Курсовые / Сборник курсовых по ФХОТЭС. ЮЗГУ ( КГТУ ) / Выполненные Работы / Насонов И. В. (КС-11) / Расчетная часть

Задание №1

Найдем время откачки предварительного вакуума

Задание №2

(Кл)

Найдем размер катодной области:

Найдем коэффициент ионизации:

Найдем коэффициент вторичной эмиссии:

Построение ВАХ разряда :

Расчет коэффициента рапыления :

- определение радиуса экранирования, сечения экранирования и нормирующего множителя энергии ионов :

- определение энергии сублимации иона и энергии максимума иона

энергия сублимации материала

- определение коэффициента, учитывающего периодические осцилляции коэффициента распыления в зависимости от расположения элемента в периодической таблице элементов Д. И. Менделеева:

- определение значения максимального коэффициента распыления

Определение скорости распыления:

Определение скорости осаждения :

Задание №3

Исходные данные для расчета температурного режима катода – мишени:

Найдем коэффициент теплоотдачи:

Найдем толщину стравливаемого слоя материала и плотность мощности, прикладываемой к мишени: