2.Обзор вакуумных постов на российском рынке

На российском рынке производством вакуумных постов занимаются следующие предприятия «Interactive Corporation» , ОАО «Криосистемы», «Tako line» и др. Ниже приведен ряд описания некоторых моделей вакуумных постов с их характеристиками (таб.2)

«http://www.google.ru/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd=1&sqi=2&ved=0CCcQFjAA&url=http%3A%2F%2Fwww.intactive.ru%2Fru%2Fbrands%2Fjeolrus%2Fjee420rus%2F%3FPHPSESSID%3D5sejofakclbttqa9s2htj01td0&ei=tksPU7GUHKOv4ASAr4CoAQ&usg=AFQjCNE2EjOPx0rckGYnjNE7Ui177i6pWg&sig2=INPQPT7mau5sswaFLmFpOA&bvm=bv.61965928,d.bGE&cad=rjtInteractive Corporation». Вакуумный пост JEE-420. (Рис.1.)

Рис.1. Вакуумный пост JEE-420.

Вакуумный пост JEE-420. Используют для подготовки образцов электронной микроскопии. В состав вакуумного поста входит камера испарения, автоматической вакуумной системы, системы электропитания. Вакуумный пост подходит для подготовки образцов , для анализа и наблюдения в просвечивающих и растровых электронных микроскопах.

Так же вакуумный пост JEE-420 может применяться в технологиях для углеродного напыления, изготовления тонких пленок, изготовления металлических фольг напылением, напыления проводящих покрытий на непроводящие образы. Так же можно использовать в экспериментах, для очистки апертурных диафрагм в электронных микроскопах. [10]

Завод «Измеритель». Откачной пост ПВС-150/63. (Рис.2.)

В состав откачного поста входит турбомолекулярный и форвакуумный насос, вакуумная арматура , вакуумные клапаны, приборы контроля давления. Управление осуществляется в автоматическом режиме. Предназначается для получения высокого вакуума в вакуумных установках.

Рис.2. Откачной пост ПВС-150/63

Применяется в масс-спектрометрии, течеискателях, ядерных исследованиях, ускорителях элементарных частиц, производство электровакуумных и полупроводниковых приборов, авиация, фармацевтика, пищевая и атомной промышленности.

Возможно отдельное использование форвакуумной и высоковакуумной магистралей по отдельности. [11]

ОАО «Криосистемы». Турбомолекулярная станция серии TSC. (Рис.3.)

Рис.3. Турбомолекулярная станция серии TSC.

Турбомолекулярная станция TSC удобна в техническом облуживании, обладает байпасной линией, позволяет откачивать загрязненные объемы, имеет высокую производительность форвакуумного насоса. [12]

«Tako line». Турбомолекулярный стенд серии CDK.(Рис.4.)

Рис.4. Турбомолекулярный стенд серии CDK.

Турбомолекулярный стенд состоит из турбомолекулярного насоса серии SST , трехступенчатого мембранного насоса, электромагнитного клапана, блока питания и вентилятора для охлаждения внутри корпуса.

Основным преимуществом можно отметить безмасляный вакуум, быстродействие, малые размеры и вес. Располагается все в корпусе и легкодоступно. [13]

«Tako line». Турбомолекулярные стенд на колонне серии STP.(Рис.5.)

Рис.5. Турбомолекулярные стенд на колонне серии STP.

Вакуумный стенд располагается на алюминиевой колонне и состоит из маслоуплотняемого пластинчато-роторного вакуумного насоса, безмасляного мембранного насоса, прибора измерения вакуума, электромагнитного клапана. [13]

«Tako line». Турбомолекулярный стенд серия HiCube.(Рис.6.)

Компактный откачной пост, который позволяет достигать высокого вакуума. Оснащен турбомолекулярным и мембранным насосами. Основным преимуществом можно назвать создание безмасляного остаточного давления.

Рис.6. Турбомолекулярный стенд серия HiCube.

Может применяться в исследовании физики поверхности, производстве электронно-лучевых приборов, в напылительных и испарительных системах. [13,14]

«Ameqs medical inc.» Вакуумный универсальный пост ВУП-5М.(Рис.7.)

Рис.7.Вакуумный универсальный пост ВУП-5М.

Вакуумный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок различной толщины из методом магнетронного напыления из разного рода материалов с высокой скоростью. Пост можно применять для исследования в физике, химии, биологии, медицины и других областях.

Основным достоинством можно отметить высокую скорость осаждения пленок, высокая адгезия пленок и подложки, работа с металлами сплавами и полупроводниками. [15]

ОАО «Интек». Вакуумный пост T-Station.(Рис.8.)

Рис.8. Вакуумный пост T-Station.

Вакуумный пост T-Station применяется для исследования поверхностей, спектроскопии, небольших напылительных систем, производства вакуумных труб.

Пост состоит из турбомолекулярного насоса высокого вакуума и форвакуумного насоса пластинчато-роторного или диафрагменого. [16]

ОАО «Интек». Вакуумный пост nEXT.(Рис.9.)

Рис.9.Вакуумный пост nEXT.

Вакуумный пост nEXT представляет собой компактную высоковакуумную систему собранную мобильном основании. В вакуумный пост входит турбомолекулярный насос, форвакуумный насос и блок управления.

Вакуумный пост nEXT можно применять в сверхвысоковакуумных системах, ионопроводах , шлюзовых камерах, изучении поверхностей, так же в изучении физики высоких энергий.

Основной особенностью стоит отметить возможность управления всей системой с контролера и обеспечение безмасляного вакуума.[17]

Характеристики представленных вакуумных постов представлены в Таблице 2.

Вакуумный пост	Предельное остаточное давление Pпред, Па	Высоковакуумный насос		Наличие байпасной линии	Потребляемая мощность W, кВт	Габариты l,n,h ,мм	Тип охлаждения
		Тип насоса	Скорость откачки S, Газ , л/с
JEE-420	3х10-4	диффузионный	воздух 420	нет	-	-	водяное
ПВС-150/63	1,3х10-4	турбомолекулярный	N2 150 , He 60	есть	не более 0,5	500х485х395	воздушное
TSC крисосистемы	10-8	турбомолекулярный	N2 260 , по He 255, по H2 220	есть	-	-	воздушное
Tako line CDK	5х10-5 -5х10-6	турбомолекулярный	N2 50-77 He 56-65 H2 46-50	нет	-	400х193х390	воздушное
Tako line STP	1х10-5 -5х10-4	турбомолекулярный	N2 77-250	нет	-	500х480х700	воздушное
Tako line HiCube	1х10-5	турбомолекулярный	воздух 67- 685	нет	-	620х630х1600	воздушное
ВУП-5М	6х10-4	турбомолекулярный	-	нет	4,5	620х630х1600	воздушное
ВУП-5М	2х10-4	диффузионный	-	нет	4,5	-	воздушное
T-Station	<5х10-6	турбомолекулярный	воздух 42	нет	4,3	-	воздушное
nEXT	10-6	турбомолекулярный	воздух 61	нет	-	-	воздушное

Таблица 2. Характеристики вакуумных постов.

P_пред - Предельное остаточное давление

S - Скорость откачки

W - Потребляемая мощность

l – длинна, n – ширина, h - высота