Список використаних джерел

1. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. – М.: Мир, 1989. – 333 с.

2. Черепин В.Г., Васильєв М.А. Справочник. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. – К.: Наукова думка, 1982. – 396 с.

3. Поп С.С., Шародi I.C. Фізична електроніка. – Львів: Євросвіт, 2001. – 250 с.

4. Нефедов В.И., Черепин В.Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. – М.: Наука, 1983. – 295 с.

5. Методы анализа поверхностей / Под ред. А.Зандерны. – М.: Мир, 1979. – 571 с.

6. Топорец А.С. Оптика шероховатой поверхности. – Л.: Машиностроение, 1988. – 184 с.

7. Борисов С.Ф. Физика поверхности. – Свердловск: Из-во Сверд. ун-та, 1987. – 103 с.

8. Нестеренко Б.А., Шкребтий А.И. Концепция адатомы – димеры в структурных представлениях поверхностных фаз грани Si(110) и систем Si(110) – Ni // Поверхность. Физика, химия, механика. – 1990. - №.7. – С.70-76.

9. Нестеренко Б.А. Снитко О.В. Физические свойства атомарно-чистой поверхности полупроводников. – К.: Наук. думка, 1983. – 264 с.

10. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. – М.: Мир, 1985. – 496 с.

11. Бушнев Л.С., Колобок Ю.Р., Мышляев М.М. Основы электронной микроскопии. – Томск: Изд. Томского ун-та, 1990. – 215 с.

12. Nano Technology System Division. – [Електронній ресурс]. – Режим доступу: http://www.smt.zeiss.com/leo.

13. Ткач С.В., Кузьменко Е.Ф., Ткач В.Н. Гонтарь А.Г, Шульженко А.А. Возможности цифровой растровой микроскопии высокого разрешения при исследовании структуры режущей двухслойной пластины //Сверхтвердые материалы. – 2003. – №5. – C. 24-30.

14. Курнаев В.А., Машкова Е.С., Молчанов В.А. Отражение легких ионов от поверхности твердого тела. – М.: Энергоатомиздат, 1985. – 192 с.

15. Ушенко О.Г. Лазерна поляриметрія фазово-неоднорідних об’єктів і середовищ. – Чернівці: Медакадемія, 2000. – 256 с.

16. Эллипсометрия – метод исследования поверхности / ред. А.В.Ржанов. – Новосибирск: Наука, 1983. – 180 с.

17. Франсон М. Фазово-контрастный и интерференционный микроскопы. – М.: Физматгиз, 1960. – 180 с.

18. Ляликов А.М., Серенко М.Ю. Интерференционная дефектоскопия периодических объектов в реальном времени с регулированием чувствительности измерений // Журнал технической физики. – 1999. – Т.69, № 10. – С.126-130.

19. Angelsky O.V., Maksimyak P.P., Hanson S.G., Ryukhtin V.V. New Feasibilities for Characterizing Rough Surfaces by Optical-Correlation Techniques // Applied Optics. – 2001. – V.40, No.31. – P.5693-5707.

20. Ангельський О.В., Максимяк П.П. Кореляційно-оптична діагностика випадкових та фрактальних шорстких поверхонь // Науковий вісник Чернівецького університету. Фізика. Електроніка. – 2001. – Вип.112. – С.37-47.

21. Блохин М.А. Физика рентгеновских лучей. – Л: Гостехиздат, 1953. – 234 с.

22. Синайський В.М., Сиденко В.И. Рентгеновская рефлектометрия (обзор) // ПТЭ. – 1974, №6. – С.131-160.

23. Parratt L.G. Surface Studies of Solids by Total Reflection of X-Rays.// Ph. Rev. – 1954. – V.95, No.2. – Р.359-369.

24. Кютт Р.Н. Трехкристальная дифрактометрия сверхрешеток и других многослойных эпитаксиальных структур // Металлофизика и новейшие технологии. – 2002. – Т.24, №4. – С.497-512.

25. Афанасьєв А.М., Александров П.А., Имамов Р.М. Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев. – М.: Наука, 1980. – 152 с.

26. Pietsch U., Borchard W. Lattice Parameter-Difference Measurement of Heteroepitaxial Structures by Means of Extremely Asymetrical Bragg Diffraction // Appl. Cryst. – 1987. – No.20. – P.8-10.

27. Binnig G., Rohrer H., Gerber Ch., Weibel E. Surface Studies by Scaning Tunneling Microscopy // Phys. Rev. Lett. – 1982. – V.49, No.1. – P.57-60.

28. Литвин О.С., Прокопенко І.В. Вивчення морфології поверхні полікристалічних плівок методом атомно-силової мікроскопії // Науковий вісник Чернівецького університету. Фізика. Електроніка. – 2001. – Вип. 112. – С.5-10.

29. Арутюнов П.А., Толстихина А.Л. Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть І // Микроэлектроника. – 1999. – Т.28, №6. – С.405-414.

30. Арутюнов П.А., Толстихина А.Л. Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть ІІ // Микроэлектроника. – 2000. – Т.29, №1. – С.13-22.

31. Goto K., Hane K., Tapping mode capacitance microscopy // Rev. Sci. Instrum. – 1997. – V.68, No.1. – P.120-122.

32. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. - Нижний Новгород: Изд-во института физики микроструктур, 2004. – 114 с.