IV. Требования к отчету по работе.
Отчет по лабораторной работе должен содержать:
Название лабораторной работы;
Цель работы;
Конспект теоретического введения;
Схемы манометрических преобразователей, экспериментальной установки и вакуумной системы ВА-05-4;
Порядок выполнения лабораторной работы;
Таблицы результатов измерений;
Графики зависимости давлений в различных частях вакуумного агрегата от времени;
Выводы по работе.
V. Контрольные вопросы.
Вопросы для допуска к работе:
1. Сформулируйте цель работы.
2. Порядок выполнения лабораторной работы и техника безопасности.
3. Какие датчики давления и вакуумметр используются в данной работе?
4. Каковы пределы измеряемых давлений датчиками ПМТ-2, ПМТ-4М, ПМИ-2 и ПМИ-10-2?
5. Можно ли включать датчики ПМТ-2 и ПМТ-4М при атмосферном давлении?
6. Зачем перед измерением проводится процесс обезгаживания анода преобразователя ПМИ-2?
Вопросы для защиты:
1. В каких областях применяется сегодня вакуумная техника?
2. Какие виды вакуумметров существуют?
3. Общий принцип работы абсолютных манометров, какие абсолютные манометры вы знаете?
4. Почему нижний предел измеряемого давления для относительных манометров гораздо меньше, чем для абсолютных?
5. Зависят ли показания вязкостных манометров от природы газов?
6. На какие группы делятся тепловые манометры?
7. Принцип действия датчиков давления ПМТ-2, ПМТ-6.
8. Объясните, почему при повышении давления в вакуумной системе температура нагревательного элемента уменьшается?
9. Зависят ли показания термопарного манометра от рода газов?
10. Как можно определить ток накала термопарного преобразователя?
11. Чем объясняются нижний и верхний пределы измерения термопарного и ионизационного преобразователей?
12. Как зависит тепловая мощность, отводимая от нити накала излучением, от концентрации газов в объеме преобразователя ПМТ-2?
13. Основные достоинства и недостатки термопарных манометров?
14. Каким образом действует электронный ионизационный манометрический преобразователь?
15. Как можно уменьшить фоновые токи в преобразователе ПМИ-2?
16. Какие достоинства и недостатки ионизационных манометров существуют?
17. Причины, вызывающие систематическую погрешность измерения давления вакуумметрами.
VI. Список литературы.
1. Б.С. Лысов, А.Н. Малахов, Н.И. Полунин. Техника эксперимента / Раздел: Вакуумная техника: г. Москва, 1989.
2. Шешин Е.П. Основы вакуумной техники: Учебное пособие. – М.: МФТИ, 2001.
3. Королев Б.И. и др. Основы вакуумной техники. М: Энергия, 1975.
4. Иванов В.П., В.А. Пручкин. Физический эксперимент в микроэлектронике: Метод. пособие. Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2004. с. 22 – 30, 107 – 111.
5. http://www.vacuum16.ru/art_tech.html. Дата обращения 15.08.2013.
6. http://techeiscatel.ru/index.php/library/lection. Дата обращения 15.08.2013.
7. http://bananabooks.net. Дата обращения 12.08.2013.
Приложение 6.1. Инструкция По эксплуатации ионизационно-термопарного вакуумметра вит-2.
Вакуумметр ВИТ-2 (рис. 6.7) предназначен для измерения давления в диапазоне от 2x10-1 до 10-7 мм рт. ст. и представляет собой комбинированный прибор, состоящий из термопарного и ионизационного модулей. Термопарный модуль работает с датчиками ПМТ-2 и ПМТ-4М, ионизационный – с ПМИ-2. Давление в пределах 2.10-1 – 10-3 мм рт. ст. измеряется преобразователями ПМТ-2 и ПМТ-4М, 10-3 – 10-7 мм рт. ст. – ионизационным преобразователем ПМИ-2.
Рис. 6.7. Ионизационно-термопарный вакуумметр ВИТ-2.