Sb98848
.pdfСПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ Основной
Барыбин А. А., Томилин В. И., Шаповалов В. И. Физико-технологи- ческие основы макромикро- и наноэлектроники. М.: Физматлит, 2011.
Таиров Ю. М., Цветков В. Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов: учеб. для вузов. СПб.: Лань, 2002.
Дополнительный
Барыбин А. А. Электроника и микроэлектроника: физико-технологи- ческие основы технологии электронных приборов: учеб. пособие. М.: Физма-
тлит, 2006.
Глазов В. М., Земсков В. С. Физико-химические основы легирования полупроводников. М.: Наука, 1967.
Колобов Н. А. Основы технологии электронных приборов. М.: Высш.
шк., 1980.
Курносов А. И., Юдин В. В. Технология производства полупроводниковых приборов и ИМС: учеб. пособие. М.: Высш. шк., 1986.
Технология СБИС / под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986. Т. 1, 2.
Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. М.: Радио и связь, 1987.
Черняев В. Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. М.:
Высш. шк., 1987.
Образовательные ресурсы Интернета
Томилин В. И., Томилина Н. П.. Физико-химические основы технологии электронных средств: учеб. пособие / Сиб. фед. ун-т. Красноярск, 2007. URL: Files.lib.sfu-kras.ru/ebibl/umkd/136/u_course.pdf
21
Содержание
1. Содержание рабочей программы. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 2. Практические занятия. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 3. Самостоятельная работа. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 4. Оценочные средства по дисциплине. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 Список рекомендуемой литературы . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Александров Олег Викторович Тумаркин Андрей Вильевич
Основы технологии электронной компонентной базы
Учебно-методическое пособие
Редактор Н. В. Лукина
––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
Подписано в печать 28.12.18. Формат 60×84 1/16. Бумага офсетная. Печать цифровая. Печ. л. 1,5.
Гарнитура «Times New Roman». Тираж 58 экз. Заказ .
––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ» 197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5