- •Содержание конспекта лекций
- •Введение
- •Тема №1: Основные законы теории твердого тела лекция №1: особенности строения твердых тел
- •1 Краткая историческая справка
- •2 Классификация твердых тел по проводимости
- •3 Понятие ковалентной связи
- •Лекция №2: Основы зонной теории твердого тела
- •1 Энергетические диаграммы уединенного атома и твердых тел
- •2 Обобщение некоторых выводов зонной теории для объяснения электропроводности и классификации твердых тел
- •3 Электроны в твердом теле
- •1 Структура полупроводников
- •2 Дефекты кристаллической решетки
- •3 Поверхность кристалла
- •Тема №2: Основы теории полупроводников Лекция №4: Электрофизические свойства полупроводников
- •1 Электроны и дырки в кристаллической решетке полупроводника
- •2 Собственные и примесные полупроводники
- •3 Носители заряда и их распределение в зонах проводимости
- •1 Рекомбинация носителей заряда
- •2 Законы движения носителей заряда в полупроводниках
- •Лекция №6: Эффект внешнего поля
- •1 Общие сведения об эффекте поля
- •2 Эффект поля в собственном полупроводнике
- •3 Эффект поля в примесном полупроводнике
- •1 Структура p-n-перехода
- •2 Равновесное состояние p-n-перехода
- •3 Неравновесное состояние p-n-перехода
- •4 Вольт-амперная характеристика p-n-перехода
- •1 Контакты полупроводник—металл
- •2 Граница полупроводник—диэлектрик
- •3 Гетеропереходы
- •1 Барьерная емкость электронно-дырочного перехода
- •1.1 Барьерная емкость как проявление токов смещения
- •1.2 Общее соотношение для барьерной емкости электронно-дырочного перехода
- •1.3 Частные соотношения для барьерной емкости различных электронно-дырочных переходов
- •1.4 Ширина области объемного заряда. Зарядная емкость перехода
- •2 Диффузионная емкость
- •1 Туннельный (зенеровский) пробой
- •2 Лавинный пробой
- •3 Тепловой пробой
- •3.1 Вах с учетом тепловыдепения в p-n-переходе
- •3.2 Расчет пробивного напряжения при тепловом пробое
- •3.3 Особенности теплового пробоя в реальных диодах
- •4 Поверхностный пробой
- •1 Поглощение света
- •2 Фоторезистивный эффект
- •3 Люминесценция полупроводников
- •1 Э.Д.С., возникающая в полупроводнике при его освещении
- •1.1 Воздействие света на p-n-переход
- •1.2 Основные характеристики и параметры
- •2 Спонтанное и индуцированное излучение
- •1 Эффекты Пельтье и Зеебека
- •2 Гальваномагнитный эффект Холла
- •1. Работа выхода
- •1.1 Электроны в металле
- •1.2 Выход электронов из металла
- •2 Виды электронной эмиссии
- •2.1 Термоэлектронная эмиссия
- •2.2 Электростатическая электронная эмиссия
- •2.3 Вторичная электронная эмиссия
- •2.4 Электронная эмиссия под ударами тяжелых частиц
- •1 Электрические явления в газе, понятие о плазме
- •2 Рис.5.12 Схема для снятия вольтамперной характеристики ионного прибора Вольтамперная характеристика газового разряда
3 Электроны в твердом теле
Если в энергетической зоне электронов меньше, чем требуется для ее заполнения, то они занимают уровни, начиная от «дна» зоны снизу вверх.
Волновая природа электронов позволяет им беспрепятственно двигаться в идеально упорядоченной кристаллической решетке. Этого нельзя было бы объяснить, если бы электрон обладал только корпускулярными свойствами, так как заряженная частица, движущаяся в сильном электрическом поле кристалла, должна была бы испытывать большие отклонения при прохождении мимо каждого атома. Однако беспрепятственное движение электронов в идеальном кристалле не создает в нем тока при отсутствии внешнего электрического поля, что объясняется равновероятным движением носителей во всех направлениях. Нарушение этого симметричного движения внешним полем обусловливает электрический ток.
Сопротивление току определяется рассеянием носителей заряда на дефектах решетки кристалла, вызываемых тепловыми колебаниями атомов, всевозможными геометрическими нарушениями и примесями посторонних элементов. Энергия, накопленная носителем заряда на длине свободного пробега под воздействием электрического поля, передается решетке в виде тепла.
Выводы по лекции
1) в уединенном атоме электроны, вращающиеся вокруг ядра, обладают энергией, которая тем больше, чем больше радиус орбиты;
2) допустимые значения энергии электронов в атоме дискретны, т.е. электроны могут двигаться не по любым, а только по определенным орбитам – разрешенным, каждой из которых соответствует вполне определенная энергия электрона. Возможные значения этой энергии называются разрешенными энергетическими уровнями. На каждом энергетическом уровне может находиться не более 2-х электронов (с разными направлениями спинов);
3) электроны могут переходить с одного энергетического уровня на другой, если этот уровень свободен.
4) в твердом теле в результате взаимодействия атомов каждый из возможных энергетических уровней уединенного атома расщепляется, образуя зоны уровней. Из разрешенных энергетических уровней образуются разрешенные энергетические зоны. Этих зон столько, сколько разрешенных энергетических уровней в атоме.
5) разрешенные зоны отделены друг от друга промежутками – запрещенными зонами, где электроны находиться не могут.
В полупроводниках могут иметь место два механизма проводимости:
за счет движения свободных электронов в зоне проводимости;
за счет движения валентных электронов в валентной зоне.
Сопротивление току определяется рассеянием носителей заряда на дефектах решетки кристалла, вызываемых тепловыми колебаниями атомов, всевозможными геометрическими нарушениями и примесями посторонних элементов.
ЛЕКЦИЯ №3: Основы теории твердого тела
1 Структура полупроводников
Кристаллическая решетка. Независимо от природы сил, возникающих при сближении частиц, общий характер их остается одинаковым (рис. 1.7, а): на относительно больших расстояниях появляются силы притяжения Fп, быстро увеличивающиеся с уменьшением расстояния r между частицами (кривая 1), на малых расстояниях возникают силы отталкивания Fот, которые с уменьшением r увеличиваются значительно быстрее, чем Fп (кривая 2). На расстоянии r=r0 силы отталкивания уравновешивают силы притяжения и результирующая сила взаимодействия F обращается в нуль (кривая 3), а энергия взаимодействия достигает минимального значения U (рис. 1.7, б).
Поэтому состояние частиц, сближенных на расстояние r0, является состоянием устойчивого равновесия, вследствие чего частицы, предоставленные самим себе, должны выстраиваться в строгом порядке на расстоянии r0 друг от друга, образуя тело с правильной внутренней структурой — кристалл. |
Рис.1.7. |
Такая структура будет сохраняться до тех пор, пока энергия связи остается выше по абсолютному значению энергии теплового движения частиц. Частицы кристалла не могут свободно покидать свои положения равновесия, так как при удалении от этих положений энергия частиц увеличивается и появляются силы, стремящиеся вернуть их в положения равновесия. Частицы как бы закреплены в положениях равновесия. Единственной доступной формой движения для них является беспорядочное колебание около положений равновесия.
Для описания правильной внутренней структуры кристаллов удобно пользоваться понятием кристаллической решетки. Различают трансляционные решетки Бравэ и решетки с базисом.
Решетки Бравэ. С геометрической точки зрения, правильное периодически повторяющееся размещение частиц в кристалле можно описать с помощью операции параллельного перемещения, или трансляции. На рис. 1.8,а показана решетка, полученная трансляцией частицы вдоль трех осей: ОХ на отрезки а, 2а, За, .... ma, ОУ на отрезки b, 2b, Зb, .... nb, ...; OZ на отрезки с, 2с, 3с,.... рс, (m,n,p—целые числа). Положение любой частицы в такой решетке определяется вектором
(1.8)
Векторы, а, b, с называются наименьшими векторами трансляции, а численные их величины — периодами трансляции.
Решетка, построенная путем параллельного переноса (трансляции) какого-либо узла по трем направлениям, называется трансляционной решеткой, или решеткой Бравэ
Наименьший
параллелепипед, построенный на
векторах а,b,с,
называют элементарной
ячейкой
кристалла (рис. 1.8,б).
Все элементарные ячейки, составляющие
решетку, имеют одинаковые форму и объем.
Во всех вершинах ячеек располагаются
одинаковые атомы или группы атомов.
Поэтому все
вершины ячеек эквивалентны друг другу.
Их называют узлами
решетки.
Для
характеристики элементарной ячейки
необходимо задать в общем случае шесть
величин: три ребра
ячейки (а, b,
с) и три угла
между ними
.
Эти величины называются параметрами
элементарной ячейки.
Рис.1.8.
За единицу измерения длины в решетках принимается не метр, а отрезки а, Ь, с. Их называют осевыми единицами.
Элементарные ячейки, содержащие частицы только в вершинах, называют простыми, или примитивными. На каждую такую ячейку приходится одна частица.
В ряде случаев для достижения более полного выражения симметрии решетки элементарные ячейки строят таким образом, что они содержат частицы не только в вершинах, но и в других точках. Такие ячейки называют сложными. Наиболее распространенными из них являются (рис.19):
а)-базоцентрированные (БЦ), б)-объемноцентрированные (ОЦ), в)-гранецентрированные (ГЦ). |
Рис.1.9 |
Решетки с базисом. Не всякую решетку можно получить трансляцией одного узла.
Решетку общего типа называют решеткой с базисом. Ее можно построить с помощью тех же трансляций, что и каждую из составляющих решеток Бравэ, только при этом надо транслировать не один узел, а несколько узлов — базис, задаваемый совокупностью базисных векторов. |
Рис.1.10 |
В качестве примера трехмерной решетки с базисом на рис.1.10,а показана решетка алмаза. Ее можно образовать двумя вставленными одна в другую ГЦ-решетками, смещенными по пространственной диагонали на 1/4 диагонали.
На рис. 1.10,б приведена элементарная ячейка решетки алмаза, выделенная на рис. 1.10,а пунктиром.
Индексы узлов (индексы Миллера узлов). Положение любого узла решетки относительно выбранного начала координат определяется заданием трех его координат (рис.1.11): х, у, z. Эти координаты можно выразить следующим образом:
(1.9)
где а, b, с — параметры решетки; m,n,p — целые числа.
Если за единицу измерения длин вдоль осей решетки принять параметры решетки, то координатами узла будут просто числа m,n,p. Эти числа называются индексами узла и записываются так: [[mnp]]. Для отрицательного индекса знак минус ставится над индексом. |
Рис.1.11 |
Например,
для узла с координатами х
= —2а, у = —1b,
z=3с
индексы записывают в следующем виде:
.
Индексы направления (индексы Миллера направления). Для описания направления в кристалле выбирается прямая, проходящая через начало координат. Ее положение однозначно определяется индексами [[mnp]] первого узла, через который она проходит (рис. 1.11).
Индексы направления обозначают так: [mnp].
Индексы направления представляют собой три наименьших целых числа, характеризующих положение ближайшего узла, лежащего на данном направлении.
Так, индексами направления, проходящего через качало координат и узел [[435]], являются [435].
Рис.1.12
Кристаллографические плоскости (индексы Миллера плоскости). Положение кристаллографической плоскости определяется заданием трех отрезков А, В, С, которые она отсекает на осях решетки.
Выражают отрезки А, В, С в осевых единицах и записывают величины, обратные этим отрезкам: 1/А, 1/В, 1/С. Полученные дроби приводят к общему знаменателю. Пусть таковым будет число D. Целые числа h=D/A, k=D/B, l=D/C и являются индексами плоскости. Они записываются так: (hkl).
Определим, например, индексы плоскости, отсекающей на осях отрезки А =1/2, Б=2, С= 1/3.
Отношения
Общий знаменатель D = 2. Индексами плоскости являются:
,
,
.
Плоскость обозначают (416).
На рис. 2,а показаны кристаллографические плоскости и соответствующие им индексы Миллера. Цифра 1 означает, что соответствующая плоскость проходит через точку соответствующей оси с единичной координатой. Цифра 0 означает, что кристаллографическая плоскость параллельна данной оси координат.
На рис. 1.13 показаны кристаллографические плоскости и соответствующие им индексы Миллера применительно к простейшей кубической решетке. Цифра 1 означает, что соответствующая плоскость проходит через точку соответствующей оси с единичной координатой. Цифра 0 означает, что кристаллографическая плоскость параллельна данной оси координат.
Рис.1.13
Рис. 1.14.
а — кристаллографические плоскости:
б — расположение атомов в кристаллографических плоскостях
Каждой кристаллографической плоскости свойственна своя плотность атомов на единицу площади. Например, если «посмотреть» на кристалл с кубической решеткой перпендикулярно плоскостям (100), (110) и (111), то расположение атомов в поле зрения будет таким, как показано на рис. 1.14, б (для ясности узловые атомы пронумерованы). Наибольшая плотность атомов соответствует плоскости (111), наименьшая — плоскости (100). У кремния плоскость (111) является плоскостью спайности: по ней, как правило, распространяются трещины, и происходит раскалывание кристалла.
Для разных кристаллографических плоскостей оказываются разными многие свойства и параметры кристалла: оптически свойства, скорость травления и др. Поэтому пластины для изготовления ИС шлифуют точно по заранее заданной кристаллографической плоскости.
