Содержание отчета
1. Цели и задачи
исследования.
2. Результаты
измерений.
3. Графики
зависимости ∆Т = f(τ) для различных
материалов.
4. Анализ полученных
зависимостей и общие выводы по работе.
Контрольные вопросы.
1. Требования,
предъявляемые к материалам подложек
ИС.
2. Свойства
подложек из стекла.
3. Свойства и
технология получения ситалловых
подложек.
4. Подложки из
керамики, состав, свойства, применение.
5. Теплопроводность
подложек, способы ее определение и
влияние
теплопроводности
на область применения
Литература
Материалы
микроэлектронной техники / Под ред.
В.М. Андреева –М.:
«Радио и связь»,
1989 г.
8
