- •1. Назначение пленочных покрытий в технологии и функционировании изделий микроэлектроники? Применяемые материалы?
- •2. Другие области применения пленочных покрытий? Применяемые материалы и их функциональные свойства?
- •Лабораторная работа №2.
- •1.Какой критерий используется для определения степени вакуума?
- •Лабораторная работа №3.
- •Лабораторная работа №4.
- •Лабораторная работа №6.
- •В чем сущность алгоритмов оптического управления расходом реактивного газа в процессах рмр?
- •Лабораторная работа №7.
- •2. Какие основные характеристики процесса травления?
- •Лабораторная работа №8.
Лабораторная работа №8.
1.В чем заключается принцип эмиссионно-спектрального анализа химического состава материалов?
Принцип метода эмиссионно-спектросктрального анализа заключен в возбуждении анализируемого материала до уровня, при котором происходит эмиссия электромагнитного излучения оптического диапазона, последующем разложении этого излучения в спектр, регистрации и обработки спектра.
2.Из каких структурных единиц состоят системы спектрального анализа?
Первая структурная единица - устройство для возбуждения эмиссионного спектра.
Вторая - для разложения излучения в спектр и регистрации спектра фотоприемником.
Третья - для наблюдения (фиксации) спектра и его обработки.
Четвертая — эталоны концентрации, для перехода от интенсивности к концентрации.
3.Какие спектральные линии называют «последние» и как выбрать интервал длин волн для регистрации спектра?
«Последними» называют линии, которые исчезают в последнюю очередь по мере уменьшения концентрации элемента в плазме заряда, так же они являются наиболее интенсивными в спектре.
Выбирая интервал длин волн для регистрации спектра, ищут на нем две или три «последние» линии искомого элемента.
