- •Характерные отличительные свойства полупроводников и общее представление о природе этих свойств Феноменологические отличия
- •Фундаментальное физическое отличие между кристаллическими полупроводниками и металлами
- •Основные типы современных полупроводниковых приборных структур
- •Биполярные транзисторы Краткое введение: определение, история, применения
- •Структура и основные режимы работы
- •Распределение стационарных потоков носителей заряда
- •Полевые транзисторы Краткое введение: определение, история, изготовление, применения
- •Основные преимущества
Основные преимущества
МОП-транзисторов в сравнении с биполярными транзисторами
МОП-транзисторы имеют ряд существенных преимуществ в сравнении с биполярными транзисторами, которые обусловливают возможность их существенной миниатюризации, работы в СВЧ диапазоне (~ 10 Ггц), простоты и дешевизны изготовления.
Наглядным примером этому может служить сопоставление содержания основных операций технологического процесса изготовления биполярных (БП) транзисторов и МОП-транзисторов, приведенное в Таблице 3.
Таблица 3 - Содержание основных операций технологического процесса изготовления биполярных транзисторов и МОП-транзисторов
№ |
Биполярная технология |
МОП-технология |
1 |
Реализация 4-х процессов диффузии |
Реализация 1-2-х процессов диффузии |
2 |
Эпитаксиальный процесс является одной из основных операций |
Эпитаксиальный процесс не обязателен |
3 |
Используется 6-8 фотошаблонов |
Используется 5-6 фотошаблонов |
4 |
Включает около 130 технологических операций |
Достаточно менее 40 технологических операций |
5 |
10 процессов с температурой около 1000 оС |
Всего 2 процесса с температурой около 1000 оС |
Наряду с этим МОП-транзисторы в связи с намного большим входным сопротивлением RВХ ≡ RЗИ, чем у БП транзисторов (RВХ ≡ RЭБ), обеспечивают в 102-104 раз большее усиление мощности входного сигнала.
Для иллюстрации указанного преимущества воспользуемся приведенной на рисунке 26 упрощенной эквивалентной электрической схемой МОП-транзистора и акцентированными ниже выходными экспериментальными результатами.
RH
RH
IСИ
С
З
UСИ
UЗИ
UСИ
RВХ
RКАН(UЗИ)
И
Рисунок 26 – Упрощенная эквивалентная электрическая схема МОП-транзистора
(RH – сопротивление нагрузки; RКАН(UЗИ) сопротивлением канала между истоком и стоком)
Выходные экспериментальные результаты:
RВХ = 1010 Ом; RH = 100 Ом; UСИ = 20 В;
∆UЗИ = 1 В; ∆IСИ = 2 мА (вследствие изменения сопротивления канала RКАН(UЗИ)).
Оценка коэффициента усиления мощности КР:
Изменение входной мощности сигнала, обусловленное ∆UЗИ = 1 В, составляющее
∆РВХ = (∆UЗИ)2/RВХ = 10-10 Вт,
вызывает изменение мощности, выделяющейся в сопротивлении нагрузки,
∆РВЫХ = (∆IСИ)2·RH = (2·10-3)2·100 = 4·10-4 Вт.
Поэтому
КР = ∆РВЫХ/∆РВХ = 4·10-4/10-10 = 4·106.
Выполнить самостоятельную расчетную работу по определению величины КР для МОП-транзистора при:
RВХ = 1012 Ом; RH = 150 Ом; UСИ = 20 В;
∆UЗИ = 1,5 В; ∆IСИ = 3,8 мА (вследствие изменения сопротивления канала RКАН(UЗИ)).
Отчет о проведенной работе с приложением соответствующих конкретных численных операций оформить как самостоятельную работу и сдать преподавателю.
