- •Содержание
- •Введение
- •Первый раздел принципы построения, точность, достоинства и недостатки измерительных преобразователей
- •1 Общие свойства, структура и погрешности измерительных преобразователей
- •1.1 Измерения и измерительная информация. Основные понятия
- •1.2 Краткая классификация погрешностей ип
- •1.3 Методы измерительных преобразований
- •2 Резистивные преобразователи
- •2.1 Контактные преобразователи длины
- •2.1.1 Преобразователи давления контактного сопротивления
- •2.2 Реостатные преобразователи длины и угла
- •2.3 Тензорезисторы
- •2.4 Магниторезисторы
- •2.5 Варисторы и позисторы
- •3 Электростатические преобразователи
- •3.1 Пьезоэлектрические преобразователи
- •3.1.1 Пьезоэлектрические преобразователи прямого пьезоэффекта
- •3.1.2 Термочувствительные пьезорезонансные преобразователи
- •3.2 Емкостные преобразователи
- •3.2.1 Динамический конденсатор, или емкостной вибрационный преобразователь
- •3.2.2 Варикапы и вариконды
- •4 Электромагнитные преобразователи
- •4.1 Индуктивные преобразователи
- •4.1.1 Дифференциальные индуктивные преобразователи
- •4.2 Трансформаторные преобразователи
- •4.2.1 Дифференциальные трансформаторные преобразователи
- •4.3 Вихретоковые индуктивные преобразователи
- •4.4 Магнитоупругие преобразователи
- •4. 5 Индукционные преобразователи
- •4.6 Магнитомодуляционные преобразователи
- •4.7 Преобразователи на основе Баркгаузена
- •4.8 Радиоволновые преобразователи
- •5 Гальваномагнитные преобразователи
- •5.1 Преобразователи Холла
- •5.2 Магниторезистивные преобразователи
- •5.2.1 Гальваномагниторекомбинационные преобразователи
- •6 Электрохимические преобразователи
- •6.1 Электрохимические резистивные преобразователи
- •6.2 Гальванические преобразователи
- •6.3 Кулонометрические преобразователи
- •6.4 Полярографические преобразователи
- •6.5 Ионисторы
- •6.6. Электрокинетические преобразователи
- •7 Тепловые преобразователи
- •7.1 Термоэлектрические преобразователи (термопары)
- •7.2 Терморезисторы
- •7.3 Термометры сопротивления
- •8 Оптико-электронные преобразователи
- •8.1 Лазерные преобразователи
- •8.2 Оптоэлектрические преобразователи
- •8.3 Оптронные преобразователи
- •9 Волоконно-оптические преобразователи
- •10 Ионизирующие (радиационные) преобразователи
- •11 Электроакустические преобразователи
- •11.1 Акустико-эмиссионные преобразователи
- •12 Измерительные преобразователи с частотным выходом
- •Второй раздел принципы измерения физических величин
- •13 Принципы измерения линейных и угловых размеров
- •13.1 Электромеханические принципы
- •13.2 Электрофизические принципы
- •13.2.1 Электромагнитные принципы
- •13.2.2 Радиоактивный принцип
- •13.2.3 Тепловой (термокондуктометрический) принцип
- •13.2.4 Электрокондуктометрический принцип
- •13.2.5 Емкостной принцип
- •13.2.6 Магнитный принцип
- •13.3 Спектрометрические принципы
- •13.3.1 Локационный принцип
- •13.3.2 Интерферометрический принцип
- •13.3.3 Голографический принцип
- •14 Принципы измерений механических напряжений, сил, моментов и давлений
- •14.1 Принципы измерений деформации и механических напряжений
- •14.1.1 Термоупругий принцип измерения механических напряжений
- •14.1.2 Принцип рентгеновской тензометрии
- •14.2 Принципы измерения сил и крутящих моментов
- •14.2.1 Измерение силы способом уравновешивания
- •14.3 Принципы измерений давлений
- •14.3.1 Принцип преобразования разности давлений в деформацию упругого элемента
- •14.3.2 Принцип уравновешивания сил или давлений
- •14.3.3 Измерение импульсных давлений
- •15 Принципы измерений параметров движения твердого тела
- •15.1 Относительные принципы
- •15.2 Инерциальные принципы
- •15.3 Принципы измерений параметров углового движения
- •16 Принципы измерения параметров движения жидких и газообразных веществ
- •16.1 Гидродинамические принципы измерения расхода
- •16.1.1 Принцип переменного перепада давлений (статический)
- •16.1.2 Гидродинамические частотные принципы (статические)
- •16.1.3 Принцип постоянного перепада давлений (динамический)
- •16.2 Кинематические принципы
- •16.2.1 Принцип меток потока
- •16.2.2 Ультразвуковые принципы
- •16.2.3 Термоанемометрический принцип
- •16.2.4 Индукционный принцип
- •16.2.5 Доплеровские принципы
- •17 Принципы измерения температуры
- •17.1 Контактные принципы
- •17.2 Термомагнитный принцип
- •17.3 Термошумовой принцип
- •17.4 Термочастотные принципы
- •17.4.1 Термометры с механическими резонаторами
- •17.4.2 Принцип ядерного квадрупольного резонанса
- •17.5 Пирометрические принципы
- •17.5.1 Пирометры полного излучения (радиационные)
- •17.5.2 Пирометры частичного излучения
- •17.5.3 Цветовые пирометры
- •17.6 Тепловизоры и термографы
- •17.7 Спектрометрические принципы
- •18 Принципы измерения концентрации
- •18.1 Электрохимические принципы
- •18.1.1 Кондуктометрический принцип
- •18.1.2 Кулонометрический принцип
- •18.2 Электрофизические принципы
- •18.2.1 Тепловой принцип
- •18.2.2 Магнитный принцип
- •18.2.3 Ионизационные принципы
- •18.3 Спектрометрические (волновые) принципы
- •18.3.1 Электроакустический принцип
- •18.3.2 Радиоспектрометрические принципы
- •18.3.3 Электрооптические принципы
2.4 Магниторезисторы
В магниторезисторах используется эффект изменения электрического сопротивления при внесении его в магнитное поле. Регистрируется напряженность магнитного поля в зазоре, или, перемещая магниторезистор в поле постоянного магнита или электромагнита, можно менять сопротивление или другие характеристики резистора (напряжение, ток). Следовательно, входными сигналами магниторезистивного преобразователя является напряженность магнитного поля и величины, вызывающие его изменение (перемещение, скорость и ускорение), а выходными – изменение активного сопротивления [12].
Близки к магниторезисторам по своим характеристикам преобразователи Холла, которые рассматриваются в п. 5.2.
2.5 Варисторы и позисторы
Резистор, сопротивление которого зависит от приложенного напряжения, называется варистором. Варисторы изготовляются из карбида кремния и из окислов цинка. Кремневые варисторы прессуются из зерен карбида кремния и связывающих веществ (глины, жидкого стекла и др.) от 10 до 40 % от общей массы. Затем подвергаются термической обработке, снабжаются электродами и герметизируются [12]. У них вольт-амперная характеристика нелинейная.
Полупроводниковый терморезистор с положительным температурным коэффициентом сопротивления, достигшим 60 %/0С, называется позистором. Позисторы выполняются из титанобариевой керамики с примесями редкоземельных элементов. Позистор подобен терморезистору (подробно рассматриваемому в п. 7).
Варисторы и позисторы применяются в качестве управляемых сопротивлений в приборостроении и автоматике, а также в качестве чувствительных элементов в реле, системах сигнализации и др.
3 Электростатические преобразователи
Устройства, содержащие не менее двух поверхностей, между которыми действует постоянное электрическое поле, называют электростатическими преобразователями. Электрическое поле создается извне приложенным напряжением или возникает при действии на вход преобразователя измерительного сигнала.
Электростатический преобразователь содержит два электрода площадью S, параллельно расположенных на расстоянии δ в среде с диэлектрической проницаемостью ε.
ИП с электрической стороны характеризуется напряжением U между пластинами, зарядом q = СU, где С = εS/δ – емкость. Если одна из пластин перемещается, то с механической стороны преобразователь характеризуется жесткостью подвеса подвижной пластины ω и ее перемещением х. Расчет ведется из обычных физических уравнений.
Выходной величиной электростатического преобразователя может быть: изменение емкости; электростатическая сила притяжения или ЭДС, генерируемая при взаимном перемещении электродов.
Преобразователи, в которых электрическое поле создается приложенным напряжением, составляют группу емкостных преобразователей. К емкостным преобразователям близки по своим характеристикам полупроводниковые диоды, в которых используется зависимость барьерной емкости от обратного напряжения. Такие преобразователи применяются в качестве элементов с электрически управляемой емкостью и называются варикапами [13].
Другая группа электростатических преобразователей основана на использовании сегнетоэлектриков, т. е. кристаллических диэлектриков, которые при определенных температурных условиях обладают самопроизвольной поляризацией при отсутствии внешних электрических полей.
Преобразователи, основанные на использовании нелинейной зависимости емкости от напряжения в сегнетоэлектриках, называются варикондами [13].
