Тема 1 Введение.

Производство интегральных схем делится на две составные части:

1.Основное. 2. Вспомогательное производство.

Основное:

Первая фаза.

Производство пластин. Ориентация кристаллографической плоскости,

резка пластин, шлифовка, полировка, снятие фаски, отмывка.

Вторая фаза.

Производство П/П структур. Химическое травление и отмывка,

наращивание эпитаксиального слоя, диффузия или ионное лигирование,

ПХТ (плазмохимическое травление),контроль на пластине.

Третья фаза.

Сборка ИС в корпус. Разделение пластин на кристаллы, монтировка

кристаллов в корпус, разварка межсоединений, герметизация, посивация,

контроль электро параметров, маркировка, упаковка.

Вспомогательное.

1. Очистка среды. Подготовка дионизованнои воды, химреактивов, очистка

газов, очистка среды в производственном помещении.

2. Изготовление инструмента. Фотошаблонов, сварочного инструмента,

инструмента посадки.

3. Изготовление вспомогательных узлов и деталей. Корпус, выводные

рамки.

1 стадия вспомогательного производства относится ко всем фазам основного.

2 стадия только к 2 и 3 фазе.

3 к З.

Классификация оборудования.

Всего 10 групп.

1. Оборудование входного контроля.

2. Обработки П/П материала.

3. Создания эпитаксиальных слоев.

4. Создания электронно-дырочных переходов различными методами (диффузии, ионное легирование).

5. Нанесения металлических слоев для получения не выпрямляемых контактов.

6. Фотолитографии и литографии.

7. Изготовления корпусов.

8. Сборки.

9. Измерения эл. параметров и испытания на климатические и механические воздействия.

10. Выполнения заключительных операций (окраска, маркировка, фасовка).

Особенности техники безопасности в п/п производстве.

Основных - 6:

1. Газы под давлением и в частности водород (взрывоопасен) кислород (взрывоопасен) с маслом.

2. Химреактивы (ожоги, отравления).

3. Легковоспломенимые вещества (пожароопасны, отравления).

4. Токи высокой частоты (ожоги).

5. Высокое напряжение (свыше 1000В).

6. Рентгеновское излучение.

Особенности ремонта.

С целью обеспечения, настройки, регулировки и ремонта оборудования, снижения роли оператора в технологическом процессе, современное оборудование развивается по нескольким направлениям:

1. Автоматизация производственных процессов, автоматизированное проектирование и ППС.

2. Модульная и модульно-блочная конструкция(основывается на модульных принципах построения.

Модульная компоновка позволяет оперативно монтировать и демонтировать комплексы в зависимости от изменения технического объёма, процесса, производить быстро, качественно ремонт.

Модульно-блочная - способствует созданию стандартных унифицированных элементов машин.

В современном оборудовании предусмотрена самодиагностика, предупреждение о возможных неисправностях.