Технические характеристики турбовакуумных насосов
Edwards STP
Модель |
|
|
STP301 |
|
|
STP451 |
|
STP603 |
|
STP1003 |
|
|
|
STP301C |
|
STP451C |
|
STP603C |
|
STP1003C |
|||
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
Скорость откачки, л/с |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||
N2 |
|
|
300,0 |
|
480,0 |
|
650,0 |
|
1000,0 |
||
H2
Остаточное давление, Па
Скорость вращения, об/ мин
Время выхода на режим, мин
Мощность электродвигателя привода, кВт
Вес изделия, кг
300,0 |
|
460,0 |
|
550,0 |
|
800,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
6,5х10-6 |
|
|
|
6,5х10-7 |
|
|
|
|
|
|
|
|
48000 |
|
|
35000 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3,0 |
|
|
6,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,55 |
|
|
0,80 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
11,0 |
|
12,0 |
|
|
31 |
|
Технические характеристики турболекулярных насосов
Pfeiffer HiPase
|
|
|
|
|
|
|
Модель |
|
HiPase |
|
HiPase 700M |
|
HiPase 800M |
|
300M |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Скорость откачки, л/с |
|
|
||||
|
|
|
|
|||
N2 |
|
255 |
|
685 |
|
790 |
|
|
|
|
|||
He |
|
215 |
|
600 |
|
625 |
|
|
|
|
|||
H2 |
|
170 |
|
480 |
|
700 |
|
|
|
|
|||
Ar |
|
250 |
|
660 |
|
775 |
|
|
|
|
|
|
|
Предельное остаточное давление, |
|
|
|
|
|
|
Па |
|
|
|
1,0х10-5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Скорость вращения, мин-1 |
|
6000 |
|
49200 |
||
|
|
|
|
|
|
|
Питание / мощность, В/Вт |
|
|
48 / 300 |
|
|
|
|
|
|
|
|||
Масса, кг |
|
13,1 - 17,2 |
|
15,7 - 20,8 |
|
17,1 - 21,5 |
|
|
|
|
|
|
|
83
Технические характеристики турбомолекулярных насосов
Pfeiffer ATP
Характеристика |
|
|
|
ед. изм. |
|
ATP 2300M |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
DN200 |
|
|
DN250 |
Присоединительный фланец |
|
|
|
ISO F, CF |
|
ISO F, CF |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
N2 |
|
|
|
1250 |
|
|
1750 |
|
|
|
|
|
|
|
|||
Скорость откачки по |
|
Ar |
|
л/сек |
|
1200 |
|
|
1650 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
He |
|
|
1700 |
|
|
1800 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
H2 |
|
|
|
1700 |
|
|
1700 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
N2 |
|
|
|
|
108 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Степень сжатия по |
|
Ar |
|
|
|
|
108 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
He |
|
|
|
|
105 |
|||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
H2 |
|
|
|
|
7*103 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Частота вращения |
|
|
|
об/мин |
|
|
31 000 |
||
|
|
|
|
|
|
||||
Минимальное остаточное давление |
|
|
|
|
10-9 |
||||
|
|
|
|
мбар |
|
|
|
||
Макс. давление на входе |
|
|
|
|
|
0,05 |
|||
|
|
|
|
|
|
||||
Макс. давление на выхлопе |
|
|
|
|
1,5 |
||||
|
|
|
|
|
|
||||
Расход воды на охлаждение |
|
л/час |
|
|
60 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Габаритные размеры |
|
высота |
|
мм |
|
|
290 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
диаметр |
|
|
|
315 |
||||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Масса |
|
|
|
кг |
|
|
52 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Технические характеристики насосов Agilent TwisTorr
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Модель |
|
|
|
84 FS |
|
|
|
304 FS |
|
750 |
|
|
850 |
|
2300 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
Производительность, л/сек |
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
N2 |
|
|
67,0 |
|
|
|
250,0 |
|
|
700,0 |
|
|
750,0 |
|
2050,0 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Ar |
|
|
60,0 |
|
|
|
|
680,0 |
|
|
700,0 |
|
— |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
He |
|
|
69,0 |
|
|
|
255,0 |
|
|
680,0 |
|
|
690,0 |
|
1800,0 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
H2 |
|
|
59,0 |
|
|
|
220,0 |
|
|
580,0 |
|
|
590,0 |
|
1500,0 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Степень сжатия |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
N2 |
|
|
|
|
|
1,0x1011 |
|
|
|
8,0x108 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Ar |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
— |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
He |
|
1,3x107 |
1,0x108 |
|
2,0x108 |
2,0x108 |
|
8,0x105 |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
H2 |
|
1,8x105 |
|
1,5x106 |
|
2,5x106 |
2,5x106 |
|
4,0x104 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Предельное давление, |
|
4,0x |
|
|
|
|
|
|
|
|
1,0x10 |
-10 |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
мбар |
|
10-10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
Давление max, мбар |
|
14,0 |
|
10,0 |
|
|
6,0 |
|
|
|
4,0 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
Скорость вращения, тыс. об/мин |
|
81,0 |
|
60,0 |
|
|
|
21,0—49,5 |
|
33,3 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
Масса, кг |
|
2,05 |
|
5,50 |
|
|
15,90 |
|
|
16,10 |
|
54,20 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
85
Технические характеристики насосов Agilent TurboV
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Модель |
|
81-M |
|
81-T |
|
|
551 |
|
701 |
|
1001 |
|
1K-G |
|
2K-G |
|
3K-G |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
Расход, л/сек |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
N2 |
|
77,0 |
|
|
77,0 |
|
|
550 |
|
690 |
|
1050 |
|
1080 |
|
1600 |
|
2200 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
He |
|
65,0 |
|
|
65,0 |
|
|
600 |
|
620 |
|
900 |
|
1150 |
|
— |
|
1900 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
H2 |
|
50,0 |
|
|
510 |
|
920 |
|
730 |
|
|
— |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
Степень сжатия |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
N2 |
|
5,0x108 |
|
7,0x106 |
|
1,0x109 |
|
5,0x108 |
|
3,0x105 |
|
1,0x107 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
He |
|
8,0x104 |
|
3,0x103 |
|
1,0x107 |
|
4,0x104 |
|
|
|
6,0x103 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
— |
|
|
H2 |
|
7,0x10 |
3 |
|
3,0x10 |
2 |
|
1,0x10 |
6 |
|
1,5 x |
|
|
— |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
104 |
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Давление, |
|
5,0x10-10 |
|
5,0x10-9 |
|
1,0x10-10 |
|
1,0x10-10 |
|
1,0x10-8 |
|
1,0x10-8 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
мбар |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Скорость |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
вращения тыс. |
|
80,00 |
|
|
42,00 |
|
38,00 |
|
45,66 |
|
33,00 |
|
31,00 |
||||||
об/мин |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
вес, кг |
|
2,00 |
|
|
1,82 |
|
|
16,00 |
|
19,00 |
|
26,80 |
|
35,00 |
|
52,00 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
86