- •«Расчет вакуумной системы установки для нанесения оптических покрытий» Вариант №36
- •Основные элементы вакуумной системы:
- •1.Проектный расчёт
- •Исходя из заданного рабочего давления p, потока газа q∑’ и объема камеры V определяем типы насосов, которые обеспечивают окончательную откачку рабочего объема.
- •Выбираем конкретный типоразмер насоса из расчета, определяя его быстроту действия.
- •Производим выбор форвакуумного насоса по быстроте откачки высоковакуумного насоса.
- •Рассчитываем время предварительной откачки системы без учёта натекания системы.
- •2. Поверочный расчёт расчет форвакуумной (байпасной) системы откачки
- •Определяем границы режимов течения газа в форвакуумной системе
- •2. Рассчитаем длительность откачки при турбулентном режиме течении газов (от атмосферного давления до 53,2 Па)
- •3. Рассчитаем длительность откачки форвакуумной (байпасной) системы в вязкостном режиме течения газов (от 53,2 до 18,8 Па)
- •4. Рассчитаем длительность откачки форвакуумной (байпасной) системы в молекулярно – вязкостном режиме течения газов (от 18,8 до 0,57 Па)
- •Суммарная длительность откачки вакуумной камеры через форвакуумную байпасную систему составит
- •Расчет высоковакуумной системы откачки
- •Определяем границы режимов течения газа в форвакуумной системе
- •2. Рассчитаем длительность откачки при турбулентном режиме течении газов (от атмосферного давления до 53,2 Па)
- •3. Рассчитаем длительность откачки высоковакуумной системы в вязкостном режиме течения газов (от 53,2 до 18,8 Па)
- •4. Рассчитаем длительность откачки высоковакуумной системы в молекулярно – вязкостном режиме течения газов (от 18,8 до 0,57 Па)
- •5. Суммарная длительность откачки высоковакуумной камеры механическим насосом составит
- •Расчет откачки вакуумной камеры высоковакуумным насосом
- •1. Определяем границы режимов течения газов
- •2. Определяем объем системы, откачиваемый высоковакуумным насосом
- •3. Определяем проводимость элементов в молекулярном режиме
- •4. Определяем необходимое рабочее давление на входе высоковакуумного насоса
- •5. Определяем длительность откачки вакуумной камеры высоковакуумным насосом в молекулярном режиме
- •6. Рассчитываем длительность откачки высоковакуумной системы в молекулярно – вязкостном режиме течения газов
- •Принцип действия вакуумной системы
Производим выбор форвакуумного насоса по быстроте откачки высоковакуумного насоса.
Марка турбомолекулярного насоса: V700НТ
Требуемая быстрота действия предварительного насоса: 0,00575 м3/c
Для создания предварительного вакуума выбираем механический насос
марки: SD-450
Быстрота действия насоса: 0,0057 м3/c
В диапазоне давлений: 105–300 Па
Предельное остаточное давление насоса: 0,4 Па
Фланец входного патрубка,
номинальный диаметр: 25 мм
Рассчитываем время предварительной откачки системы без учёта натекания системы.
Для насоса SD-450:
м3/c
c
Для насоса V700НТ:
м3/c
c
c
мин
2. Поверочный расчёт расчет форвакуумной (байпасной) системы откачки
Определяем границы режимов течения газа в форвакуумной системе
Турбулентно-вязкостный режим
,
где D
– наименьший диаметр вакуумного
трубопровода в системе от 105
Па до ртурб.
Следовательно, турбулентный режим будет при давлении 105 – 53,2 Па
1.2. Вязкостный и молекулярно – вязкостный режим
-
коэффициент Кнудсена
- вязкостный режим
(от ртурб
до рв)
Следовательно, вязкостный режим будет при давлении 53,2 – 18,8 Па
Молекулярно-вязкостный и молекулярный режим
молекулярно –
вязкостный режим (от
до
)
Следовательно, молекулярно-вязкостный режим будет при давлении
18,8 – 0,57 Па
