- •«Московский технологический университет» мирэа
- •Задание на выполнение выпускной квалификационной работы (магистерской диссертации)
- •Аннотация
- •Содержание
- •Обозначения и сокращения
- •Введение
- •1. Анализ механизмов воздействия лазерного излучения на элементы фотоприемных устройств
- •1.1 Воздействие лазерного наносекундного излучения на металлические слои и подложки
- •1.2 Действие наносекундных лазерных импульсов на поверхность полупроводниковых мишеней
- •1.3 Действие лазерного излучения на органы зрения
- •1.4 Анализ факторов поражающего действия лазерного излучения
- •1.5 Исследования характера радиационного и теплового воздействия лазерного ослепляющего облучения на элементы приемных устройств
- •2. Разработка концепции построения и математической модели функционирования микромеханического затвора с наносекундным быстродействием
- •2.1. Основные требования к защитным быстродействующим затворам
- •2.2 Возможность создания светоклапанного устройства защиты
- •2.3 Конструкция устройства светоклапанного зеркала
- •2.4 Результаты лабораторного эксперимента
- •3. Методы расчета конструкционных и функциональных параметров затворов
- •3.1 Перспективные типы быстродействующих оптических затворов
- •3.2 Метод lcvd
- •3.3 Соединения, используемые для lcvd металлов
- •4. Практические рекомендации по применению наносекундных микромеханических затворов
- •Заключение
- •Список используемой литературы
Заключение
В диссертации проведено теоретическое обоснование концепции построения микромеханического оптического пассивного затвора, обеспечивающего защиту оптических приемных устройств, и оптико-электронных устройств различного назначения.
В работе проведен анализ поражающих факторов, экспериментальное исследование на моделях и мишенях характера радиационного и теплового воздействия лазерного ослепляющего облучения на элементы приемных устройств.
Исследована концепция оптического пассивного микромеханического затвора с наносекундным быстродействием.
Проведена количественная оценка поражающего действия лазерного излучения фотоэмиссионных приборов с многочисленным фотокатодом и с катодом с отрицательным электронным сродством, фотоэмиссионных полупроводниковых приборов на основе кремния, органов зрения.
Разработана математическая модель процессов поражающего воздействия лазерного излучения на структуру микромеханического затвора (включая базовую физическую модель).
Проведены предварительные расчеты и макетирование оптических схем устройств, использующих наносекундные микромеханические затворы.
Выполнено экспериментальное и теоретическое исследование, выбор перспективных материалов элементов микромеханических затворов, разработаны методы расчета конструкционных и функциональных параметров затворов.
Разработана теоретическая модель создания оптического пассивного микромеханического самосрабатывающего затвора, закрывающегося под действием наносекундного лазерного импульса облучения и восстанавливающегося после его окончания.
Список используемой литературы
1. Взаимодействие лазерного излучения с металлами / А.М. Прохоров, В.И. Конов, И. Урсу, И.Н. Михэилеску. – М.: Наука, 1988.
2. Лезнева Э.Ф. Лазерная десорбция. – Л.: Изд-во ЛГУ, 1990.
3. Сивухин Д.В. Общий курс физики: В 2 т. Т.2.Термодинамика и молекулярная физика – М.: Наука, 1989.
4. Дьюли У. Лазерная технология и анализ материалов. – М.: Мир, 1986.
5. Действие излучения большой мощности на металлы / С.И. Анисимов, Я.А. Имас, Г.С. Романов, Ю.В. Ходыко. – М.: Наука, 1970.
6. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. – Л.: Машиностроение, 1986.
7. Арутюнян Р.В., Баранов В.Ю., Большов Л.А. Воздействие лазерного излучения на материалы. – М.: Наука, 1989.
8. Емельянов В.И., Семиногов В.Н. Лазерно-индуцированные неустойчивости рельефа поверхности и изменение отражательной и поглощательной способности конденсированных сред // Итоги науки и техники. Сер. Физ. основы лазер. и пучковой технологии. – Т.3. – М.: ВНИТИ, 1989. – 57-91 с.
9. Волновые процессы в слоистых средах / Р.И. Нигматулин, А.И. Темроков, А.Ю. Кишуков // Сборник научных трудов РАН под редакцией ак. Фортова В.Е., 1992г.
10. Карлов Н.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С. Лазерная термохимия: Основы и применения. – М.: ЦентрКом, 1995. – 368 с.
11. Карлов Н.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С. Лазерная термохимия. – М.: Наука, 1992. – 296 с.
12. Ахманов А.С. Лазерная и традиционная полупроводниковая технология – сравнительный анализ. Применение лазерографии в технологии интегральных схем // Итоги науки и техники. Сер. Физ. основы лазер. и пучковой технологии. – Т.3. – М.: ВНИТИ, 1989. – 4-39 с.
13. Вьюков Л.А., Емельянов А.В., Ермолов А.В. Лазерные процессы в технологии микроэлектроники // Изв. АН СССР, Сер. Физ. – 1987. – Т. 51, №6. – 1203-1210 с.
14. Прудников Н.В. Взаимодействие лазерного излучения с веществом. – Москва: МИРЭА, 2009. – 34-44 с.
15. Чесноков В.В., Чесноков Д.В. Модуляция света упругими волнами в мембранных волноводах. Труды международной конференции «Авангардные технологии, оборудование, инструмент и компьютеризация производства оптико-электрических приборов в машиностраении». – Новосибирск: СГГА, 1995. – ч.2.-57-59 с.
16. Прудников Н. В., Чесноков В. В., Чесноков Д. В., Шлишевский В. Б. Применение термоиндуцированных наноразмерных поверхностных деформаций для ослабления импульсных световых потоков // Оптический журнал, том 76, №2, 2009. – 36-41 с.