Учебное пособие 800235
.pdf
|
|
|
|
|
|
Таблица 2.1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
МАТЕ- |
Тип |
Удельное |
Частота |
Температу- |
Энергия акти- |
Частотный |
|
РИАЛ |
примеси |
сопротив- |
механи- |
ра пика ВТ, |
вации релак- |
фактор 0, с-1 |
|
|
|
ление, |
ческих |
К |
сационного |
|
|
|
|
Ом см |
колеба- |
|
процесса, |
|
|
|
|
|
ний, кГц |
|
0,02 эВ |
|
|
|
Fe |
1,2 107 |
8,5 |
223 |
0,52 |
2 1015 |
|
GaAs |
– |
5,6 107 |
6,8 |
312 |
0,66 |
2 1015 |
|
|
Co |
9,3 106 |
14,4 |
337 |
0,53 |
1 1013 |
|
|
Cr |
5,0 107 |
15,0 |
348 |
0,76 |
1 1015 |
|
|
Co |
3,4 105 |
17,0 |
231 |
0,41 |
1 1014 |
|
|
Cu |
1,5 107 |
8,2 |
326 |
0,60 |
2 1014 |
|
|
Mn |
1,0 109 |
31,0 |
323 |
0,43 |
1 1012 |
|
GaP |
Fe |
5,3 106 |
13,4 |
398 |
0,87 |
7 1015 |
|
|
Ni |
1,0 109 |
18,6 |
433 |
0,57 |
6 1011 |
|
|
Cr (1) |
1,0 109 |
21,0 |
468 |
0,85 |
2 1014 |
|
|
Cr (2) |
– |
17,5 |
516 |
1,2 |
7 1016 |
|
InP |
Fe |
1,0 105 |
9,2 |
306 |
0,56 |
1 1014 |
|
Характеристики пиков внутреннего трения в полупроводниках А3В5, легированных примесями переходных металлов
Таблица 2.2
Энергии активации релаксационных процессов и энергии ионизации примесных уровней в высокоомных полупроводниках А3В5
(* – данные из [19]; ** – уровень дефекта EL2 из [20])
|
|
Энергия актива- |
Энергия ионизации |
Энергия ионизации |
Материал |
Примесь |
ции (из измере- |
примеси (по эффекту |
примеси (из лите- |
|
|
ний ВТ), |
Холла), 0,03 эВ |
ратуры), эВ |
|
|
0,02 эВ |
|
|
|
Fe |
0,52 |
0,46 |
0,52* |
GaAs |
— |
0,66 |
0,69 |
0,65** |
|
Co |
0,53 |
0,56 |
0,5 – 0.56* |
|
Cr |
0,76 |
0,74 |
0,68 – 0,87* |
|
Co |
0,41 |
0,46 |
0,41* |
|
Cu |
0.60 |
0,55 |
0,6 – 0,65* |
|
Mn |
0,43 |
0.4 |
0,4* |
GaP |
Fe |
0,87 |
0,7 |
0,7 – 1,8* |
|
Ni |
0,57 |
0,59 |
0,5* |
|
Cr (1) |
0,85 |
0,84 |
0,84* |
|
Cr (2) |
1,2 |
1,2 |
1,2* |
InP |
Fe |
0,56 |
– |
0,56* |
Таблица 2.3
Характеристики пиков tg в высокоомных полупроводниках А3В5
|
|
Частота, |
Температура |
Энергия |
Частотный |
Материал |
Примесь |
кГц |
пика, К |
активации, |
фактор, с-1 |
|
|
|
|
0,02 эВ |
|
|
Fe |
20 |
232 |
0,5 |
1,2 1015 |
GaAs |
– |
20 |
328 |
0,67 |
1,0 1015 |
|
Co |
20 |
337 |
0,53 |
6,3 1012 |
|
Cr |
20 |
353 |
0,77 |
1,2 1015 |
|
Co |
20 |
262 |
0,42 |
1,6 1013 |
GaP |
Cu |
20 |
337 |
0,56 |
3,8 1013 |
|
Mn |
20 |
348 |
0,45 |
2,2 1011 |
InP |
Fe |
20 |
330 |
0,57 |
7,3 1013 |
Таблица 2.1 Характеристики пиков внутреннего трения в полупроводниках А3В5, легированных
примесями переходных металлов
МАТЕ- |
Тип |
Удельное |
Частота |
Температу- |
Энергия акти- |
Частотный |
РИАЛ |
примеси |
сопротив- |
механи- |
ра пика ВТ, |
вации релак- |
фактор 0, с-1 |
|
|
ление, |
ческих |
К |
сационного |
|
|
|
Ом см |
колеба- |
|
процесса, |
|
|
|
|
ний, кГц |
|
0,02 эВ |
|
|
Fe |
1,2 107 |
8,5 |
223 |
0,52 |
2 1015 |
GaAs |
– |
5,6 107 |
6,8 |
312 |
0,66 |
2 1015 |
|
Co |
9,3 106 |
14,4 |
337 |
0,53 |
1 1013 |
|
Cr |
5,0 107 |
15,0 |
348 |
0,76 |
1 1015 |
|
Co |
3,4 105 |
17,0 |
231 |
0,41 |
1 1014 |
|
Cu |
1,5 107 |
8,2 |
326 |
0,60 |
2 1014 |
|
Mn |
1,0 109 |
31,0 |
323 |
0,43 |
1 1012 |
GaP |
Fe |
5,3 106 |
13,4 |
398 |
0,87 |
7 1015 |
|
Ni |
1,0 109 |
18,6 |
433 |
0,57 |
6 1011 |
|
Cr (1) |
1,0 109 |
21,0 |
468 |
0,85 |
2 1014 |
|
Cr (2) |
– |
17,5 |
516 |
1,2 |
7 1016 |
InP |
Fe |
1,0 105 |
9,2 |
306 |
0,56 |
1 1014 |
Таблица 3.1
Зависимость пьезополяризации, возникающей при изгибе образца, от его кристаллографической ориентации
№ образца |
Ось |
Плоскость |
|
|
Рх |
|
|
Рy |
|
|
Рz |
|
Q 1 |
|||||||||||||
|
образца |
образца |
|
е14U yy |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
е14U yy |
|
||||||||||
|
|
|
|
е U |
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
max |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
14 |
|
|
yy |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
100 |
100 |
|
0 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
0 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
100 |
110 |
|
0 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
1 – 2 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
111 |
110 |
|
0 |
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
0 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
3 |
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
110 |
110 |
|
-1 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
5 |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
5 |
110 |
111 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
30 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
6 |
110 |
100 |
|
0 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
–1 |
|
100 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 3.2
Сечения захвата носителей заряда глубокими центрами по данным ВТ (предполагается, что = . * – данные из [34]; ** – данные из [35])
|
|
Сечение захвата, см2 |
|
Материал |
Ловушка |
|
|
по формуле (3.13) |
литературные |
||
|
|
данные |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Fe |
6 10-9 |
– |
|
Нелегиров. |
1 10-10 |
– |
GaAs |
|
|
1 10-11 – 6 10-16 * |
|
Co |
4 10-13 |
|
|
Cr |
4 10-10 |
1 10-14 * |
|
|
|
|
InP |
Fe |
1-10-12 |
1 10-10– 2 10-13 ** |
|
|
|
|
Учебное издание
Митрохин Виктор Иванович
РЕЛАКСАЦИОННЫЕ И РЕЗОНАНСНЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ДЕФЕКТОВ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
В авторской редакции
Компьютерная верстка О.А. Ивановой
Подписано к изданию 09.12.04.
Уч.-изд. л. 4,0.
Воронежский государственный технический университет 394026 Воронеж, Московский просп., 14