- •Введение
- •1. Типовая схема вакуумной системы среднего и высокого вакуума
- •2. Выбор вакуумных насосов
- •2.1 Выбор высоковакуумного насоса
- •2.2 Выбор механического насоса
- •3. Выбор и расстановка манометров
- •3.1 Выбор манометра для высоковакуумного насоса
- •3.2 Выбор манометров для механического насоса
- •4. Испытание высоковакуумного насоса
- •5. Расчёт натекания в вакуумную систему
- •6. Методы течеискания
- •7. Описание технологий течеискания с помощью выбранного течеискателя
- •Заключение
- •Приложения
- •Форма заполнения результатов течеискания
- •Список литературы
5. Расчёт натекания в вакуумную систему
По условию течь образовалась в области трещины, размеры которой:
Рассчитываем поток при молекулярном режиме течения газа по формуле:
где P2 – номинальное рабочее давление, Па;
P1 – изменившееся давление за единицу времени, Па;
T – температура, К;
М – молекулярная масса газа, кг/моль;
R= 8,31 Дж/моль·К – универсальная газовая постоянная.
При вязкостном режиме через канал круглого сечения:
где - динамическая вязкость газа (для воздуха ).
6. Методы течеискания
Первый метод: масс-спектрометрический. Течеискание будет проводиться при помощи гелиевого масс-спектрометрического течеискателя ПТИ-10, у которого наименьший регистрируемый поток 7·10-13 м3∙Па/с (рис. 6.1).
Рисунок 6.1 – Внутреннее устройство течеискателя ПТИ-10
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию гелия. Течь (или натекание) определяется потоком гелия, проникающего в контролируемый объем при вакуумных испытаниях, или потоком гелия, вытекающего из испытуемого объекта при избыточном давлении в нем.
Структурная схема течеискателя ПТИ-10 приведена на рис. 6.2.
Рисунок 6.2 – Структурная схема течеискателя ПТИ-10
Принцип действия течеискателя следующий. Остаточная атмосфера и гелий, прошедший через течь, из исследуемого объекта проходит входной фланец и проходит в масс-спектрометр. В масс-спектрометрической камере гелий идентифицируется и сообщает о наличии течи. После этого остаточные газы уходят в диффузионный насос, а дальше – в механический насос и в атмосферу. Между входным фланцем и масс-спектрометром располагается гелиевая течь. Она служит для правильной оценки чувствительности течеискателя.
Второй метод: галогенный. Он основан на свойстве нагретой поверхности чувствительного элемента, изготовленного из платины или из никеля, резко увеличивать эмиссию положительных ионов при наличии в пробном газе, проникающем через сквозные дефекты контролируемого объекта, галогенов или галогеносодержащих веществ. На этом свойстве построен галогенный течеискатель, работа которого осуществляется следующим образом: через чувствительнейший элемент течеискателя, выполняющий функции анода, прогоняет с помощью центробежного или вакуумного насоса анализируемый газ. Анод, нагретый до 800...900 °С, испускает ионы содержавшихся в нем примесей щелочных металлов (натрия, калия). Под действием разности потенциалов между анодом и коллектором ионы движутся к коллектору. Ток анод — коллектор является измеряемой величиной в галогенном течеискателе (рисунок 6.3).
Рисунок 6.3 – Течеискатель галогенный ГТИ-6
Галогены способствуют процессу ионизации щелочных металлов, и их присутствие в пробном газе резко увеличивает ток анод-коллектор. К галогенам относятся элементы группы галоидов: фтор, хлор, бром, иод. Обычно в качестве пробного газа используют галогеносодержащие вещества: фреон (содержащий фтор), хладон, хлористый метил и др. Такие вещества относительно дешевы, безвредны и широко применяются в промышленности и в быту (например, в бытовых холодильниках). Технология контроля галогенным течеискателем значительно проще, чем масс-спектрометрическим. Галогенный течеискатель сравнительно несложный и легкий прибор. Вместе с тем при проведении контроля в помещении необходима его тщательная вентиляция из-за возникновения повышенного фона, снижающего точность измерений. Недостатком метода является также возможность потери чувствительности — «отравления» анода течеискателя при попадании на него большого количества галогенов. Восстановление «отравленного» анода осуществляется прокачкой через течеискатель большого объема чистого воздуха при повышенном накале анода.
Для нашего случая подойдёт галогенный течеискатель ГТИ-6 (чувствительность (0,9-1,6)·10-7 м3Па/с).
Течеискатель обеспечивает обнаружение течей: в системах, заполненных пробным газом, содержащим галогены, при давлении, превышающем атмосферное; в откачанных системах обдуванием их пробным газом снаружи. В качестве пробного – любой галогеносодержащий газ.
- #
- #26.12.202081.88 Кб23Вакуумная схема с течеискателем ПТИ-10. Слегка переделанная (на ловушке). Компас.cdw
- #
- #
- #26.12.2020127.58 Кб28Испытательный колпак для проверки быстроты откачки высоковакуумного насоса. Компас.cdw
- #26.12.202091.92 Кб18Соединение преобразователя ПМИ-2. ISO-KF с центрирующим кольцом и резиновым уплотнением. Компас.cdw
- #26.12.202092.63 Кб18Соединение преобразователя ПМИ-2. Самодельное по типу ISO-KF с металлическим уплотнением. Компас.cdw