Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый по­догреватель, 4 - хро­мель-копелевая тер­мопара, .5 - цоколи 6 - штырьки

При постоянном токе накала подогревателя термопарного преобразователя, вакуумно-плотно соединенного с откачиваемым объемом, термо-эдс термопары будет определяться давлением окружаю­щего газа, так как изменение температуры подогре­вателя зависит от теплопроводности окружающего газа. При понижении давления теплопроводность га­за уменьшается, температура подогревателя увеличи­вается, а следовательно, увеличивается и термо-эдс термопарного преобразователя. Таким образом, из­меряемой величиной, по которой судят о давлении, является термо-эдс преобразователя. Зависимость термо-эдс от давления находят по градуировочной кривой, прилагаемой к термопарному манометри­ческому преобразователю.

Термопарные манометрические преобразовате­ли ПМТ-2 имеют стеклянный баллон, а ПМТ-4М металлический и могут работать в двух режимах: постоянного рабочего тока и постоянной термо-эдс. В режиме постоянного рабочего тока они измеряют давление до 5 • 10¹ Па. При давлении выше 5 • 10¹ Па режим постоянного рабочего тока заменяют режимом постоянной термо-эдс, при котором мерой давления газа является ток нагревателя. Это позволяет расширить диапазон измеряемых давлений до 6,7 • 10² На.

Термопарный вакуумметр ВТ-3 состоит из ПМТ, блоков питании а также измерения термо-эдс и тока нагревателя.

В блок питания входят силовой трансформатор, выпрямитель и компенсационный полупроводниковый стабилизатор напряжения. От двухполупериодного выпрямителя питаются регулирующий элемент (транзистор) и усилитель компенсационного стабилизатора, для которого дополнительным источником питания является однополупериодная схема. Компенсационный стабилизатор состоит из регулирующего элемента и двухкаскадного усилителя постоянного тока. В качестве опорного элемента служит стабилитрон. Нестабильность напряжения блока питания не более ±0,01 % при токе нагревателя от 80 до 500 мА и не более ±0,05 % при токе от 500 до 1000 мА; пульсации напряжения не превышают 30 мВ.

В вакуумметре ВТ-3 измерение термо-эдс и тока нагревателя выпол­няется одним прибором М-136/А (при измерении тока нагревателя к це­пи измерительного прибора подключают добавочный резистор и шунт).

Электронные ионизационные вакуумметры, применяемые для измерения давлений от 1.3 •10^-3 до 10^-1 Па, состоят из датчика – электронного ионизационного манометрического преобразователя (ПМИ) — и измерительного электрического блока ВИТ-1, ВИТ-2 или ВИТ-3, верх­ний предел измеряемых давлений которых ограничен перегоранием нака­ленного катода и нарушением линейности характеристики преобразова­теля, а нижний — фоновым током, соответствующим давлению 5 • 10^-6 — 8 • 10^-6 Па. Принцип действия ионизационных вакуумметров основан на движении заряженных частиц в вакууме.

Ионизационный манометрический преобразователь (рис. ниже) пред­ставляет собой электровакуумный прибор — триод, в стеклянный бал­лон 4 которого заключены катод 1, сетка 2 и анод 3. На анод подается отрицательный по отношению к катоду потенциал, равный 25 В, а на сетку - положительный, равный 200 В. Когда ионизационный преобра­зователь вакуумно-плотно соединен с откачиваемым объемом и подано питание, электроны с раскаленного катода 1, ускоренные положитель­ным потенциалом сетки 2, ионизируют находящийся в баллоне 4 разре­женный газ, в котором возникает ионный ток, пропорциональный давле­нию газа в баллоне.