
- •Микроэлектрониканың дамуының негізгі жағдайы және бағыты.
- •§ 1.1 Электронды аппаратураның элементтерінің ықшамдау (миниатюризация) және микроықшамдау (микроминиатюризация) кезеңдері.
- •1.1 Сурет. «Элемент-2» типті жазық модулдің құрылысы.
- •1.2 Сурет фэ типінің жазық модулі:а – монтажды плата; б – сыртқы түрі;
- •1.3 Сурет. Этажеркалы микромодуль:
- •1.4 Сурет. Микроэлементтер:
- •1.5 Сурет. Қалқаланған этажеркалы микромодульдің жалпы түрі
- •§ 1.2. Микроэлектрониканың жалпы сипаттамасы.
- •1.6 Сурет. Интегралды микросхемалардың сыртқы түрі
- •§ 1.3. Микроэлектрониканың дамуының тарихы.
- •1.7 Сурет. Транзисторларды дайындаудың топтық әдісі:
- •1.8 Сурет. Интегралды микросхемаларды дайындаудың топтық әдісі:
- •§1.4 Интегралды микросхемалардың классификациясы және микроэлектрониканың өнімі (изделие)
- •1.9 Сурет. Микроэлемктрониканың негізгі өнімдері (изделия)
- •§ 1.5. Интегралды микросхемалардың белгілеуінің жүйесі.
- •§ 2.1 Интегралдымикроэлектроникадақолданылатынқұбылыстар (явление), процесстержәнеәдістер.
- •2.1 Сурет Интегралды микроэлектроникада қолданылатын физикалық құбылыстар, процесстер және әдістер.
- •§ 2.2. Имс жұмыс істеуін анықтайтын, құбылыстардың және процесстердің жалпы сипаттамасы.
- •2.2 Сурет. Тасушы зарядтардың қозғалғыштығының қоспаның концентрациясына және температураға тәуелділігі.
- •2.3 Сурет. Бірқалыпты p-n-өткелдің облысында таралуы.
- •2.4 Сурет. Тура (а) және кері (б) бағыттарда түсірілген, сыртқы кернеу кезіндегі, p-n-өткелдегі зарядты тасушылардың таралуы және энергетикалық диаграммасы
- •2.5 Сурет. Оңзарядтың бетінде бар болуы (б– г) және бетіне жақын кезде жоқ болуы (а)планарлыp-n-өткелінің құрылымы.
- •§ 2.3. Микроэлектронды құрыллымдарды құрудың базалық физика – химиялық әдістері.
- •2.6 Сурет. Кремнидің термиялық тотығуын орнату құрылғысы
- •2.7 Сурет. Фотолитографияның процессінің схемасы:
- •2.9 Сурет. Екізоналы диффузионды қондырғының схемасы
- •2.10 Сурет. Бірзоналы диффузионды қондырғының схемасы: 1 – газды беруге арналған магистраль; 2 – сұйық диффузиант үшін қоректендіргіш; 3 – кварцты труба; иг – инертті газ; гн – газ –тасушы
- •2.11 Сурет. Ионды легірлеуге арналған қондырғының схемасы
- •Травление.
- •Глава 3 Шалаөткізгішті интегралды микросхемалар
- •§ 3.1 Типтік конструкциялар және шалаөткізгішті имс құрылымы.
- •§3.2 Биполярлы транзисторлар.
- •Планарлы-эпитаксиальды транзисторлар.
- •Шоттки барьері бар транзисторлар.
- •Көпэмиттерлі транзисторлар.
- •Әр түрлі структурадағы мдп-транзисторлардың параметрлері.
- •§ 3.4 Диодтар
- •Әр түрлі схема бойынша қосылған транзисторлық структура негізіндегі диодтың параметрлері
- •§3.5 Шалаөткізгіш резисторлар.
- •Диффузионды резисторлардың параметрлері. 3.3-таблица
- •§3.6 Шалаөткізгіш конденсаторлар
- •3.7. Биполяр имс дайындау технологиясы
- •Планарлы-эпитаксиалды технология.
- •Қосарлы технология.
- •Изопларлы технология.
- •§ 3.9. Имс шалаөткізгішінің герметизациясы мен бүрмесі
- •§ 3.10. Шалаөткізгішті имс - ны жобалау және өңдеу этаптары
- •4 Тарау
- •§ 4.1. Гибридті имс конструкциясы
- •§ 4.2. Қалыңпленкалы гибридті имс элементтері
- •§ 4.3. Жіңішке пленкаларды алу әдістерді
- •§ 4.4. Гибридті имс - ға арналған подложка
- •§4.5. Пленкалы резисторлар
- •4.15 Сурет. Жұқа пленкалы резисторлардың конструкциялары:
- •4.16 Сурет. Пленканың салыстырмалы кедергісінің оның еніне тәуелділігі: і-тунельді эффекттің облысы, іі-бұзылған беттің облысы, ііі-көлемдік қасиеттерінің облысы
- •§4.6. Пленкалы конденсаторлар
- •4.17 Сурет. Жұқа пленкалы конденсатордың жалпы түрі: 1-жоғары өтетін қоршау; 2-диэлектрлік пленка; 3-төменгі өтетін қоршау; 4-подложка.
- •4.18 Сурет. Кремний қышқылы негізіндегі пленкалы конденсатордың диэлектр өткізгіштігінің тәуелділігі:
- •4.19 Сурет. Қалдық газдардың әртүрлі қысымымен тозаңданған кремний моноқышқылы негізіндегі конденсаторлардың вас-ы:
- •§ 4.7. Пленкалы имс – дағы индуктивті элементтер
- •§ 4.8. Пленкалы өткізгіштер және контактілік алаңдар
- •§ 4.9. Қабатаралық изоляция
- •§ 4.10. Гибридті имс – ның пассивті элементтерінің әртүрлі конфигурацияларын алу әдісі
- •§ 4.11. Гибридті имс – ның навесный компоненттері
- •§ 4.12. Гибридті имс – ға арналған корпустар
- •4.13. Гибридті имс құрудың негізгі принциптері және жобалау кезеңдері
- •4.14. Гибридті имс жобалаудың бастапқы деректері
- •4.15. Гибридті имс топологиясын және құрылымын жобалау
- •5 Бөлім. Үлкен интегралды схемалар (үис)
- •5.1. Үис жалпы сипаттамалары және негізгі параметрлері
- •5.2. Үис классификациясы және қолдану аймақтары
- •5.3 Үис қарапайым базасы
- •5.4. Шалаөткізгішті үис құрылымы және жасау технологиясы
- •5.5. Гибридті үис құрылымы және дайындау технологиясы
- •5.6. Үис жобалаудың ерекшеліктері және негізгі кезеңдері
- •6 Бөлім. Байланыс құрылғыларна арналған негізгі микросхемотехникалар мен интегралды микросхемалар
- •6.1. Имс схемотехникалық ерекшеліктері
- •6.2. Биполяр транзистордағы сандық имс негізгі типтері
- •§6.4 Микроқуатты логикалық имс
- •§ 6.6 Сандық имс дамуының тенденциясы
- •§ 6.7 Аналогты (сызықты) имс негізгі типтeрі
- •§6.8. Аппаратуралық байланысқа арналған интегрлды микросхема
- •§6.9 Микропроцессор
- •§ 6.10 Аса жоғары жиілік (свч) диапазонының интегралды микросхемасы
- •Сапа, сенімділік және интегралды схемаларды қолдану
- •§ 7.1. Сапа теориясының негізігі түсінігі
- •§7.2. Сапа бақылау әдісі және имс сенімділік бағасы
- •§7.4 Имс сынағының санаттары мен түрлері
- •§7.6 Сапа көтерілуінің жолдары және имс сенімділігі
- •§7.7 Имс мен үис (бис)нің негізгі қолданыстары
- •§8.1. Функционалды микроэлектрониканың негізгі даму бағыттары
- •§ 8.2. Оптоэлектроника
- •249 Сериялы оптоэлектронды имс - ның электрлік схемасы
- •§ 8.3 . Акустоэлектроника
- •§ 8.4. Диэлектрлік электроника
- •§ 8.5. Хемотроника
- •§ 8.6. Биоэлектроника
- •§ 8.7. Микроэлектрониканың алдағы дамуы
Әр түрлі схема бойынша қосылған транзисторлық структура негізіндегі диодтың параметрлері
3.2-таблицада келтірілген мәліметтер анализі биртранзисторлы структураға қосылған әр түрлі схеманың көмегімен әр түрлі параметрлері бар диодтарды алуға болатынын көрсетеді.Тез әрекет ететін диодтарды алу үшін структураларды 1 схема бойынша қосады,ал үлкен тесіп шығатын кернеуі бар диодтарды 2және 5 схема бойынша қосады.Транзисторлы структураны 3 және 4 схемасымен қосылу арқылы алынған диодтарды жинақтаушы ретінде қолданады.
ИМС-те кең таралған Шоттки барьері бар диодтар.
§3.5 Шалаөткізгіш резисторлар.
Транзистор және диодтан кейін мәні және саны бойынша ИМС-те резисторларды есептеуге болады.ИМС-тың көп түрі бар,мысалы цифрлы,онда барлық логикалық операциялар транзисторлар,диодтар және резисторлар немесе транзистор және резисторлар көмегімен құрылады.
ИМС-құрамындағы резисторлар параметрлердің жиынтығымен сипатталады:олардың негізгілері:номиналды кедергі R, номиналға кіру рұқсаты ±δR, кедергінің температуралық коэффициенті КТК, шашырау қуаты P. Бұл параметрлер әрбәр жағдайда бастапқы материалға ,резисторды қалыптастыру әдісіне және оның формасына тәуелді.
Шалаөткізгіш резисторлар-шалаөткізгіш материал негізінде шалаөткізгіш технологиямен дайындалатын резисторлар.Көлемді және диффузионды шалаөткізгіш резисторлар бар.Көлемдік резисторларды металл мен шалаөткізгіштің омдық контактысын құру жолымен алынады.Идеалды контактыда мұндай резисторлардың меншікті кедергісі ρv шалаөткізігіштің көлемдік қасиетімен анықталады.
Практикада легірленген шалаөткізгіштерді қолданатындықтан олардың меншікті кедергісі толық қоспаның ионизациясы жағдайында
Конструктивті және технологиялық орындалуының қарапайымдылығына қарамастан көлемдік резисторлар үлкен ауқымды және температуралық тұрақсыздықты алатын болғандықтан кең қолданыс таппаған.
Диффузионды резисторлар диффузионды қабаттар негізінде қалыптасады, оның қалыңдығы ені мен ұзындығынан айтарлықтай аз болады.Диффузионды резисторлар қалған p-n өткелді шалаөткізгіштің көлемінен изоляцияланған.Олар-шалаөткізгіш ИМС-тердің структурасын қалыптастырғанда бір уақытта басқа элементтермен дайындалуы мүмкін.Сондықтан шалаөткізгіш ИМС-терде диффузионды резисторларды реализациясы үшін транзистордың негізгі структуралық облыстарын:базалық ,эмиттерлік немесе коллекторлық құратын диффузиялық қабаттарды қолданады.Диффузионды резистордың кедергісі R шалаөткізгіш қабаттың меншікті кедергісімен,оның тереңдігімен және алып жатқан ауданымен анықталады.
ρv –диффузионды қабаттың орта меншікті кедергісі,Wдиф-диффузия тереңдігі,l және b –диффузия өткізілетін бетінің участогының ұзындығы және ені.
Шалаөткізгіш ИМС-терді құрғанда барлық диффузионды қабаттың параметрлері транзисторлардың ең жақсы сипаттамасын алу үшін оптимизациялайды.
Сондықтан диффузионды резисторлардың кедергісін есептегенде (3.20) формуладан резистивті қабаттың конфигурациясын анықтау есебі туады.Практикада Wдиф мәні транзистордың параметріне талаптармен шарттасқан.Сондықтан диффузионды резисторларды есептеу және құрастыру қабаттың меншікті беттік кедергісі туралы түсінігімен жеңілденеді.Бұл кедергі былай анықталады.
Және транзистордың әрбір қабатына тұрақты болып табылады.(3.21) формуладан диффузионды резистордың кедергісі
ρs транзистордың облыстарына талаптермен анықталады, онда берілген номиналдағы диффузиялық резисторларды проектілеу l және b анықтамасына сай келеді.Жалпы жағдайда диффузионды қабаттың беттік меншікті кедергісі заряд тасушылардың жылжуы және
-
заряд тасушылардың жылжуының концентрациясы
бойынша орташаланған мәні;
-
қоспа концентрациясының координата
бойынша орташаланған мәні.
(3.23) формуланы мына түрде көруге болады.N(x) қоспа таралуының белгісі сипатында ,диффузияның технологиялық режимдерінде μ(N) тәуелділік сипатында және p-n өткелінің орнының тереңдігінде ол диффузионды қабатта қоспа таралуы сипатына тәуелділігінен меншікті беттік кедергіні анықтау үшін бастапқы болып табылады.
Диффузионды резисторлар практикалық түрде транзистордың кез-келген структурасының облысы негізінде реализациялануы мүмкін.Оларды ИМС-те қолдану үшін структуралық облыстың бетінде алюминийдің металлизациялану омдық контактысы құрылады.Планарлы-эпитаксиальды типті транзисторлардың структуралық облыстары негізіндегі диффузиондық резисторлардың структурасы 3.16-суретте көрсетілген,ал олардың параметрлері 3.3-таблицада берілген.