Засоби очистки повітряного середовища.

Розвиток засобів ретельного знепилювання показано на рис. 1.1 . Спочатку необхідні параметри повітряного середовища забезпечувалися оредствані локального очищення ( рис. 1.1 , а ) , відкритими і герметичними боксами , фільтруючими модулями. Для забезпечення високого класу чистоти ці пристрої встановлювались в приміщеннях з кондиціонованим повітрям.

Типова конструкція відкритого боксу з вертикальним ламінарним потоком повітря зображена на рис. 1.2 . Повітря забирається з приміщення , пропускається через фільтр грубої очистки 3 і нагнітається насосом 4 у верхню порожнину , відокремлену від робочий зони високоефективним фільтром тонкого очищення 2 і пер-

форсованої гратами I , забезпечує при швидкостях повітря 0,2 ... 0,5 м / с потік , близький до ламінарного . У робочій зоні боксу встановлюється необхідне малогабаритне обладнання . Фільтруючі модулі призначені для установки порівняно великогабаритного устаткування. Вони включають в себе нагнетающефільтрующій блок і огорожу. Блок складається з фільтрів грубого і тонкого очищення і вентилятора між ними. В залежності від виконання модуля блок або підвішується до стелі (повітряний душ) , або спирається на огорожу.

Герметичні бокси застосовуються , коли пред'являються особливі вимоги до хімічного складу або вологості середовища , і складаються з герметичної камери і систе –

ми газозабезпечення , подає й відводить газ з робочої зони. Використання коштів локального знепилювання не могло задовольнити вимогам, що пред'являються до всіх операцій технологічного процесу , особливо із збільшенням ступеня інтеграції і зменшенням розмірів елементів ІС . для виконання найбільш відповідальних операцій , таких як виготовлення фотошаблонів , фотолітографія , напилення та інші , у другій половині 60- х років були розроблені чисті кімнати з ламінарним потоком ( рис. 1.1,6 ) .

Типова чиста кімната являє собою герметизований обсяг (рис. 1.3 ), що складається з робочого приміщення і там –

бура. У робочому приміщенні встановлено технологічне обладнання . Стелю кімнати набраний з нагнетающе – фільтруючих блоків 1 , що включають фільтри грубого і тонкого очищення і вентилятор . Використання сучасних фільтруючих матеріалів дозволяє ефективно очищати повітря від частинок розміром до 0,1 ...... 0,15 мкм. Через фільтр проникає в середньому лише одна така частинка з 10 000 . Стать 4 складається з просіканими металевих аркушів , на які покладена дерев'яна решітка . по периферії виконані вікна 3 для виходу повітря . Стіни набрані з панелей декількох модифікацій - глухих , з вікном б , дверима , з передавальним шлюзом 5 , які можуть набиратися в будь-якій послідовності . У такій чистій кімнаті може бути досягнутий перший клас чистоти. Повітря забирається і викидається в зовнішнє приміщення , в якому підтримуються необхідні температурно * влажностниє параметри . Подальшим кроком розвитку засобів для ретельного очищення повітря є комплексне використання засобів локальної очищення і чистих кімнат. Це панівне напрямок 70- х років ( рис. 1.1 , в). Площа чистих кімнат досягла 1000 м2 , в них стали розміщуватися цілі технологічні лінійки з випуску відповідальних ІС , кілька десятків одиниць обладнання . Однак такі системи мали недоліки : погіршення атмосфери при ремонті , наладці та профілактичної чищенні обладнання; складність видалення шкідливих відходів і домішок , що виділяються при роботі обладнання ; складність розводки комунікацій ; висока вартість експлуатації системи очищення і нагнітання повітря .