2. Рассчитаем длительность откачки при турбулентном режиме течении газов (от атмосферного давления до 53,2 Па)

При этом S_н=const для механического насоса, а проводимость трубопровода гораздо больше быстроты действия насоса, и газовыделения в системе не учитываются:

Q′_Σ=0 м³·Па/c

1. Рассчитаем откачиваемый объем высоковакуумной системы

, где

V₅ – объем затвора

V₆ – объем переходника

V₇ – объем азотной ловушки

V₈ – объем переходника

V₉ – объем турбонасоса

V₁₀ – объем вакуумного шланга

V₁₁ – объем клапана

V₁₄ – объем тройника

V₁₅ – объем водоохлаждаемой ловушки

Суммарный объем:

2.2 Определяем длительность откачки

, где

n – показатель политропы (P.S. Политропным процессом называется термодинамический процесс, в котором удельная теплоемкость с газа постоянна. Величина называется показателем политропы)

Так как Q′_Σ=0, то , где

n=1,2 (для воздуха), ,

3. Рассчитаем длительность откачки высоковакуумной системы в вязкостном режиме течения газов (от 53,2 до 18,8 Па)

1. Определяем среднее давление в системе

, где

Па

1. Определяем проводимость элементов высоковакуумной системы в вязкостном режиме

Проводимость затвора (поз. 5), клапана (поз. 11) и ловушек (поз. 7,15) берем из каталога. Проводимость переходников (поз.6,8) трубопровода (поз.10) и тройника (поз.14) рассчитываем по формуле: _.

Затвор (поз. 5)

м³/c

Переходник (поз. 6)

м³/c

_{Азотная ловушка (поз. 7)}

м³/c

Переходник (поз. 8)

м³/c

_{Вакуумный шланг (поз. 10)}

м³/c

Клапан (поз.11)

м³/c

Тройник (поз. 14)

м³/c

Водоохл. ловушка (поз. 15)

м³/c

Проводимость входного и выходного фланцев высоковакуумного насоса (диффузионного или турбомолекулярного) рассчитываем по формуле:

, где F – площадь входного сечения трубопровода

м³/c

м³/c

Определяем общую проводимость для вязкостного режима:

м³/c

3. Рассчитаем эффективную быстроту откачки камеры через высоковакуумную систему механическим насосом

;

м³/c

1. Рассчитаем длительность откачки высоковакуумной системы в вязкостном режиме (Q′_Σ=0– газовыделение не учитывается)

, где