4. Рассчитаем длительность откачки высоковакуумной системы в молекулярно – вязкостном режиме течения газов (от 18,8 до 0,57 Па)

4.1 Определяем среднее давление в системе

, где

Па

2. Определяем проводимость элементов высоковакуумной системы в молекулярно – вязкостном режиме

, где

Z – эмпирический коэффициент для воздуха при Т=293К

, где D – диаметр трубопровода, м

- среднее давление в трубопроводе, Па

Проводимость затвора (поз. 5), клапана (поз. 11) и ловушек (поз. 7,15) берем из каталога. Проводимость переходников (поз.6,8), трубопровода (поз.10) и тройника (поз.14) рассчитываем по формуле:

, где

К – коэффициент Клаузинга, представляющий собой вероятность

_{прохождения молекул газа от входного сечения рассматриваемого элемента трубопровода до выходного. (Приложение 4)}

_{Затвор (поз. 5)}

м³/c

_{Переходник (поз. 6)}

Т.к. , следовательно, из таблицы K=0,67

м³/c

м³/c

Азотная ловушка (поз. 7)

м³/c

_{Переходник (поз. 8)}

Т.к. , следовательно, из таблицы K=0,61

м³/c

м³/c

Вакуумный шланг ( поз. 10)

Т.к. , следовательно, из таблицы K=0,06

м³/c

м³/c

Клапан (поз. 11)

м³/c

Тройник (поз. 14)

Т.к. , следовательно, из таблицы K=0,19

м³/c

м³/c

Водоохл. ловушка (поз.15)

м³/c

Проводимость входного и выходного фланцев высоковакуумного насоса в молекулярном режиме рассчитываем по формуле:

, где F – площадь входного сечения трубопровода, м²

м³/c

м³/c

м³/c

м³/c

Определяем общую проводимость для молекулярно-вязкостного режима:

м³/c

4.3. Рассчитаем эффективную быстроту откачки камеры через высоковакуумную систему, при этом учитывая изменение быстроты действия насоса S_н при давлении (по кривой откачки) - S′_н

м³/c

м³/c

4.4. Рассчитаем длительность откачки высоковакуумной системы откачки в молекулярно – вязкостном режиме течения газов с учетом газовыделения

,где ;

5. Суммарная длительность откачки высоковакуумной камеры механическим насосом составит

Сводная таблица расчетов высоковакуумной системы откачки

№	Название элемента	Размеры		V, м3		Uв, м3/с		Uмв,м3/с		t,c
		D, мм	L, мм							режимы
										турб	вязк.	молек-вязк.
5	Затвор	250	80		0,00393		26		26		36,8	14,54	54,26
6	Переходник	200х250	102		0,0032		768		773,3
7	Азотная ловушка	200	260		0,00817		2		2
8	Переходник	160х200	102		0,00205		314,573		316,974
9	Турбонасос	160	334		0,00672		4,021		5,91
		25					0,098		0,144
10	Вак. шланг	25	508		0,00025		0,0376		0,0378
11	Клапан	25	132		0,000065		0,0035		0,0035
14	Тройник	25	0,133		0,000068		0,144		0,146
15	Водоохл. ловушка	225	25		0,00011		7		7
Общее	-	-	-		0,0246		0,00303		0,00306		105,6