Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:изготовление плат методом тонкопленоной технологии.doc
X
- •Курсовая работа
- •«Изготовление плат методом тонкопленочной технологии».
- •Введение.
- •Глава 1 Необходимость развития технологий для производства тонкопленочных микросхем
- •Глава 2 Классификация процессов изготовления плат методом тонкопленочной технологии
- •2.1. Процессы напыления
- •2.1.1. Термическое вакуумное напыление
- •2.1.2. Резистивное напыление
- •2.1.3. Индукционное напыление
- •2.1.4. Электронно-лучевое напыление
- •2.1.5. Лазерное напыление
- •2.1.6. Электродуговое напыление
- •2.1.7. Распыление ионной бомбардировкой
- •2.1.8. Катодное распыление
- •2.1.9. Магнетронное распыление
- •2.1.10. Высокочастотное распыление
- •2.1.11. Плазмо-ионное распыление в несамостоятельном газовом разряде
- •2.2. Фотолитография
- •Способы экспонирования
- •Методы и технология формирования рисунка интегральных микросхем
- •Глава 3. Материалы, используемые в тонкопленочной технологии
- •Глава 4 Технологическое оборудование для производства изделий методом тонкопленочной технологии
- •Глава 5 Специальная оснастка и инструмент для производства тонкопленочных микросхем. Фотошаблоны и технология их получения
- •Глава 6 Особенности организации участка производства микросхем
- •Глава 7 Безопасность труда в производстве изделий микроэлектроники (2-3 листа)
- •Ниже приведены основные требования и необходимые меры для обеспечения безопасности
- •Список используемой литературы
Список используемой литературы
Т.И. Данилина, «технология тонкопленочных микросхем»
В. Д. Дмитриев, М. Н. Пиганов, С. В. Тюлевин, «технология микросборок специального назначения»
http://www.bestreferat.ru/referat-206018.html
http://www.studfiles.ru/preview/2877370/page:5/
http://otherreferats.allbest.ru/radio/00094120_0.html
http://robvac.com/v_vsm.html
http://www.si-pcb.ru/manufacture.html
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]