Готовые опп
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ МАРШРУТ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПП ПОЗИТИВНЫМ МЕТОДОМ С МЕТАЛЛОРЕЗИСТОМ ОЛОВО-
СВИНЕЦ (ПРОЦЕСС 3)
|
|
|
Операция 1 |
НАРЕЗКА ЗАГОТОВОК ФОЛЬГИРОВАННОГО ДИЭЛЕКТРИКА |
|
|
|
Операция 14 |
ПРОБИВКА БАЗОВЫХ ОТВЕРСТИЙ |
|
Фотошаблон (позитив) |
|
Операция 2 |
ПОДГОТОВКА ПОВЕРХНОСТИ ПОД ФОТОРЕЗИСТ |
|
|
|
Операция 3 |
ПОЛУЧЕНИЕ РИСУНКА СХЕМЫ В ФОТОРЕЗИСТЕ (позитив) (НАНЕСЕНИЕ, ЭКСПОНИРОВАНИЕ, ПРОЯВЛЕНИЕ) |
|
|
|
Операция 4 |
КОНТРОЛЬ И РЕТУШЬ |
|
|
|
Операция 21 |
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ СПЛАВА ОЛОВО-СВИНЕЦ В ОКНА ФОТОРЕЗИСТА |
|
|
|
Операция 6 |
УДАЛЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА |
|
|
|
Операция 22 |
КОНТРОЛЬ, РЕТУШЬ И ПОДЧИСТКА ПО СПЛАВУ ОЛОВО-СВИНЕЦ |
|
|
|
Операция 23 |
ТРАВЛЕНИЕ МЕДИ НЕЗАЩИЩЕННОЙ ОЛОВО-СВИНЦОМ |
|
|
|
Операция 34 |
ОПЛАВЛЕНИЕ СПЛАВА ОЛОВО-СВИНЕЦ |
|
|
|
Операция 9 |
ОТМЫВКА ДПП |
|
|
|
Операция 14 |
СВЕРЛЕНИЕ КРЕПЕЖНЫХ ОТВЕРСТИЙ |
|
|
|
Операция 37 |
ВЫХОДНОЙ ВИЗУАЛЬНЫЙ КОНТРОЛЬ |
|
|
|
Операция 38 |
МЕХОБРАБОТКА ПО КОНТУРУ |
|
|
|
Операция 40 |
ОФОРМЛЕНИЕ И УПАКОВКА ДПП |
|
|
|
|
|
Готовые опп
ПРИЛОЖЕНИЕ
Форма таблицы 1
ТАБЛИЦА ДЛЯ ЗАПИСИ РЕЗУЛЬТАТОВ НАБЛЮДЕНИЙ
Процесс __________________________Вариант______________
(наименование)
|
Номер образца |
Номер операции в техмаршруте |
Наименование операции |
Характерные признаки операции |
Оборудование и материалы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ПРИЛОЖЕНИЕ
Форма таблицы 2
ТАБЛИЦА ДЛЯ ЗАПИСИ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ
Образец ______________________Процесс___________________
(код)
|
Измеряемый размер |
Ед.изм. |
минимальная величина |
максимальная величина |
|
Ширина проводника |
мкм |
|
|
|
Ширина зазора между проводниками |
мкм |
|
|
|
Толщина платы |
мкм |
|
|