МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение

высшего образования

«Московский технологический университет»

МИРЭА

Физико-технологический институт (ФТИ)

Кафедра наноэлектроники

__________________________________________________________________

	Допущен к защите
	Зам. заведующего кафедрой _____________ И.В. Гладышев
	«___» ________ 2017 г.

Панов Александр Сергеевич

ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЁМНЫХ МИКРОСТРУКТУР НА ПОДЛОЖКАХ ДЛЯ СОЗДАНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ОПТИЧЕСКОГО ПАССИВНОГО ЗАТВОРА

Направление подготовки 28.04.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Магистерская программа «Нано- и микросистемная техника»

Магистерская диссертация

Научный руководитель	подпись	Профессор, доктор технических наук Прудников Н.В.
Рецензент	подпись

МОСКВА 2017

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение

высшего образования

«Московский технологический университет» мирэа

Институт Физико-технологический наименование института (полностью)

Кафедра Наноэлектроники наименование кафедры (полностью)

СОГЛАСОВАНО		УТВЕРЖДАЮ
Заведующий кафедрой ____________		Директор института ________________
«____» __________2017 г.		«____» __________2017 г.

Задание на выполнение выпускной квалификационной работы (магистерской диссертации)

Магистрант Панов Александр Сергеевич

Шифр 15Э0240

Группа ЭНМО-1-15

Направление подготовки

28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Магистерская программа

26 «Нано и микросистемная техника»

1. Тема магистерской диссертации: Формирование объёмных микроструктур на подложках для создания микромеханического оптического пассивного затвора

2. Обоснование актуальности темы: Создание микромеханического оптического пассивного затвора с наносекундным временем срабатывания, релаксирующего к прежнему состоянию после прекращения воздействия.

3. Объект исследования: Микромеханический оптический пассивный затвор

4. Цель исследования: Разработка конструкции и схемотехнического решения по созданию микромеханического оптического пассивного затвора с наносекундным временем срабатывания.

5. Задачи исследования: Обоснование требований к микромеханическому оптическому пассивному затвору с наносекундным временем срабатывания, анализ воздействия лазерного излучения большой мощности на металл, полупроводниковые элементы, органы зрения, анализ существующих технологий защиты от лазерного излучения, моделирование и принцип работы затвора, анализ реультатов.

6. Методы исследования: Сбор информации, принцип действия оптического затвора, анализ результатов.

7. Ожидаемые результаты исследования: Технология создания термоиндуцированных наноразмерных поверхностных деформаций с наносекундным временем срабатывания за счет энергии лазерного излучения.

8. Документация по работе, представляемая к защите: Выпускная квалификационная работа (магистерская диссертация), тезисы докладов научно-технической конференции, автореферат, отзыв на автореферат, отзыв на магистерскую диссертацию, рецензия.

9. Руководитель и рецензент магистерской диссертации

Функциональные обязанности	Должность (должность в МТУ МИРЭА)	ФИО	Подпись
Руководитель проекта	профессор, доктор технических наук Н.В. Прудников	Прудников Н.В.
Рецензент

Задание выдал		Задание принял к исполнению
Руководитель ВКР__________ / Н.В. Прудников /		Магистрант_________/ Панов А.С./
«___»___________20__ г.		«___»___________20__ г.