Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Учебное пособие 670

.pdf
Скачиваний:
2
Добавлен:
30.04.2022
Размер:
525.33 Кб
Скачать

для среднеквадратических отклонений получаем

 

 

1

 

M

 

H

( ) (

 

(Hi ( ) Hср ( ))2 )1./2 ,

(26)

 

M

 

 

 

 

j

 

 

 

 

1

 

M

 

 

( ) (

 

( i ( ) ср ( ))2 )1./2 ,

(27)

M

 

 

 

 

 

j

 

где M число образцов фильтров, на которых проводили испытания. При этом половины поля допуска определялись выражениями:

H ( ) 3 H ( ),

(28)

( ) 3 ( ).

(29)

Далее находились верхние и нижние граничные значения

HВ ( ) Hср

3 H ( ),

(30)

HH ( ) Hср

3 H ( ),

(31)

В ( ) ср

3 ( ),

(32)

H ( ) ср

3 ( ) .

(33)

Таким образом, для определения статистических характеристик H (ω) и θ (ω) для определенной партии фильтров M необходимо воспользоваться соотношениями представленными выше. Для проведения статистических испытаний из генеральной совокупности всей партии обычно выбирают выборку в количестве 30-100 фильтров и по этой выборке делают вывод о поведении всей генеральной совокупности. Увеличивая незначительно количество фильтров в выборке можно с высокой точностью дать рекомендации поведении всей генеральной совокупности и ее статистических характеристик.

28

3.Вопросы к домашнему заданию

1. Как определяются среднеарифметические и среднеквадратичные значения отклонений АЧХ и ФЧХ фильтров для выбранной партии?

2. От чего зависят верхние и нижние граничные значения частотных характеристик?

3.Как связаны компоненты вещественной и мнимой частей передаточной характеристики ВШП с топологическими параметрами?

4.От чего зависит коэффициенты импульсной

характеристики

при отклонении в топологии

при

изготовлении фильтра ?

 

5.Как находятся длина электродов в топологии ШП и как она влияет на частотную характеристику фильтра?

6.Чем определяется квадрат коэффициента электромеханической связи и его влияние на основные параметры фильтра?

7.От чего зависит эффективную скорость и ее связь с топологией ВШП?

8.Из каких соотношений выбирается ширина электродов

иполупериод с учетом топологии и как влияет на них технология изготовления ВШП?

9.От чего зависит перекрытие электродов и как влияет на нее учет топологии?

4.Лабораторные задания и методические рекомендации по их выполнению

Задание № 1. Определить статистические характеристики H(ω) для партии полосовых фильтров в полосе заграждения, определяя для каждого фильтра уровень боковых лепестков. Построить гистограммы отклонений H(ω) от среднеарифметических и среднеквадратических значений в области частот (ω01) +1/3 ω0, принимая во внимание, что ω1 отвечает первому нулю на амплитудно-частотной характеристике фильтра. ПАВ.

29

Методические указания по выполнению первого задания

При выполнении задания следует считать, что для полосового фильтра ПАВ общая АЧХ равна произведению АЧХ отдельных преобразователей

H( f ) H1( f ) H2( f ),

где H1( f ) и H2( f )- аплитудно-частотные характеристики отдельных преобразователей. Если один преобразователь сделать широкополосным и считать, что для негоH2( f )=1, тогда общая АЧХ фильтра будет определяться характеристикой входного преобразователя. Для выполнения задания выбрать аподизованный преобразователь с оконной функцией Хемминга и уточнить влияние на передаточную функцию нормированной функции Sn(bn/pn) , определяющей связь интенсивности излучения пары электродов от соотношения электрод/полупериод. Выбрать выборку фильтров размером

М=30. Для выбранной выборки

измерить

отдельно

амплитудно-частотную характеристику

каждого

фильтра с

помощью измерителя АЧХ в полосе заграждения этого фильтра. Результаты измерений занести в отчет. В соответствии с соотношениями (24-27) определить основные статистические характеристики H(ω) всей партии полосовых фильтров в указанной полосе заграждения. Найденные статистические характеристики занести в отчет

Задание № 2. Определить отклонение в параметрах электродов для фильтра, содержащего аподизованный и неаподизованный преобразователи с учетом технологических отклонений при изготовлении размеров электродов и расстояния между ними.

Методические указания по выполнению второго задания

При выполнении задания учесть, что для нахождения реальных значений и законов распределения погрешностей

30

размеров элементов ВШП y , x , b на микроскопе НУ-2Е

проводились измерения периода и ширины электродов для выбранной выборки фильтров. Измерения погрешности длины электродов не проводилось, но предполагалось, что y =1.5 b ,

так как ошибка позиционирования координатографа по осям Х и У одинаковы, подтравка электродов по ширине и длине различна и имеет характер приведенный в /2/. Для партии одинаковых фильтров средний закон распределения размеров электродов структуры близок к нормальному и имеет вид

y(x,b)

 

1

 

 

exp(

((x,.b) mx,b )2

 

 

 

 

 

.

 

 

 

 

 

x,b

 

2

2 x,b

Обычно для структуры имеем x =1.25 мкм, b =2.56 мкм, mx =2.53 мкм, mb =3.2 мкм. Закон распределения на фотошаблоне аналогичный, но погрешности отличаются от погрешностей структуры шx =0.8 мкм, шb =1.5 мкм, mшx =2.5

мкм, mшb =3.1 мкм. Отклонения скорости и коэффициента электромеханической связи били приняты равными v =0.66

м/c и k =0.3 10-4 для кварца и v =1.0 м/c , k =0.33 10-3 для

ниобата лития. Измерить погрешности размеров электродов, определить средне-квадратичные отклонения для партии фильтров и сравнить с представленными выше. Результаты расчета параметров ВШП занести в отчет.

31

Задание № 3. Определить потери, возникающие при эксплуатации фильтра ПАВ, содержащего два преобразователя: один аподизованный и один неаподизованный с оптимальным числом пар электродов ВШП. В качестве материалов подложки выбрать кварц ST-среза и ниобат лития YZ-среза

Методические указания по выполнению третьего задания

В качестве оптимального числа пар электродов неаподизованного ВШП выбиралось N1=22 для ST-среза и N1=4 для ниобата лития. Общая АЧХ фильтра определялась в основном функцией передачи аподизованнного преобразователя. Расстояние между преобразователями выбиралось минимальным и составляло 2 мм. Одной из основных составляющих полных вносимых потерь устройств на ПАВ являются потери на распространение (или затухание) волн. Потери (в дБ/мкс) можно определить с помощью зависимости

Bm M f M f 2 ,

(34)

где M и M – коэффициенты, характеризующие потери за счет воздушной нагрузки и вязкостных свойств материала; f – частота в ГГц. Данная зависимость (34) получена теоретически и подтверждена измерениями для различных материалов. Первое слагаемое (пропорциональное частоте) вносит вклад в том случае, если кристалл находится в воздухе или инертном газе и равно нулю для вакуума. Второе слагаемое обусловлено взаимодействием ПАВ с колебаниями кристаллической решетки и примерно пропорционально квадрату частоты. Для кварца STсреза коэффициенты M и M равны соответственно M =0.47 дБ/мкс и M = 2.62 дБ/мкс Для ниобата лития YZ-среза зависимость (34) имеет вид

Bm

0.19 f 0.88 f 1.9 ,

(35)

поэтому у ниобата YZ-среза лития

эти коэффициенты равны

M =0.19 дБ/мкс

и M = 0.88 дБ/мкс. Определить вносимые

 

32

 

затухания для фильтра на центральные частоты: f0 = 57 МГ, f0 = 150 МГц, f0 = 300 МГ, f0 = 520 МГц, f0 = 870 МГц и f0 = 1.1 ГГц. При проектировании акустоэлектронных устройств с рабочими частотами менее 50–100 МГц потери на распространение волн не велики, однако на высоких частотах эти потери вносят значительный вклад в общие потери и обязательно должны учитываться при выборе материалов для акустоэлектронных устройств. Результаты расчета занести в отчет и построить графики зависимостей потерь от частоты.

Указания по оформлению отчета

Отчет оформляется в соответствии с требованиями, представленными в лабораторной работе № 1. Титульный лист выполняется на две работы.

5. Контрольные вопросы к лабораторным заданиям

1. Как определяются вносимые потери на распространение у фильтра ПАВ с двумя преобразователями, выполненного на подложках из кварца и ниобата лития влияют технологические отклонения ориентации среза на параметры фильтра ?

2.Охарактеризуйте основные технологические факторы, оказывающие существенное влияние на частотную и фазовую характеристики фильтров на ПАВ по методу МонтеКарло?

3.Каким представляется средний закон распределения размеров электродов структуры ВШП для партии одинаковых фильтров с учетом технологии их изготовления?

4.Охарактеризуйте методы изготовления встречноштыревых структур для промежуточных и сверхвысоких частот фильтра.

5. Чему равно поле допуска при определении статистических характеристик фильтров?

6. Как изменяются АЧХ и ФЧХ фильтра при случайных отклонениях размеров структур ВШП и звукопровода?

33

7. Каким образом изменяются длина, ширина, положение

электродов,

 

скорость

ПАВ

и

коэффициент

электромеханической

связи

с

учетом соответствующих

им

среднеквадратичных отклонений

y

, b , x ,

v , k .

при

изготовлении фильтров?

 

 

 

 

 

8.

Чему

 

равны

коэффициенты

импульсной

характеристики

с

учетом

 

соответствующих

им

среднеквадратичных отклонений y , b , x , v ?

 

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Андреев, И.В. Устройства частотной селекции на поверхностных акустических волнах для беспроводных и мобильных технологий [Текст]: учеб. пособие / И.В. Андреев, А.И. Андреев. – Воронеж: ГОУВПО «Воронежский государственный технический университет», 2010. – 168 с.

2. Орлов, В.С. Фильтры на поверхностных акустических волнах [Текст] / В.С. Орлов, В.С. Бондаренко. – М.: Радио и связь, 1984. – 272 с.

3. Морган Д. Р. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах [Текст]: пер. с англ. / Д. Р. Морган. М.: Радио и связь, 1990. 416 с.

4. . Балышева, О.Л. Материалы для акустоэлектронных устройств [Текст]: учеб. пособие / О.Л. Балышева. – СПб.:

ГУАП, 2005. 53 с.

34

СОДЕРЖАНИЕ

Лабораторная работа № 1. Исследование влияния технологических факторов на параметры фильтров на ПАВ……………………………………………………………….1

1.Общие указания по выполнению работы………………1

1.1.Цель работы………………………………………………1

1.2.Общая характеристика работы…………………………1

2.Домашнее задание и методические указания по их выполнению……………………………………………………...2

3.Вопросы к домашнему заданию…………………………18

4.Лабораторные задания и методические указания по их выполнению………………………………………………........19

5.Контрольные вопросы к лабораторным заданиям.......21

Лабораторная работа № 2. Анализ влияния технологических погрешностей структур преобразователей по методу Монте-Карл………………………………………...22

1.Общие указания по выполнению работы……………….22

1.1.Цель работы………………………………………………22

1.2.Общая характеристика работы…………………………22

2.Домашнее задание и методические указания по их выполнению…………………………………………………….23

3.Вопросы к домашнему заданию......................................29

4.Лабораторные задания и методические указания по

их выполнению…………………………………………………29

5. Контрольные вопросы к лабораторным заданиям.........33 Библиографический список………………………………….34

35

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ НА ПАРАМЕТРЫ ФИЛЬТРОВ

НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ к выполнению лабораторных работ № 1, 2 по курсу

«Технология изготовления полосовых и режекторных фильтров с использованием ПАВ и MEMS-структур»

для студентов направления 211000.68 «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» (программа магистерской подготовки «Информационные технологии проектирования электронных средств, выполненных по субмикронной технологии») очной формы обучения

Составители: Андреев Игорь Викторович, Андреев Александр Игоревич

В авторской редакции

Подписано к изданию 13.11.2014. Уч.- изд. л. 2,1.

ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14