5. Суммарная длительность откачки вакуумной камеры через форвакуумную байпасную систему составит

Сводная таблица расчетов форвакуумной (байпасной) системы откачки (с турбомолекулярным насосом)

№	Название элемента	Размеры		V, м3		Uв, м3/с		Uмв,м3/с		t,c
		D, мм	L, мм							режимы
										турб.	вязк.	молек.-вязк.
1	Вак. камера	250	500		0,2		-		-		366,47	142,37	533,695
2	Патрубок	250	500		0,0245		382,5		383,6
3	Колено	250	749		0,0204		255,34		255,912
4	Переходник	-	-		-		-		-
12	Вак. шланг	25	508		0,00025		0,0376		0,0378
13	Клапан	25	132		0,000065		0,0035		0,0035
14	Тройник	25	133		0,000068		0,144		0,146
15	Водоохл. ловушка	25	225		0,00011		7		7
Общее	-	-	-		0,245		3,131·10-3		3,133·10-3		1042,535

Расчет высоковакуумной системы откачки

1. Определяем границы режимов течения газа в форвакуумной системе

1. Турбулентно-вязкостный режим

, где D – наименьший диаметр вакуумного трубопровода в системе от 10⁵ Па до р_турб.

Следовательно, турбулентный режим будет при давлении 10⁵ – 53,2 Па

1.2. Вязкостный и молекулярно – вязкостный режим

- коэффициент Кнудсена

- вязкостный режим

(от р_турб до р_в)

3. Молекулярно-вязкостный и молекулярный режим

молекулярно – вязкостный режим (от до )

Следовательно, молекулярно-вязкостный режим будет при давлении

18,8 – 0,57 Па