКИН.
11.4.Промышленное применение
Вполупроводниковом производстве термокомпрессионная сварка применяется для присоединения гибких проволочных проводников из золота, алюминия и меди к тонкопленочным контактным площадкам, к металлизированной поверхности по лупроводниковых кристаллов и выводам корпусов [6].
Наиболее успешно сварку СКИН применяют для присоеди нения золотой и алюминиевой проволок к траверсам корпусов транзисторов и к корпусам гибридных микросхем, изготовлен ных из ковара, никеля, ситалла с покрытием из золота [7]. Наи более широко распространенной схемой монтажа является со единение контактных площадок полупроводникового прибора, полученного по планарной технологии, с внешними выводами
корпуса с помощью гибких проволочных • выводов [1, 12]. При этом один конец круглого проводника из золота или алюминия 0 (10—300) мкм должен быть приварен к тонкой металличе ской пленке тоже из алюминия или золота, напыленной на окисленный кремний, а другой — к золоченому или алюмини рованному ковару или к золоченой толстой пленке на керами ческом основании корпуса. Иногда, когда полупроводниковые приборы выполняются без металлизации (например, мощные транзисторы), гибкие проводники присоединяют непосредст венно к поверхности кремния [1, 12]. При сборке кремниевых бескорпусных диодов используют плоские медные золоченые выводы, которые присоединяют непосредственно к полупровод никовому кристаллу [1]. При производстве гибридных инте гральных схем (ГИС) присоединение гибких проводников также осуществляется к металлическим пленкам разной тол щины, напыленным или выращенным гальванически на Диэлек трических подложках.
11.5. Контроль качества
Методы контроля качества сварных соединений, полученных термокомпрессией и СКИН, можно разделить на два слеДУ10щих основных вида: разрушающие и неразрушающие [1—3,
5—В]. К р а з р у ш а ю щ и м м е т о д а м контроля относятся: механические испытания соединений; микроскопические иссле дования на шлифах с применением обычных металлографиче ских или электронных микроскопов; химический анализ (обыч
ный или с помощью |
электронного |
микрозонда) [1—3, |
5—8]. |
К н е р а з р у ш а ю щ и м |
м е т о д а м |
контроля относятся: |
визу |
альный осмотр соединений и готовых приборов; оценка каче ства соединений с помощью щупов; измерение электрических характеристик готовых приборов [1—3, 5—8].
Из разрушающих методов большей частью применяют ме ханические испытания сварных соединений и металлографиче ский анализ [1—3, 5—8, 13], которые являются наиболее эф фективными при отработке технологических режимов сварки и их контроля в процессе производства. Прочность определяют на срез или отрыв под углом 30, 45, 90 или 180° относительно поверхности подложки. Методом металлографического анализа определяют структуру сварного соединения и выявляют внут ренние дефекты [1, 3, 5, 8],
С помощью металлографического анализа выявляют такие дефекты, как: плохое сцепление металлической пленки с кри сталлом полупроводника или контактной площадкой микро схемы; выплавление металла в объем полупроводника, полу чившееся из-за высокой температуры процесса сварки; микротрещины в кристалле полупроводника; наличие интерме таллических соединений.
В качестве неразрушающих методов контроля применяют следующие: визуальный осмотр сварных соединений, испыта ние на центрифуге, обдув соединений струей сжатого воздуха, оценка прочности сварных соединений с помощью тарирован ных щупов, контроль электрического сопротивления в кон такте, а также технологические испытания (климатические, ме ханические и электрические) готовых приборов [2, 5—7, 13, 14].
Визуальный осмотр сварных соединений является наиболее распространенным методом контроля. Визуальным осмотром под микроскопом оценивают внешний вид сварного соединения по сравнению с эталонным (на соответствие требованиям чер тежа). Центрифугированию подвергают 100 % готовых изде лийСлабые сварные соединения обнаруживают методом об дува воздушной струей, с помощью тарированных щупов и пробников, а также испытаниями готовых приборов на вибра цию и удар (3, 5]. Получившиеся в процессе присоединения вы водов дефекты в структуре полупроводника могут быть также выявлены по электрическим характеристикам прибора [6, 8]. Для приближенной оценки качества сварного соединения без его разрушения в условиях отработанного технологического процесса исПользуют осадку металлического вывода [1, 2, 8, 15].
Гл а в а 12 ХОЛОДНАЯ СВАРКА
12.1.Общие сведения
Холодная сварка — один из наиболее рациональных способов получения не разъемных соединений однородных и разнородных пластичных (в первую очередь, цветных) металлов н сп'лавов. Как показывает опыт, применение холодной сварки приводит к значительной экономии материальных, энерге тических и трудовых ресурсов.
к |
л |
н |
Холодная сварка (ХС)— один из видов сварки давлением — осуществля ется при значительной совместной пластической деформации без внешнего нагрева соединяемых деталей. Пластическая деформация может происходить под действием нормальных к плоскости соединения или нормальных и тан генциальных сил (рис. 12.1).
Рнс. 12.1. Схемы холодной сварки:
в—а — точечная внахлестку: |
е —и — шовная; к—м — стыковая; |
к —сдвигом; |
о —«гру |
||
шевидная» ; п — сварка — клепка; |
р — выпрессовываннем (экструзионная); |
с — сов |
|||
местным Деформированием |
зоны |
соединения; г —тавровых |
соединений |
(/. |
// — |
без предварительного, ///, I V , V —с предварительным зажатием; а, в, е, и —с |
одно- |
1
|
|
сторонним; |
б, г. |
д, |
ж, |
з — с |
двусторонним |
дефор' |
|||||
|
|
мнрованием; |
к —с |
плоскими |
торцами; |
л * - с |
за |
||||||
|
|
остренными; |
м — с |
конусной |
полостью зажимнДО гу |
||||||||
|
|
бок; / — свариваемые детали; |
2 — пуансоиы; |
з — ра |
|||||||||
|
|
бочий |
выступ; 4 — опорная ограничивающая |
п0веР*' |
|||||||||
|
|
ность; |
6 — прижимы; 6 — зажимные |
плиты; ? —коль |
|||||||||
|
|
цевые |
выточки; |
8 — рабочий ролик; |
9 — опорный ро |
||||||||
|
|
лик; /0 — матрица; |
// — зажимные |
губки; 12 — клин; |
|||||||||
|
|
13 — выступ |
клина; |
14 — заготовка |
заклепки; |
15 |
|||||||
заклепка; 16 — пуансон-толкатель; 17— сваренные детали; |
18 — охватывающая |
деталь; |
|||||||||||
— охватываемая деталь; |
20 — обжимное |
кольцо; |
Р ос — усилие осадки; |
Р 9 |
-^уси |
||||||||
лие |
зажатия; Р — усилие |
деформирования; |
Т — тангенциальное |
усилие; N — НорИ*ль' |
|||||||||
иое |
сжимающее усилие |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Соединение при холодной сварке образу ется за счет возникновения металлических связей между соединяемыми частями при их совместной пластической деформации, в про цессе которой поверхностные оксидные пленки разрушаются и выносятся из зоны контакта, образуются участки контакта ювенильных по верхностей.
Степень требуемой |
для |
этого дефор |
мации должна быть |
тем |
больше, чем |
меньше отношение твердости пленки и ме талла (рис. 12.2) и чем толще пленка [6]. Пластическая деформация при сварке одно родных и разнородных металлов обеспечивает
образование физического |
контакта, активацию |
||
контактных |
поверхностей |
и их |
схватывание |
на стадии |
объемного взаимодействия. |
||
На заключительной |
стадии |
образования |
|
сварного соединения необходимо |
всестороннее |
сжатие с приложением значительного давле ния в зоне контакта.
О |
20 |
40 |
60 |
60 стд. |
|
Рис. |
12.2. |
Зависимость |
сте |
||
пени |
деформации |
схватывания |
|||
еш1п |
07 соотношения |
твердо |
|||
сти |
оксидной пленки |
н |
ме |
||
талла |
Н о к ^ М е |
(по |
шкале |
Мооса) [6]
12.1.3. Основные особенности
Наиболее важная особенность ХС — отсутствие внешнего на грева, позволяющее сваривать термически разупрочняемые металлы без ухудшения их свойств, соединять электрические про вода, имеющие изоляционные покрытия, соединять разнород ные металлы (например, алюминий с медью) без образования
в |
стыке хрупкой |
интерметаллидной прослойки, |
вести процесс |
в |
огне- и взрывоопасной средах, герметизировать емкости, на |
||
грев которых недопустим. |
энергоемкость, |
||
|
Достоинствами |
ХС являются также малая |
гигиеничность, высокая производительность, возможность ме ханизации и автоматизации процесса.
ХС успешно соединяются алюминий, медь, никель, серебро, титан, индий, золото и другие пластичные цветные металлы и их сплавы.
Прочность зоны ХС увеличивается вследствие наклепа ме талла при пластической деформации. Переходное электриче ское сопротивление в соединении, полученном ХС, практически отсутствует.
Недостатки ХС — ограничение в форме и размерах дета лей, небольшой диапазон свариваемых металлов, малая уни версальность оборудования. Наиболее рационально применять ХС в крупносерийном или массовом производстве однотипных изделий.
12.1.4. Области применения
Наиболее широко применяется ХС в электротехнике. С ее по мощью успешно заменяют дефицитную медь алюминием н ка честве токопроводящего материала с обеспечением надежных контактных соединений. ХС обеспечивает безотходное изготов ление обмоток электрических машин и трансформаторов. ХС можно создавать новые конструкции электротехнических изде
лий, масса которых значительно меньше аналогов |
(охладители |
|||
полупроводниковых приборов, силовые |
конденсаторы, |
распре |
||
делительные устройства). |
|
процессов |
||
Замена |
ХС существующих технологических |
|||
также дает |
значительную экономию |
металла. Так, |
замена |
штамповки медных коллекторных пластин электрических дви гателей на ХС позволяет сократить отходы металла в восемьдесять раз. В радиотехнике и радиоэлектронике ХС применяют
для герметизации |
корпусов |
полупроводниковых приборов; |
||
в цветной |
металлургии — для |
соединения алюминиевых |
или |
|
титановых |
катодных |
штанг с |
магистральными медными |
ши |
нами; в приборостроении — для изготовления шасси приборов из алюминия и его сплавов; в автомобильной промышленно
сти — при |
изготовлении |
радиаторных |
трубок |
из алюминиевых |
|
Сплавов; |
в машиностроении — для |
герметичного |
пережатия |
||
штенгелей |
(трубок, отводов), при изготовлении медных уплот |
||||
нительных |
колец для |
гидросистем |
машин |
и |
механизмов, |
а также переходных элементов из разнородных материалов, используемых в изделиях криогенной техники; на электрифи цированном железнодорожном, городском и промышленном транспорте—для соединения медных контактных (троллейных) проводов; в различных отраслях промышленности — при изго товлении посуды, бачков, молочных фляг и других изделий из алюминия.
12.1.5. Основные схемы
Точечная сварка (ХТС)
Это — способ соединения деталей посредством вдавливания пу ансона на глубину, при которой вследствие деформации обра зуется сварная точка. Площадь сварной точки, как правило, равна площади сечения вдавленной части пуансона, но при определенных условиях, рассматриваемых ниже, может и пре вышать ее. ХТС может выполняться без предварительного (сМ- рис. 12.1, а, б) или с предварительным (рис. 12.1, в, г) зажа тием деталей путем одностороннего (рис. 12.1, а, в) или дву стороннего (рис. 12.1, б, г) деформирования. К. ХТС с предва рительным зажатием относится и сварка в зажимных плитах 6 с кольцевыми выточками 7 (рис. 12.1, б) [1].