МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ

ЧЕРКАСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ ТЕХНОЛОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

Г.В. Канашевич

Технологія вакуумної обробки

Конспект лекцій

Ч еркаси 2016

Перелік умовних позначень

ІО – інтегральна оптика

КПЕ – концентрований потік енергії

МКТ – молекулярно – кінетична теорія

МО – мікрооптика

ПК – персональний комп’ютер

ПШ – поверхневий шар

СІ – міжнародна система одиниць фізичних величин

СЕД – стадія електричної дії

СТВ – стадія теплового впливу

ТП – технологічний перехід

Зміст

Перелік умовних позначень .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 2

1. Будова та агрегатний стан речовини

1.1 Елементарні частинки, атоми та молекули . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6

2. Систематизація хімічних елементів. Взаємодія та види

зв’язку між атомами і молекулами речовини . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7

2. Молекулярно - кінетична та квантова теорія . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

1.3.1 Основні положення молекулярно-кінетичної теорії . . . . . . . . . . . 8

1.3.2 Сили молекулярної взаємодії . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

1.3.3 Потенціальна енергія взаємодії частинок . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

1.3.4 Температура та модель ідеального газу . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

1.3.5 Експериментальні газові закони. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

1.3.6 Ізотермічний процес. Закон Бойля - Маріотта . . . . . . . . . . . . . . . 13

1.3.7 Ізобарний процес. Закон Гей – Люссака . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

1.3.8 Ізохорний процес. Закон Шарля . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14

1.3.9 Рівняння стану ідеального газу . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

1.3.10 Рівняння стану реального газу . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

1.3.11 Середня довжина вільного пробігу молекул газу . . . . . . . . . . . 16

1.3.12 Зв’язок між температурою і середньою кінетичною

енергією часток . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

1.3.13 Середня квадратична швидкість та середня кінетична

енергія теплового руху частинок . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

1.3.14 Основне рівняння молекулярно-кінетичної теорії

ідеального газу . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19

1.3.15 Визначення швидкості молекул газу . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

1.3.16 Квантово-механічна теорія електронів у твердих тілах . . . . . . . 21

2. Конструкційні матеріали і технологічні середовища,

які використовуються у технологіях поверхневої

мікрообробки КПЕ

2.1 Тверді матеріали та їх основні класи . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .24

2.2 Гази . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

2.3 Рідини . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .25

2.4 Плазма . ………. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

2.5 Вакуум та його властивості …... . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

2.6 Фізико – хімічні явища при низькому тиску . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

2.7 Взаємодія заряджених частинок з твердими тілами . . . . . . . . . . . . . . . . .29