Плазменная полимеризация
Плазменная полимеризация (или полимеризация тлеющего разряда) использует источники плазмы для генерирования газового разряда, который обеспечивает энергию для активации или фрагментации газообразного или жидкого мономера, часто содержащего винильную группу, для инициирования полимеризации. Полимеры, полученные по этой технологии, как правило, сильно разветвленные и сильно сшитые, хорошо прилипают к твердым поверхностям. Самое большое преимущество этого процесса состоит в том, что полимеры могут быть непосредственно присоединены к желаемой поверхности, в то время как цепи растут, что уменьшает количество шагов, необходимых для других процессов покрытия.
Уже в 1870-х годах были известны «полимеры», образующиеся в результате этого процесса, но изначально эти полимеры считались нежелательными побочными продуктами, связанными с электрическим разрядом. Только в 1960-е годы свойства этих полимеров оказались полезными. Было обнаружено, что безупречные, тонкие полимерные покрытия могут быть сформированы на металлах. Выбирая тип мономера и плотность энергии на мономер, известную как параметр Ясуды, химический состав и структуру получаемой тонкой пленки можно варьировать в широком диапазоне. Эти пленки обычно являются инертными, адгезивными и имеют низкие диэлектрические постоянные . Некоторые общепринятые мономеры, полимеризованные этим способом, включают стирол, этилен, метакрилат и пиридин, только для немногих. 1970-е годы привели к множеству достижений в области полимеризации в плазме, включая полимеризацию многих различных типов мономеров. Механизмы осаждения, однако, в основном игнорировались до недавнего времени. С этого времени наибольшее внимание, уделяемое полимеризации плазмы, было в областях покрытий, но поскольку трудно контролировать структуру полимера, оно имеет ограниченное применение.
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы, иначе плазмохимическое газофазное осаждение— процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы. Технология плазмохимического осаждения использует газоразрядную плазму для разложения реакционного газа на активные радикалы. Применение различных приемов возбуждения плазмы в реакционном объёме и управление её параметрами позволяет интенсифицировать процессы роста покрытий, проводить осаждение аморфных и поликристаллических пленок при значительно более низких температурах подложки, делает более управляемыми процессы формирования заданного микрорельефа, структуры, примесного состава и других характеристик покрытия по сравнению с аналогичными процессами при химическом осаждении из газовой фазы (CVD), основанными на термическом разложении реакционного газа. Этим методом успешно получают алмазоподобные плёнки.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В ходе данной работы была найдена и систематизирована информация о плазменной обработке материалов. Было выяснено, что плазменной обработкой является не только резка материалов, но также активация, травление, наплавка, полимеризация, и т.д. Плазменная обработка-достаточно универсальное средство обработки материалов.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9F%D0%BB%D0%B0%D0%B7%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D0%B0%D1%8F_%D0%BE%D0%B1%D1%80%D0%B0%D0%B1%D0%BE%D1%82%D0%BA%D0%B0
http://www.booksite.ru/fulltext/1/001/008/089/522.htm
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9F%D0%BB%D0%B0%D0%B7%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D0%B0%D1%8F_%D0%B0%D0%BA%D1%82%D0%B8%D0%B2%D0%B0%D1%86%D0%B8%D1%8F
https://en.wikipedia.org/wiki/Plasma_etching
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9F%D0%BB%D0%B0%D0%B7%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D0%BE%D0%B5_%D0%BD%D0%B0%D0%BF%D1%8B%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9F%D0%BB%D0%B0%D0%B7%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D0%B0%D1%8F_%D0%BD%D0%B0%D0%BF%D0%BB%D0%B0%D0%B2%D0%BA%D0%B0
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9F%D0%BB%D0%B0%D0%B7%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D0%B0%D1%8F_%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%BA%D0%B0
https://en.wikipedia.org/wiki/Plasma_polymerization
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9F%D0%BB%D0%B0%D0%B7%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D0%BE-%D1%85%D0%B8%D0%BC%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%BE%D0%B5_%D0%BE%D1%81%D0%B0%D0%B6%D0%B4%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5_%D0%B8%D0%B7_%D0%B3%D0%B0%D0%B7%D0%BE%D0%B2%D0%BE%D0%B9_%D1%84%D0%B0%D0%B7%D1%8B