Добавил:
sava
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Курсовые / Сборник курсовых по ФХОТЭС. ЮЗГУ ( КГТУ ) / Выполненные Работы / Насонов И. В. (КС-11) / Исходные данные
.docИсходные данные:
1. Исходные данные для расчета времени откачки предварительного вакуума:
2.Исходные данные для расчета ВАХ разряда, коэффициента распыления, скорости осаждения при катодном распылении:
(Кл)
3. Исходные данные для расчета температурного режима катода – мишени:
Соседние файлы в папке Насонов И. В. (КС-11)