С.А. Акулинин

Контрольно-измерительные операции в технологии интегрированных модулей

Учебное пособие

Воронеж 2010

ГОУВПО «Воронежский государственный технический университет»

С. А. Акулинин

КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ОПЕРАЦИИ В ТЕХНОЛОГИИ ИНТЕГРИРОВАННЫХ МОДУЛЕЙ

Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве

учебного пособия

Воронеж 2010

ДК 621.

Акулинин С.А. Контрольно-измерительные операции в технологии интегрированных модулей. 2010. 84 с.

Учебное пособие содержит изложение физических принципов работы, данные характеристик и параметров приборов и оборудования, применяемого на этапе отработки технологии и серийного производства интегрированных структур (МЭС, МЭМС, МОЭМС).

Содержание учебного пособия соответствует требованиям Государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования по направлению 210100 «Электроника», специальности 210107 «Электронное машиностроение», дисциплине «Технические устройства контроля в оборудовании электронной промышленности». Пособие может быть использовано студентами других специальностей электронного профиля.

Учебное пособие подготовлено в электронном виде и текстовом редакторе MS Word 2000 и содержится в файле Контроль_ТУК.doc 4,31 МБ.

Табл. Ил. Библиогр.: 13 назв.

Научный редактор д-р техн. наук, проф. О.Н. Чопоров

Рецензенты: кафедра физики полупроводников, микроэлектроники и наноэлектроники Воронежского государственного университета (зав кафедрой д-р ф-м., наук, проф. Е.Н. Бормонтов;

д-р ф-м наук, проф. В.А. Терехов

 Акулинин С.А., 2010

 Оформление. ГОУВПО « Воронежский государственный

технический университет», 2010

Введение

Анализ отечественных и зарубежных публикаций по проблеме 3D интеграции, в том числе материалов конференций, проводимых Sematech, подтвердил необходимость применения различных технических средств на этапах освоения производства, при анализе отказов и т.д. Часть этих средств должна быть доступна технологу в оперативном режиме (электрические измерения, оптическая и растровая микроскопия). Более сложные методики и аналитическое оборудование могут располагаться в центрах коллективного пользования при Вузах.

Таким образом, включение в лекционный курс конкретных разделов продиктовано необходимостью для специалистов, занимающихся разработкой и производством 3D изделий, знать возможности современных контрольно-измерительных средств и эффективно их использовать.

Задачей дисциплины является получение знаний принципов работы, технических характеристик приборов и оборудования, особенностей их применения.

В результате изучения курса студент должен:

• знать принципы работы, характеристики и параметры современных средств анализа и контроля микроэлектронных систем (МЭС), микроэлетромеханических систем (МЭМС) и микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС);

• уметь выбирать тип контрольно-измерительных приборов и устройств для применения в проектируемом технологическом оборудования (работа in situ) или для встраивания в технологическую линию (on line), уметь анализировать влияние контрольно-измерительных средств на качество изделий, производительность и надежность оборудования;

• иметь навыки измерения параметров физических структур производимых изделий с использованием современного аналитического оборудования.