- •5.9.1. Увеличение проводимости базы
- •5.9.2. Диффузионное поле и дрейфовые токи ннз
- •5.9.3. Изменение времени жизни в базе
- •5.9.4. Амбиполярные подвижность и коэффициент диффузии, рассеяние носителей друг на друге
- •Амбиполярные коэффициент диффузии и подвижность
- •Рассеяние носителей друг на друге
- •5.9.5. Ослабление потенциальной зависимости тока через p-n переход
- •Снижение эффективности несимметричного p-n перехода
- •Изменение температурной зависимости прямого падения напряжения
- •5.10. Суммарный ток p-n перехода
- •5.11. Реактивные свойства p-n переходов
- •5.11.1. Зарядная емкость p-n перехода
- •5.11.2. Диффузионная емкость p-n переходов
- •5.11.3. P-n переход на малом переменном сигнале
- •5.11.4. Индуктивность p-n перехода
- •5.12. Пробой p-n перехода
- •5.12.1. Тепловой пробой
- •5.12.2. Лавинный пробой
- •Критерии развития лавинного пробоя
- •Обратный ток в режиме лавинного пробоя
- •Зависимость напряжения пробоя от концентрации или градиента концентрации примеси
- •Температурная зависимость напряжения пробоя
- •Расчёт напряжения лавинного пробоя p-n перехода при произвольном профиле легирования
- •5.12.3. Туннельный пробой
- •5.12.4. Инжекционный или токовый пробой
- •5.12.5. Влияние конструкции и структурных несовершенств p-n перехода на лавинный пробой
- •Напряжение пробоя планарного p-n перехода
- •Планарный p-n переход с неравномерно легированной базой
- •Поверхностный пробой
- •Влияние структурных несовершенств, микроплазменный пробой
- •5.12.6. Пути повышения пробивного напряжения p-n перехода
- •Конструкторско-топологические методы
- •Меза – структура
- •Планарный p-n переход с полевой обкладкой
- •Охранное кольцо планарного p-n перехода и барьера Шоттки
- •Делительные кольца планарных p-n переходов
- •Объёмные делительные слои одс
- •Структуры с тонкими слоями противоположной проводимости в базе
- •Технологические методы повышения лавинного пробоя
- •1 Нейтронное легирование кремния
- •2 Геттерирование быстродиффундирующих примесей (бдп)
- •3 Стабилизация поверхностного заряда и защита поверхности
- •5.13. Гетеропереходы
- •Контрольные вопросы
5.12.2. Лавинный пробой
Это обратимый неразрушающий вид пробоя, который используется в качестве рабочего механизма ряда полупроводниковых приборов: стабилитроны, лавинно-пролётные диоды, лавинный фотодиод и другие.
Инициирующим механизмом, приводящим к резкому возрастанию концентрации подвижных носителей, а, следовательно, обратного тока, является ударная ионизация в ОПЗ p-n перехода. Этот вид пробоя ограничивает допустимые значения напряжения в большинстве полупроводниковых приборов.
Критерии развития лавинного пробоя
Для вычисления напряжения лавинного пробоя существуют два критерия: условие ионизационного интеграла, обеспечивающего бесконечный коэффициент лавинного размножения, и условие критической (пороговой) напряжённости поля в ОПЗ.
Если напряжённость поля в ОПЗ p-n
перехода при подаче обратного смещения
превысит некоторое критическое значение
,
то носители, ускоряясь в этом поле, на
определённом пути будут набирать энергию
Еi ≈ 2,5 ∆Еg
, достаточную для ионизации атомов
полупроводника за счёт соударения. В
p-n
переходе начнёт развиваться процесс
ударной ионизации. При каждом акте
ударной ионизации горячий электрон или
дырка выбивает у атома полупроводника
валентный электрон. На энергетической
диаграмме полупроводника этому акту
соответствует переход электрона из
валентной зоны в зону проводимости, то
есть в результате соударения горячего
носителя с атомом образуется пара
свободных носителей – электрон и дырка.
Теперь уже три носителя заряда будут
принимать участие в ударной ионизации
(рисунок 5.65), и в следующем акте
ударной ионизации каждый из них породит
электронно-дырочную пару. Концентрация
носителей заряда по мере пролёта
электрона от точки x = 0 до x = δ
будет лавинообразно нарастать, что
вызовет резкий рост обратного тока.
Одной из основных характеристик процесса ударной ионизации является коэффициент ударной ионизации αi , который равен числу пар электрон – дырка, создаваемых одним носителем заряда на единице длины пути в направлении поля. Выразим через αi коэффициент умножения носителей заряда в p-n переходе при развитии лавинного пробоя:
,
где n(0) – концентрация электронов, входящих в ОПЗ в точке x = 0 при обратном смещении, а n(δ) – выходящих в точке x = δ (рисунок 5.65). Аналогично, р(δ) концентрация дырок, входящих в ОПЗ в точке x = δ, а р(0) – выходящих в точке x = 0.
П
ри
рассмотрении поставленной задачи
пренебрегаем процессами тепловой
генерации и рекомбинации носителей
заряда в ОПЗ и для простоты выкладок
будем считать, что коэффициент ударной
ионизации электронов αn
равняется коэффициенту ударной ионизации
дырок αр.
Рисунок 5.65 - Схема
развития лавинного пробоя
Последнее положение хорошо выполняется для арсенида галлия и фосфида галлия. Для германия и кремния αр ≠ αn , но при любой ε: αр = βи∙αn , где βи – постоянная. Начальное количество n(0) электронов на пути x создадут ещё n1 электронов, и к слою шириной dx (рисунок 5.65) слева подойдёт n(0) + n1 электронов. Эти же электроны на пути от x + dx до δ создадут ещё n2 электронно – дырочных пар (числом носителей, созданных в бесконечно тонком слое dx, можно пренебречь). Причём электроны уйдут в n-область, а n2 дырок подойдут к слою dx справа. Следовательно, для концентрации электронов, созданных в слое dx электронами и дырками, можно записать:
,
(5.101)
где n(δ) = n(0) + n1 + n2 – концентрация электронов, подходящих к точке x = δ. Интегрируя (5.101) от 0 до δ, получим:
.
(5.102)
Коэффициент ударной ионизации является функцией ε, но ε, в свою очередь, зависит от x, поэтому αi нельзя выносить из-под знака интеграла.
Поделив все члены выражения (5.102) на n(δ), будем иметь:
.
Отсюда
.
(5.103)
Пробой p-n перехода наступит при таком значении обратного напряжения, при котором М → ∞. В этом случае обратный ток через p-n переход также устремится к бесконечности. Действительно, при развитии лавинного пробоя выражение для обратного тока по диодной теории (5.92) следует переписать так:
,
где n(δ) = M∙np, а p(0) = M∙pn. Здесь учитывается размножение неосновных носителей заряда, экстрагированных из p- и n- областей, при прохождении через ОПЗ. С учётом этого:
jобр = M∙js . (5.104)
Исходя из (5.103), критерий развития лавинного пробоя можно записать ещё в такой форме:
.
(5.105)
