- •Термины и определения (гост 17021-88)
- •Характеристика полупроводниковых пластин
- •Методы нанесения тонких пленок.
- •Навесные компоненты гис
- •Сборка микросхемы в корпус
- •Методические указания
- •Контрольные вопросы
- •Технологический процесс изготовления фольгового чувствительного элемента на полиимидном носителе
- •Технологический маршрут изготовления тонкопленочной имс на полиимидном носителе
- •Технологический маршрут изготовления титалановых подложек
- •Основные операции технологического маршрута для изготовления структуры бис на биполярных транзисторах (1051ха3)
- •Определение толщины пленок двуокиси кремния
- •Определение толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев
- •Зависимость цвета термически выращенной пленки двуокиси кремния от ее толщины
- •Основные операции технологического маршрута для изготовления структуры ис на биполярных транзисторах (133лаз)
- •Маршрутная карта технологического процесса
- •Маршрутная карта технологического процесса кмдп имс с поликремниевыми затворами.
- •Конструктивные исполнения бескорпусных бис
- •Конструкции ленточных носителей
- •Полиимидный носитель с алюминиевыми выводами
- •Технология сборки и монтажа бескорпусных имс на полиимидных носителях с алюминиевыми выводами
- •Бескорпусная защита имс, смонтированных на полиимидных носителях
- •Значения коэффициентов диффузии влаги для герметизирующих полимерных материалов
- •Термины и определения (гост 17021-88)
- •Параметры интегральных микросхем
- •Классификация и система обозначений микросхем
- •Подложки гис
- •Требования к подложкам
- •Элементы гис
- •Компоненты гис
- •Корпусные и бескорпусные гис
- •Топология гис
- •Технологические требования и ограничения
- •Схемотехнические требования и ограничения
- •Конструктивные требования и ограничения
- •Последовательность нанесения слоев тонкопленочной гибридной микросхемы
- •Последовательность нанесения слоев толстопленочной микросхемы
- •Изучение подложек гис
- •Изучение конструкций гис
- •Конструкция и топология элементной базы полупроводниковых имс Конструкция и топология резисторов
- •Характеристики интегральных резисторов
- •Конструкция конденсаторов
- •Параметры интегральных конденсаторов
- •Конструкции диодов
- •Параметры диодов
- •Конструкция биполярных транзисторов
- •Конструкции мдп - транзисторов
- •Вспомогательные элементы пимс
- •Способы изоляции элементов
- •Характеристики и параметры изучаемых имс
- •Основная литература
- •Дополнительная литература
Схемотехнические требования и ограничения
Входная и выходная цепи микросхемы должны быть максимально разнесены на плате для минимизации паразитных обратных связей между входом и выходом.
Компоненты (элементы) большой мощности необходимо располагать в центре платы для улучшения теплоотвода.
К схемотехническим относятся также ограничения по мощности, частоте, помехозащищенности и др.
Конструктивные требования и ограничения
Для всех микросхем данной серии необходимо использовать унифицированные (одинаковые) корпуса. Для бескорпусных микросхем следует применять унифицированное защитное покрытие.
Каждый корпус должен иметь ключ, обозначающий первый вывод микросхемы.
Каждая плата должна иметь ключ в виде нижней левой контактной площадки с вырезом или специального знака, например, в форме теругольника.
Контактные площадки рекомендуется располагать по периферии платы.
Приведенные технологические, схемотехнические и конструктивные требования и ограничения – это отдельные примеры, иллюстрирующие их сущность. Полное изложение требований и ограничений, учитываемых при разработке топологии, приводится в руководящих технических материалах предприятий, изготавливающих микросхемы.
Пленочная часть микросхемы состоит из нескольких слоев: резистивных, проводящих, диэлектрических.
Последовательность нанесения слоев тонкопленочной гибридной микросхемы
резисторы;
проводники и контактные площадки;
межслойная изоляция;
проводники;
нижние обкладки конденсаторов;
диэлектрик конденсаторов;
верхние обкладки конденсаторов;
защитный слой.
В зависимости от номенклатуры элементов микросхемы и от ее сложности некоторые слои могут отсутствовать. Каждый пленочный слой микросхемы изготавливается с помощью масок или фотошаблонов.
Последовательность нанесения слоев толстопленочной микросхемы
проводники, контактные площадки и нижние обкладки конденсаторов;
диэлектрик конденсаторов;
верхние обкладки конденсаторов;
резисторы;
защитный слой.
АППАРАТУРА
Для выполнения работы используется следующая аппаратура:
лабораторный макет, состоящий из кассет с образцами;
микроскоп;
лупа.
ВНИМАНИЕ! Пластины с образцами очень хрупки. После рассмотрения пластин сразу же вставьте их в кассету.
ПОРЯДОК ВЫПОЛНЕНИЯ РАБОТЫ
Изучение подложек гис
В кассете представлены образцы подложек со следующими номерами:
01 – ситалл (СТ 38-1); 02 – поликор; 03 – керамика; 04 – титалан; 05 – полиимид.
Изучите характерные признаки внешнего вида подложек (матовая или зеркальная поверхность, цвет).
Укажите область применения подложек, параметры и характеристики, определяющие их применение.
Изучение конструкций гис
Внимательно рассмотрите каждую микросхему. Определите тип микросхемы – пленочная или гибридная; тонкопленочная или толстопленочная. По обозначению ИМС определите номер серии.
Найдите на микросхеме ключ, пассивные, активные, технологические и конструктивные элементы. Определите количественные параметры ИМС – степень интеграции, интегральную плотность. Для расчета используйте данные таблицы.
Функциональное назначение ИМС
Обозначение микросхемы |
Выполняемая функция |
Общее количество элементов |
Размеры подложки, мм |
Размер корпуса, мм |
ЧИМ-1-012-С |
Частотно-импульсный модулятор |
49 |
3220 |
3929 |
ЧИМ-7-22910 |
Частотно-импульсный модулятор |
66 |
3220 |
3929 |
ЧИМ-1-013-У |
Частотно-импульсный модулятор |
56 |
3220 |
3929 |
ЧИМ-1-009-У |
Частотно-импульсный модулятор |
56 |
3220 |
3929 |
230 ИК |
Цифровое устройство комбинированное |
30 |
3423 |
3624 |
К264ГФ1 |
Генератор сигналов специальной формы |
6 |
11,411,4 |
11,811,8 |
221ЛР1 |
Логический элемент И-ИЛИ-НЕ |
19 |
169 |
16,29,2 |
218ТК1 |
Триггер с комбини-рованным запуском |
27 |
168 |
19,514,5 |
ЧД-1 |
Частотный детектор |
69 |
2016 |
3020 |
Таблица результатов. Подложки ГИС
№ п/п |
Материал подложки |
Характерные признаки внешнего вида |
Область преимущественного применения (для каких типов ИМС) |
Параметры и характеристики, определяющие область применения |
|
|
|
|
|
Таблица результатов. Характеристики и параметры ГИС
№ |
Обозначение ИМС |
Тип ИМС |
Выполняемая функция |
Общее кол-во эл-тов |
В том числе |
Параметры |
Способ монтажа компонен. |
|||||||||||||||
Пленочные |
Навесные |
Транзисторы, диоды |
Кристаллы |
Прочее |
К |
|
|
|||||||||||||||
R |
C |
|||||||||||||||||||||
С |
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
Выполните эскиз топологии по указанию преподавателя и обозначьте на топологии элементы принципиальной электрической схемы. Топологию выполняйте на листе миллиметровой бумаги формата А4 в масштабе 10:1. Точное соблюдение размеров элементов не требуется.
Найдите на схеме ключ. На топологии он должен находится в левом нижнем углу платы.
Для толстопленочных микросхем необходимо выполнить топологию обеих сторон платы. Заштрихуйте элементы так, как это показано на примерах, приведенных на рис. 9.8 – 9.10.
По указанию преподавателя определите отношение номиналов двух резисторов и емкостей конденсаторов.
КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ
Какими параметрами характеризуются микросхемы?
Как обозначаются микросхемы?
Какие конструкции пленочных резисторов, конденсаторов и индуктивных элементов Вам известны?
Какими параметрами характеризуются пленочные резисторы, конденсаторы и индуктивные элементы?
Что такое топология интегральной микросхемы?
Что такое активные и пассивные элементы ИМС?
Дать определение тонкопленочной и толстопленочной микросхемы. Характерные признаки этих микросхем.
Дать определение гибридной микросхемы. Характерные признаки гибридных микросхем.
Каким требованиям должны удовлетворять подложки микросхем?
Каково назначение различных типов подложек?
Каким образом реализуется изоляция элементов в микросхемах?
Какими параметрами характеризуются ИМС?
Каковы основные элементы обозначения ИМС?
Что называется контактной площадкой и корпусом ИМС? Для чего они предназначены?
Приведите примеры технологических требований и ограничений.
Приведите примеры схемотехнических требований и ограничений.
Приведите примеры конструктивных требований и ограничений.
Оцените сопротивление пленочного резистора, указанного преподавателем, при заданном поверхностном сопротивлении .
ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 10
ИЗУЧЕНИЕ ТОПОЛОГИИ И КОНСТРУКЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ.
Цель работы:
Изучить конструкцию различных типов полупроводниковых ИМС.
Изучить конструкцию и зарисовать эскизы топологии активных и пассивных элементов полупроводниковых ИМС.
Произвести оптические измерения топологических размеров элементов.
ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ СВЕДЕНИЯ
