Учебное пособие 670
.pdfдля среднеквадратических отклонений получаем
|
|
1 |
|
M |
|
||
H |
( ) ( |
|
(Hi ( ) Hср ( ))2 )1./2 , |
(26) |
|||
|
M |
||||||
|
|
|
|
j |
|
||
|
|
|
1 |
|
M |
|
|
|
( ) ( |
|
( i ( ) ср ( ))2 )1./2 , |
(27) |
|||
M |
|
||||||
|
|
|
|
j |
|
где M число образцов фильтров, на которых проводили испытания. При этом половины поля допуска определялись выражениями:
H ( ) 3 H ( ), |
(28) |
( ) 3 ( ). |
(29) |
Далее находились верхние и нижние граничные значения
HВ ( ) Hср |
3 H ( ), |
(30) |
|
HH ( ) Hср |
3 H ( ), |
(31) |
|
В ( ) ср |
3 ( ), |
(32) |
|
H ( ) ср |
3 ( ) . |
(33) |
Таким образом, для определения статистических характеристик H (ω) и θ (ω) для определенной партии фильтров M необходимо воспользоваться соотношениями представленными выше. Для проведения статистических испытаний из генеральной совокупности всей партии обычно выбирают выборку в количестве 30-100 фильтров и по этой выборке делают вывод о поведении всей генеральной совокупности. Увеличивая незначительно количество фильтров в выборке можно с высокой точностью дать рекомендации поведении всей генеральной совокупности и ее статистических характеристик.
28
3.Вопросы к домашнему заданию
1. Как определяются среднеарифметические и среднеквадратичные значения отклонений АЧХ и ФЧХ фильтров для выбранной партии?
2. От чего зависят верхние и нижние граничные значения частотных характеристик?
3.Как связаны компоненты вещественной и мнимой частей передаточной характеристики ВШП с топологическими параметрами?
4.От чего зависит коэффициенты импульсной
характеристики |
при отклонении в топологии |
при |
изготовлении фильтра ? |
|
5.Как находятся длина электродов в топологии ШП и как она влияет на частотную характеристику фильтра?
6.Чем определяется квадрат коэффициента электромеханической связи и его влияние на основные параметры фильтра?
7.От чего зависит эффективную скорость и ее связь с топологией ВШП?
8.Из каких соотношений выбирается ширина электродов
иполупериод с учетом топологии и как влияет на них технология изготовления ВШП?
9.От чего зависит перекрытие электродов и как влияет на нее учет топологии?
4.Лабораторные задания и методические рекомендации по их выполнению
Задание № 1. Определить статистические характеристики H(ω) для партии полосовых фильтров в полосе заграждения, определяя для каждого фильтра уровень боковых лепестков. Построить гистограммы отклонений H(ω) от среднеарифметических и среднеквадратических значений в области частот (ω0+ω1) +1/3 ω0, принимая во внимание, что ω1 отвечает первому нулю на амплитудно-частотной характеристике фильтра. ПАВ.
29
Методические указания по выполнению первого задания
При выполнении задания следует считать, что для полосового фильтра ПАВ общая АЧХ равна произведению АЧХ отдельных преобразователей
H( f ) H1( f ) H2( f ),
где H1( f ) и H2( f )- аплитудно-частотные характеристики отдельных преобразователей. Если один преобразователь сделать широкополосным и считать, что для негоH2( f )=1, тогда общая АЧХ фильтра будет определяться характеристикой входного преобразователя. Для выполнения задания выбрать аподизованный преобразователь с оконной функцией Хемминга и уточнить влияние на передаточную функцию нормированной функции Sn(bn/pn) , определяющей связь интенсивности излучения пары электродов от соотношения электрод/полупериод. Выбрать выборку фильтров размером
М=30. Для выбранной выборки |
измерить |
отдельно |
амплитудно-частотную характеристику |
каждого |
фильтра с |
помощью измерителя АЧХ в полосе заграждения этого фильтра. Результаты измерений занести в отчет. В соответствии с соотношениями (24-27) определить основные статистические характеристики H(ω) всей партии полосовых фильтров в указанной полосе заграждения. Найденные статистические характеристики занести в отчет
Задание № 2. Определить отклонение в параметрах электродов для фильтра, содержащего аподизованный и неаподизованный преобразователи с учетом технологических отклонений при изготовлении размеров электродов и расстояния между ними.
Методические указания по выполнению второго задания
При выполнении задания учесть, что для нахождения реальных значений и законов распределения погрешностей
30
размеров элементов ВШП y , x , b на микроскопе НУ-2Е
проводились измерения периода и ширины электродов для выбранной выборки фильтров. Измерения погрешности длины электродов не проводилось, но предполагалось, что y =1.5 b ,
так как ошибка позиционирования координатографа по осям Х и У одинаковы, подтравка электродов по ширине и длине различна и имеет характер приведенный в /2/. Для партии одинаковых фильтров средний закон распределения размеров электродов структуры близок к нормальному и имеет вид
y(x,b) |
|
1 |
|
|
exp( |
((x,.b) mx,b )2 |
|
|
|
|
|
|
. |
||
|
|
|
|
|
|||
x,b |
|
2 |
2 x,b |
Обычно для структуры имеем x =1.25 мкм, b =2.56 мкм, mx =2.53 мкм, mb =3.2 мкм. Закон распределения на фотошаблоне аналогичный, но погрешности отличаются от погрешностей структуры шx =0.8 мкм, шb =1.5 мкм, mшx =2.5
мкм, mшb =3.1 мкм. Отклонения скорости и коэффициента электромеханической связи били приняты равными v =0.66
м/c и k =0.3 10-4 для кварца и v =1.0 м/c , k =0.33 10-3 для
ниобата лития. Измерить погрешности размеров электродов, определить средне-квадратичные отклонения для партии фильтров и сравнить с представленными выше. Результаты расчета параметров ВШП занести в отчет.
31
Задание № 3. Определить потери, возникающие при эксплуатации фильтра ПАВ, содержащего два преобразователя: один аподизованный и один неаподизованный с оптимальным числом пар электродов ВШП. В качестве материалов подложки выбрать кварц ST-среза и ниобат лития YZ-среза
Методические указания по выполнению третьего задания
В качестве оптимального числа пар электродов неаподизованного ВШП выбиралось N1=22 для ST-среза и N1=4 для ниобата лития. Общая АЧХ фильтра определялась в основном функцией передачи аподизованнного преобразователя. Расстояние между преобразователями выбиралось минимальным и составляло 2 мм. Одной из основных составляющих полных вносимых потерь устройств на ПАВ являются потери на распространение (или затухание) волн. Потери (в дБ/мкс) можно определить с помощью зависимости
Bm M f M f 2 , |
(34) |
где M и M – коэффициенты, характеризующие потери за счет воздушной нагрузки и вязкостных свойств материала; f – частота в ГГц. Данная зависимость (34) получена теоретически и подтверждена измерениями для различных материалов. Первое слагаемое (пропорциональное частоте) вносит вклад в том случае, если кристалл находится в воздухе или инертном газе и равно нулю для вакуума. Второе слагаемое обусловлено взаимодействием ПАВ с колебаниями кристаллической решетки и примерно пропорционально квадрату частоты. Для кварца STсреза коэффициенты M и M равны соответственно M =0.47 дБ/мкс и M = 2.62 дБ/мкс Для ниобата лития YZ-среза зависимость (34) имеет вид
Bm |
0.19 f 0.88 f 1.9 , |
(35) |
поэтому у ниобата YZ-среза лития |
эти коэффициенты равны |
|
M =0.19 дБ/мкс |
и M = 0.88 дБ/мкс. Определить вносимые |
|
|
32 |
|
затухания для фильтра на центральные частоты: f0 = 57 МГ, f0 = 150 МГц, f0 = 300 МГ, f0 = 520 МГц, f0 = 870 МГц и f0 = 1.1 ГГц. При проектировании акустоэлектронных устройств с рабочими частотами менее 50–100 МГц потери на распространение волн не велики, однако на высоких частотах эти потери вносят значительный вклад в общие потери и обязательно должны учитываться при выборе материалов для акустоэлектронных устройств. Результаты расчета занести в отчет и построить графики зависимостей потерь от частоты.
Указания по оформлению отчета
Отчет оформляется в соответствии с требованиями, представленными в лабораторной работе № 1. Титульный лист выполняется на две работы.
5. Контрольные вопросы к лабораторным заданиям
1. Как определяются вносимые потери на распространение у фильтра ПАВ с двумя преобразователями, выполненного на подложках из кварца и ниобата лития влияют технологические отклонения ориентации среза на параметры фильтра ?
2.Охарактеризуйте основные технологические факторы, оказывающие существенное влияние на частотную и фазовую характеристики фильтров на ПАВ по методу МонтеКарло?
3.Каким представляется средний закон распределения размеров электродов структуры ВШП для партии одинаковых фильтров с учетом технологии их изготовления?
4.Охарактеризуйте методы изготовления встречноштыревых структур для промежуточных и сверхвысоких частот фильтра.
5. Чему равно поле допуска при определении статистических характеристик фильтров?
6. Как изменяются АЧХ и ФЧХ фильтра при случайных отклонениях размеров структур ВШП и звукопровода?
33
7. Каким образом изменяются длина, ширина, положение
электродов, |
|
скорость |
ПАВ |
и |
коэффициент |
|||
электромеханической |
связи |
с |
учетом соответствующих |
им |
||||
среднеквадратичных отклонений |
y |
, b , x , |
v , k . |
при |
||||
изготовлении фильтров? |
|
|
|
|
|
|||
8. |
Чему |
|
равны |
коэффициенты |
импульсной |
|||
характеристики |
с |
учетом |
|
соответствующих |
им |
|||
среднеквадратичных отклонений y , b , x , v ? |
|
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Андреев, И.В. Устройства частотной селекции на поверхностных акустических волнах для беспроводных и мобильных технологий [Текст]: учеб. пособие / И.В. Андреев, А.И. Андреев. – Воронеж: ГОУВПО «Воронежский государственный технический университет», 2010. – 168 с.
2. Орлов, В.С. Фильтры на поверхностных акустических волнах [Текст] / В.С. Орлов, В.С. Бондаренко. – М.: Радио и связь, 1984. – 272 с.
3. Морган Д. Р. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах [Текст]: пер. с англ. / Д. Р. Морган. – М.: Радио и связь, 1990. – 416 с.
4. . Балышева, О.Л. Материалы для акустоэлектронных устройств [Текст]: учеб. пособие / О.Л. Балышева. – СПб.:
ГУАП, 2005. – 53 с.
34
СОДЕРЖАНИЕ
Лабораторная работа № 1. Исследование влияния технологических факторов на параметры фильтров на ПАВ……………………………………………………………….1
1.Общие указания по выполнению работы………………1
1.1.Цель работы………………………………………………1
1.2.Общая характеристика работы…………………………1
2.Домашнее задание и методические указания по их выполнению……………………………………………………...2
3.Вопросы к домашнему заданию…………………………18
4.Лабораторные задания и методические указания по их выполнению………………………………………………........19
5.Контрольные вопросы к лабораторным заданиям.......21
Лабораторная работа № 2. Анализ влияния технологических погрешностей структур преобразователей по методу Монте-Карл………………………………………...22
1.Общие указания по выполнению работы……………….22
1.1.Цель работы………………………………………………22
1.2.Общая характеристика работы…………………………22
2.Домашнее задание и методические указания по их выполнению…………………………………………………….23
3.Вопросы к домашнему заданию......................................29
4.Лабораторные задания и методические указания по
их выполнению…………………………………………………29
5. Контрольные вопросы к лабораторным заданиям.........33 Библиографический список………………………………….34
35
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ НА ПАРАМЕТРЫ ФИЛЬТРОВ
НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ к выполнению лабораторных работ № 1, 2 по курсу
«Технология изготовления полосовых и режекторных фильтров с использованием ПАВ и MEMS-структур»
для студентов направления 211000.68 «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» (программа магистерской подготовки «Информационные технологии проектирования электронных средств, выполненных по субмикронной технологии») очной формы обучения
Составители: Андреев Игорь Викторович, Андреев Александр Игоревич
В авторской редакции
Подписано к изданию 13.11.2014. Уч.- изд. л. 2,1.
ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский просп., 14