- •«Московский технологический университет» мирэа
- •Задание на выполнение выпускной квалификационной работы (магистерской диссертации)
- •Аннотация
- •Содержание
- •Обозначения и сокращения
- •Введение
- •1. Анализ механизмов воздействия лазерного излучения на элементы фотоприемных устройств
- •1.1 Воздействие лазерного наносекундного излучения на металлические слои и подложки
- •1.2 Действие наносекундных лазерных импульсов на поверхность полупроводниковых мишеней
- •1.3 Действие лазерного излучения на органы зрения
- •1.4 Анализ факторов поражающего действия лазерного излучения
- •1.5 Исследования характера радиационного и теплового воздействия лазерного ослепляющего облучения на элементы приемных устройств
- •2. Разработка концепции построения и математической модели функционирования микромеханического затвора с наносекундным быстродействием
- •2.1. Основные требования к защитным быстродействующим затворам
- •2.2 Возможность создания светоклапанного устройства защиты
- •2.3 Конструкция устройства светоклапанного зеркала
- •2.4 Результаты лабораторного эксперимента
- •3. Методы расчета конструкционных и функциональных параметров затворов
- •3.1 Перспективные типы быстродействующих оптических затворов
- •3.2 Метод lcvd
- •3.3 Соединения, используемые для lcvd металлов
- •4. Практические рекомендации по применению наносекундных микромеханических затворов
- •Заключение
- •Список используемой литературы
3. Методы расчета конструкционных и функциональных параметров затворов
3.1 Перспективные типы быстродействующих оптических затворов
В п. 2.1 сформулированы основные требования к защитным быстродействующим оптическим затворам, в том числе:
- Наносекундное время срабатывания;
- Пассивный характер затвора (функционирование за счет энергии «ослепляющего» излучения);
- Малое время релаксации.
Кроме рассмотренных в разделе 2 конструкций микромеханических затворов, сформулированным выше требованиям могут удовлетворять устройства, построенные на пороговом изменении под действием лазерного излучения оптических характеристик среды, например, поглощательной способности (коэффициента пропускания).
Главная проблема подобного рода устройств заключается в противоречивости предъявляемых к ним требований. С одной стороны, они должны быть прозрачны во всем спектральном диапазоне фотоприемника, а с другой стороны, за счет проходящего через их рабочую среду излучения (поглощая часть его энергии) резко увеличивать свою поглощательную способность. Сочетание таких противоположных требований возможно только в рамках лазерно-индуцированных химических реакций, начало протекания которых характеризуется энергией активации, т.е. носит выраженный пороговый характер.
Использование лазерно-индуцированных реакций для управления поглощательной способностью активной среды оптического затвора, работоспособного в широком диапазоне оптического спектра и обладающего быстродействием, налагает определенные ограничения на выбор типа таких реакций.
Как показано выше, такие химические реакции не могут иметь резонансный характер, поэтому фотолитические процессы, возбуждаемые фотонами определенной энергии, также не могут стать основой для оптических затворов, управляемых световыми потоками большой спектральной ширины.
Можно также предположить, что большим быстродействием потенциально обладают реакции разложения молекул, а не их синтеза. При разложении первой элементарной стадией реакции является поглощение молекулой энергии в результате столкновений с горячей стенкой реакционной камеры или другой молекулой в газовой фазе; следующая стадия - молекула находится в возбужденном состоянии до тех пор, пока не произойдет следующего столкновения с другой молекулой и обмен энергией (столкновительный механизм релаксации возбуждения); третий этап - термический распад молекулы исходного соединения и разлет продуктов разложения (частей молекул), вследствие чего усиливаются процессы поглощения и/или рассеяния света, например, как результат появления непрозрачного осадка на оптических границах раздела, или локального увеличения коэффициента преломления за счет кратковременного роста плотности (так как реакции разложения идут с увеличением концентрации молекул в среде).
В случае реакций синтеза первой элементарной стадией также является поглощение молекулами реагентов энергии в результате столкновения их с горячей стенкой или другой молекулой в газовой фазе; следующая стадия – соединение молекул разных реагентов в новую молекулу – требует нескольких столкновений исходных молекул, является статистически довольно длительным процессом, так как не каждое столкновение молекул приводит к их соединению, а только такие столкновения, при которых молекулы ориентированы друг по отношению к другу определенным образом.
Кроме того, результатом реакции синтеза может быть существенное уменьшение концентрации молекул в среде, так как, например, из двух реагирующих молекул возникает одна. В то же время при реакции разложения наоборот, концентрация увеличивается, например, при термолизе одной молекулы декакарбонила дирения возникает 12 новых молекул.
Важным фактором, заставляющим проводить исследования лазерно-индуцированных химических реакций для использования их в оптических затворах, является малая в ряде случаев энергия активации химических реакций в сравнении с теплотами плавления и сублимации, играющими ключевую роль в определении чувствительности оптических затворов, рассмотренных в разделах 2 и 3. Так, декакарбонил дирения может разлагаться при нагреве до 400 °С (плавление и испарение металлов требует температур 1000...3000 °С)
Проведенный анализ позволяет предложить два основных подхода при использовании лазерно-индуцированных химических реакций для целей разработки быстродействующего оптического затвора:
1) Использование химических реакций, протекающих в объеме газовой (или жидкой) фазы. Образующиеся при этом продукты реакции могут в процессе воздействия «ослепляющего» излучения выступать как центры поглощения, а при кластеризации - и как центры рассеяния, уменьшая, тем самым, долю прошедшего излучения. Конструктивно такой затвор может представлять собой цилиндр, имеющий на торцах прозрачные окна, заполненный парогазовой смесью (или жидкой фазой), установленный коаксиально с оптической осью системы наблюдения.
2) Использование химических реакций, протекающих на поверхности прозрачных подложек. Образующийся при этом непрозрачный пленочный осадок может существенно изменить как поглощательную способность поверхности, так и коэффициент отражения. Конструкция основанного на таком подходе затвора может содержать множество участвующих в процессе поверхностей для увеличения эффективности модуляции падающего излучения.
В качестве модели таких химических реакций и для определения применимости таких подходов для создания быстродействующих оптических затворов были проведены экспериментальные исследования осаждения тонких пленок рения на стеклянные подложки при использовании метода лазерноиндуцированного парофазного химического осаждения (ЛПФХО) или LCVD.
Такой выбор был обусловлен, главным образом научным и технологическим заделом. Проведение таких исследований, однако, позволяет создать модель процессов, протекающих как на поверхности подложек, так и в газовой фазе.
