МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

ПРИБОРОСТРОЕНИЯ И ИНФОРМАТИКИ

Кафедра «Инновационные технологии в приборостроении, микро- и оптоэлектронике»

Дисциплина: «Оптические покрытия»

ДОМАШНЯЯ РАБОТА

На тему:

«Расчет вакуумной системы установки для нанесения оптических покрытий» Вариант №36

Работу выполнил: Чемоданов М.А.

Курс: 3

Специальность: 200400

Преподаватель: Гриднева Г.Н.

МОСКВА

2015 г.

Данные для варианта № 34:

1. Система откачки: безмаслянная;

2. Объем камеры: V=200 л;

3. Материал подложек: Х18Н10Т;

4. Количество деталей : 32;

5. Рабочее давление: Р=6·10^-4 Па;

6. Время достижения заданного давления: t=3600c.

7. Поток газа: Q_∑^’=1,3·10^-5 м³·Па/с

Основные элементы вакуумной системы:

№	Название элемента	Его основные параметры
1	Вакуумная камера	V=200 л. L1=500 мм; D1=250 мм
	Патрубок	L = 500 мм; D =250мм
2	Колено	L3=208 мм; D3=250 мм
3	Затвор	Модель VGA 250 L5=80 мм; D5=250 мм; U5=26 м3/c
4	Переходник	Переходник 200х250
5	Азотная ловушка	Модель 362-6 L7=260 мм; D7=200 мм U7=2 м3/c
6	Переходник	Переходник 160х200
7	Турбонасос	Модель V700HT L9=243 мм; D9’=25 мм; D9”=200 мм Быстрота действия в рабочем диапазоне давлений: 0,69 м3/c Предельное остаточное давление: 2·10-8 Па
8	Вакуумный шланг	L10=508 мм; D10=25 мм
9	Клапан	Клапан ЕМВ 25 L11=132 мм; D11=25 мм U11=0,0035 м3/c
10	Вакуумный шланг	L12=508 мм; D12=25 мм
11	Клапан	Клапан ЕМВ 25 L13=132 мм; D13=25 мм U13=0,0035 м3/c
12	Тройник	L14=50,04 мм; L14’=100,08 мм; D14=25 мм
13	Водоохл. ловушка	L15=225 мм; D15=25 мм U15=7 м3/c
14	Механический насос	Модель SD-450 D16=25 мм Быстрота действия: 0,00575 м3/c Предельное остаточное давление насоса: 0,4 Па

1.Проектный расчёт

1. Исходя из заданного рабочего давления p, потока газа q∑’ и объема камеры V определяем типы насосов, которые обеспечивают окончательную откачку рабочего объема.

2. Выбираем конкретный типоразмер насоса из расчета, определяя его быстроту действия.

Q_∑^’ = 1,3·10^-5 м³·Па/c

Р = 6·10^-4 Па

_, где

S_н – быстрота действия насоса;

S₀ – эффективная быстрота откачки камеры;

– коэффициент использования насоса.

= =0,0216 м³/c

= 2 (для молекулярных и диффузионных насосов)

= 2·0,0216 = 0,0432 м³/c