- •В. А. Холоднов физические основы рассеяния и разогрева подвижных носителей заряда и ударной генерации электронно-дырочных пар в полупроводниках
- •Содержание
- •1. Введение
- •2. Лавинное размножении свободных носителей заряда – следствие их сильного разогрева электрическим полем
- •3. Общие представления о рассеивании электронов и дырок
- •4. Рассеивание импульса и энергии свободных носителей заряда в слабом электрическом поле
- •5. Рассеивание электронов и дырок в сильном электрическом поле
- •6. Характер зависимости дрейфовой скорости электронов и дырок от напряженности электрического поля. Скорость насыщения
- •7. Пороговая энергия ударной генерации электронно-дырочной пары (ударной межзонной ионизации)
- •8. Заключение
- •Литература
5. Рассеивание электронов и дырок в сильном электрическом поле
С
ростом напряженности электрического
поля увеличивается число носителей с
энергией, большей энергии оптического
фонона
const
[6,
10 - 12], т. е., средняя энергия носителей
растет.
Увеличение частоты столкновений или
возникновение дополнительного механизма
потерь энергии не позволяют носителям
бесконечно увеличивать свою энергию.
В конце концов, наступает новое
стационарное состояние, причем,
заметно превышает
.
По мере роста поля подвижности электронов
и дырок
уменьшаются, рост их дрейфовых скоростей
замедляется, закон Ома перестаёт
выполняться [10
- 12, 17].
Дополнительный
канал потерь энергии появляется, когда
энергия большой доли носителей начинает
превышать
=
.
Тогда носители могут достаточно
эффективно испускать оптические фононы.
Поскольку отношение вероятностей
испускания и поглощения фонона, как
это следует
из (22) и (23)
равно
(29)
то среднее на одно столкновение с оптическим фононом значение потери энергии носителем сильно зависит от температуры решетки .
Если
,
то, как это следует из (27),
.
(30)
Слабая
потеря энергии в этом высокотемпературном
интервале обусловлена тем, что в
рассматриваемых условиях
(29).
Более
реальны значения
.
Например, это выполняется
при комнатных температурах. Тогда, как следует из (27),
.
(31)
Значение
(31) уже сравнимо с
.
Большие энергетические потери носителями
в этом низкотемпературном
интервале обусловлены тем, что в
рассматриваемых условиях
(29). Оптических фононов мало, так что
почти нечего поглощать, а для их испускания
значения
достаточно.
При
еще больших полях возникает канал
рассеяния носителей за счет ударной
генерации электронно-дырочных пар
(ударной межзонной ионизации), рис. 8.
Энергия, теряемая носителем в результате
ионизационного акта (рис.1) много больше
энергии оптического фонона [1,
2, 4]. Однако, чтобы добраться
до пороговой энергии ионизации
[1,
2, 4]
(см. раздел 7), носителю нужно не растерять
всей энергии, приобретаемой в электрическом
поле, из-за других актов рассеяния,
прежде всего, из-за испускания оптических
фононов - основного механизма потери
энергии носителями в до пробивных
сильных электрических полях [1,
2, 4, 9].
6. Характер зависимости дрейфовой скорости электронов и дырок от напряженности электрического поля. Скорость насыщения
Как
отмечалось в разделе 5,
по
мере роста поля подвижность носителей
уменьшается, что приводит к замедлению
роста их дрейфовой скорости
(21). Это обусловлено увеличением частоты
столкновений носителей с рассеивающими
объектами. Замедление роста абсолютной
величины скорости в конце концов приводит
к ее насыщению
(saturation)
[1,
2, 10, 17].
Начиная с некоторого значения напряженности
электрического поля
,
дрейфовая скорость перестает зависеть
от
,
т.е.,
(рис.
7а). Оценим
значения величин
и
.
В
сильных электрических полях заметное
число носителей обладает энергией,
достаточной для генерации оптических
фононов. Существенно, что при температурах
решетки
,
меньших примерно удвоенного значения
комнатной температуры, как правило,
.
При выполнении последнего неравенства
носители, в основном, только испускают
Рис 7. Зависимости дрейфовой скорости носителей в кремнии (а) и арсениде галлия (b) от напряженности электрического поля.
а: при температуре решетки = 77 К - кривые 1, при = 300 К - кривые 2; в направлении [111] - сплошные кривые, в направлении [100] - штриховые;
b: для электронов - сплошная кривая, для дырок – штриховая;
с: Схематическая дисперсионная кривая в зоне проводимости арсенида галлия в направлении [111].
оптические фононы (см. раздел 5). Этот механизм потери энергии носите-
лями
в до пробивных
сильных
электрических полях [1,
2, 4, 9] является
основным [1,
2, 4].
В такой ситуации естественно считать,
что высокоэнергичные носители при
каждом акте рассеяния (scattering),
происходящем в среднем за время
,
рассеивают свой импульс и теряют энергию,
равную
.
Тогда уравнение (3) и закон сохранения
энергии в приближении эффективной массы
(4) можно записать, соответственно, как
,
(32)
,
(33)
откуда
,
(34)
(35)
Если
принять
эВ,
,
=
10-6
см [10
– 12,
17],
где
-
масса свободного электрона, то получим
=
см/с,
=
В/см. Эти значения близки к экспериментальным
данным в неполярных (валентных) материалах
и
[2,
10, 11],
рис.7а.
В полярных полупроводниках, например, в GaAs, происходят тепловые колебания заряженных атомов решетки. Такие колебания сильнее, естественно, рассеивают носители заряда, чем колебания нейтральных атомов в валентных полупроводниках. Неудивительно поэтому, что в полярных полупроводниках рассеяние носителей оптическими колебаниями становится заметным при меньших полях, чем в валентных полупроводниках [1, 2, 4, 10, 11, 17].
Кроме
того, в ряде полупроводников,
в том же GaAs,
перед плато
есть
интервал
с падающей зависимостью дрейфовой
скорости от напряженности поля
[1,
2, 10, 17], рис. 7b.
Поясним этот эффект на примере арсенида
галлия. В нем на дисперсионной кривой
для электронов в зоне проводимости
имеется минимум
,
выше
основного минимума
,
совпадающего с дном зоны проводимости
на величину
эВ,
рис.7с. Принято
говорить, что есть нижняя и верхняя
долины [1,
2, 4, 10, 17].
Величина
более,
чем на порядок, больше
при
комнатных температурах. Поэтому в слабых
полях носителей в верхней долине
практически нет. По мере увеличения
разогрева носителей электрическим
полем все большее их число появляется
в верхней долине и все меньшее число в
нижней. Перебросы электронов из нижней
долины в верхнею и наоборот называется
междолинным рассеянием. Переход электрона
из одной долины в другую сопровождается
значительным изменением его импульса,
что требует, в свою очередь, поглощения
или испускания сравнительно большего
числа фононов. При рассеянии же электронов
внутри каждой долины импульс изменяется
не так значительно, что существенно
уменьшает число актов взаимодействия
с фононами. Поэтому времена внутридолинных
рассеяний много меньше, чем время
междолинного рассеяния. Это позволяет
ввести понятия подвижностей электронов
в нижней
и
верхней
долинах, а подвижность электронов в
целом определить как
+
,
(36)
где
,
и
=
+
- концентрации электронов, соответственно,
в нижней долине, в верхней долине и в
целом. Дрейфовая
скорость
электронов
определяется соотношением (21), причем,
чем больше эффективная масса носителей
заряда
,
тем меньше их подвижность [2,
4, 6, 10 – 12,
17].
В GaAs
эффективная масса электронов в верхней
долине
существенно больше, чем в нижней долине
.
На рис.7с это отражено тем, что верхняя
долина более полога, чем нижняя. С ростом
поля второе слагаемое в (36) увеличивается
по сравнению с первым. В результате
,
начиная с некоторого значения
,
падает с ростом поля (рис.7b),
а затем, как и в
и
перестает,
зависеть от поля, когда
становится больше, чем
(рис.7а,b).
Напряженность
электрического поля, при которой
происходит за счет ударной генерации
(ионизации) лавинное размножение
носителей [1,
2, 4, 6, 9],
превышает, как правило, значение поля
насыщения
их дрейфовой скорости. Это заметно
облегчает теоретический анализ процесса
лавинного размножения носителей, так
как позволяет считать
.
