37. Загальна класифікація методів нанесення покриттів; поняття процесів осадження плівок і покритів.

Бывают:

1)Твёрдофазные

- методы порошковой металлургии

- электроимпульсное припекание

- магнитоимпульсное припекание

- вибрационоимпульсное припекание

- самораспостраняющийся высокотемпературный синтез

- плакирование (взрывное, прокаткой, выдавливанием)

- контактная наварка

- наварка трением

2)Жидкофазные

- методы линейной технологии (литьё, пропитка)

- напайка (высокотемпературная, низкотемпературная)

- наплавка (дуговая, газопламенная, плазменная, электрошлаковая, индукционная)

3)процессы осаждения и напыления

- осаждение из растворов (элекрохимические, химические, элекрофоритические)

- осаждение из газовой (паровой) фазы PVD, химическое осаждение CVD и ионная имплантация

- газотермическое напыление (газопламенное, дуговое, детонационное, плазменное (высокочастотное и плазменодуговое))

Осаждение – группа способов нанесения покрытий, при которых покрытие и его связь с основанием создаётся осаждением частиц на атомно-молекулярном уровне.

Процесс проходит в 3 стадии: сближение (адсорбция), сорбция, хемосорбция.

Осаждение осуществляется из твёрдой, жидкой и паровой фазы.

Осаждаемая фаза конденсируется в кристаллическом, жидком или аморфном состояниях.

38. Класифікація методів нанесення покриттів за станом матеріалу, що наноситься на поверхню твердого тіла.

1 группа Атомное (ионное) состояние.

- вакуумное испарение

- ионоплазменное распыление

- осаждение с паровой фазы

- осаждение с электролитов

2 группа Макрочастицы

- газотермическое напыление

- окрашивание

- электрофарез

3 группа массивный материал

- наплавка

- взрывная прокатка

- гарячее окунание

- окрашивание кистью

4 группа

Модефикация структуры поверхности

- лазерная модификация

- термообработка ( азотирование …)

- ионная имплантация

39. Фізичне і хімічне осадження із парової фази; стадії процесу осадження плівок і покриттів.

PVD (Physical Vapour Deposition) Отечественная терминология – ВКНП – вакуумное конденсационное нанесение покрытий.

Термин описывает 3 способа нанесения покрытий: испарение, распыление, ионное осаждение. Процесс осаждения протекает в несколько стадий. 1.Подготовка осаждаемого иатериала.

- переход от материалов в конденсированное состояние (твёрдая или жидкая фаза) к материалу в паровой фазе;

- при осаждении соединения проведение реакции между компонентами, некоторые из которых могут быть введены в камеру в виде газов или паров (синтез). 2.Формирование потока и перенос паров источником и подложкой.

3.Конденсация паров на подложке, приводящая к зарождению и росту плёнки, формированию покрытия.

Формирование покрытия при PVD осуществляется из потока частиц, находящихся в атомарном, молекулярном или ионизированном состояниях. Каждая из стадий в процессе нанесения покрытия методом PVD может контролироваться независимо от остальных, в чём заключается преимущество над CVD.

Для получения качественных покрытий необходимо гибкое управление этими процессами посредством создания оптимальных режимов их протекания.

Две первые стадии определяют третью стадию. Это следует из анализа скорости осаждения покрытия.

Для точечного источника испарения или расрыления :

S рас << L

Общими параметрами процесса есть: скорость и площадь распыления, направление потока относительно поверхности напыления, дистанция.