2.7 Результаты ионной очистки мкп
Опытная эксплуатация установки ионной очистки производилась в течение 3 месяцев: февраль-апрель 2013г. За этот период опытного применения в производстве МКП операции ионной очистки произведена ионная очистка 260 шт. ОВЗ и 787 шт. МКП различных типономиналов.
Из 787 забракованных при измерении электронно - оптических параметров МКП был ликвидирован брак по светлым точкам у 183 МКП, по автоэмиссии у 156 МКП, по сотовой структуре у 79 МКП. Всего было “реанимировано” 418 МКП, что составляет 53% из проходивших ИО бракованных МКП. Перечисленные МКП после измерений были признаны годными.
В таблице 2.23 и на рисунке 2.37 обобщены данные по электронно-оптическим параметрам МКП до и после ионной очистки. Рабочее напряжение МКП после ионной очистки увеличивается в среднем на величину 20В (апрель)- 30В (март), номинальное напряжение увеличивается в среднем на величину 25В (апрель)- 33В (март), пороговый ток СС увеличивается в среднем на величину около не более 100%. Результаты по изменению сопротивления – небольшое уменьшение на величину порядка 4% (март) и отсутствие изменения (апрель) противоречат ранее полученным: измерениях раннего периода был получен незначительный рост сопротивления МКП после ионной очистки.
Процент выхода годных МКП на операции ионной очистки представлен в таблицах 2.24, 2.25 и на рисунок 2.38, 2.39. Выход годных пластин на операции ионной очистки забракованных МКП зависит от вида брака: для брака светлые точки он составил 60-62 %, для брака по низкому пороговому току СС – 26-34 %, по автоэлектронной эмиссии – 60-66%.
Таблица 2.23 - Средние значения ЭП и ЭОП после первого измерения и после ионной очистки за март- апрель 2013г.
март |
||||
|
Uраб, В |
Uном, В |
R·108 ,Ом |
Iп СС·10-11 ,Ом |
Первое измерение |
746,61 |
985,17 |
2,65 |
8,64 |
Измерение после ИО |
775,75 |
1018,02 |
2,53 |
9,41 |
апрель |
||||
|
Uраб, В |
Uном, В |
R·108 ,Ом |
Iп СС·10-11 ,Ом |
Первое измерение |
752,77 |
997,65 |
2,40 |
9,30 |
Измерение после ИО |
771,79 |
1022,07 |
2,43 |
9,44 |
Рисунок 2.37 - ЭОП МКП до и после ИО
Таблица 2.24 - Процент выхода годных пластин после ИО (март 2013 г.)
-
Брак
Забракованных до ИО, шт
Годных после ИО, шт
Выход годных после ИО, %
"Светлые точки"
128
77
60,2
"Сотовая структура"
213
72
33,8
"Автоэмиссия"
104
69
66,3
Общая сумма
445
218
48,9
Рисунок2.38 Процент выхода годных пластин после ИО (март 2013г.)
Таблица 2.25 - Процент выхода годных пластин после ИО (апрель 2013г.)
Брак |
Забракованных до ИО, шт |
Годных после ИО, шт |
Выход годных после ИО, % |
"Светлые точки" |
171 |
106 |
62,0 |
"Сотовая структура" |
27 |
7 |
25,9 |
"Автоэмиссия" |
144 |
87 |
60,4 |
Общая сумма |
342 |
200 |
58,5 |
Рисунок 2.39 - Процент выхода годных пластин после ИО (апрель 2013г.)
Как уже было сказано, изменение параметров при ионной очистке МКП влияет на изменение параметров МКП в ЭОП и самих ЭОП.
В таблице 2.26 приведены параметры ЭОП 2+ поколения c МКПО18-8 двух блоков 55 и 56 из партии №21. Часть этих МКПО проходила ионную очистку после измерений, в процессе которой были удалены светлые точки ЧПЗ электронного изображения. Анализируя эти данные можно заключить, что ионная очистка не ухудшает усилительных свойств МКП в приборах применения, повышает отношение сигнал/шум, незначительно влияет на разрешающую способность прибора.
В таблице 2.27 для сравнения представлены данные о ЭОП 2+ поколения, в которых использовались МКП сборного блока, часть из которых проходила очистку с целью ликвидации браков ЧПЗ электронного изображения.
Анализируя приведенные данные можно отметить:
а) МКП, проходившие ионную очистку не уступают по усилению МКП без ионной очистки (не смотря на падение усиления при ПСИ);
б) отношение сигнал/шум ЭОП, МКП которых проходили ионную очистку в среднем на 5 отн. единиц выше, чем у ЭОП, МКП которых не проходили ионной очистки;
в) разрешающая способность ЭОП, МКП которых проходили ионную очистку несколько (в пределах 1пл/мм) выше, чем у ЭОП с МКП, изготовленными по стандартной технологии и не проходившими ионную очистку. Имеется еще один факт, который мы здесь приводим пока без обсуждения: ЭОП с МКП, прошедшими ионную очистку на стадии ОВЗ и готовой пластины имеют в среднем несколько более высокую (на 20-30мкА/лм) интегральную чувствительность фотокатода.
Таблица 2.26 - Параметры ЭОП 2+ с МКП, часть которых проходила ионную очистку перед отгрузкой (удаление светлых точек ЧПЗ)
|
№блока и МКП |
газоотделение отн.ед. |
Sф/к, мка/лм |
Uмкп, В |
RМКП·108,Ом |
Iэкр, нА |
N, пл/мм |
С/Ш |
|
начало |
конец |
||||||||
без ИО МКП |
55-1 |
_ |
_ |
408 |
752 |
2,45 |
14,5 |
45 |
47 |
-6 |
_ |
_ |
440 |
776 |
2,30 |
17 |
43 |
- |
|
-7 |
_ |
2 |
470 |
750 |
1,80 |
13,5 |
44 |
- |
|
-8 |
_ |
1 |
455 |
776 |
2,30 |
17 |
45 |
- |
|
-9 |
_ |
_ |
520 |
695 |
2,35 |
15 |
50 |
- |
|
-10 |
_ |
1 |
506 |
726 |
2,40 |
17 |
|
- |
|
13 |
_ |
2 |
460 |
733 |
2,45 |
17 |
43 |
- |
|
-19 |
15 |
2 |
500 |
730 |
2,00 |
16 |
44 |
- |
|
-20 |
_ |
_ |
460 |
760 |
2,00 |
17 |
43 |
- |
|
-21 |
_ |
_ |
490 |
730 |
1,80 |
19 |
37 |
- |
|
-22 |
40 |
4 |
516 |
714 |
1,80 |
16 |
41 |
- |
|
-23 |
45 |
5 |
480 |
727 |
2,40 |
18 |
44 |
- |
|
-25 |
_ |
2 |
462 |
732 |
2,40 |
16 |
48 |
- |
|
-26 |
_ |
_ |
430 |
764 |
1,90 |
19 |
- |
- |
|
ср.знач. |
|
|
471,2 |
740 |
2,17 |
16,6 |
43,9 |
47,0 |
|
с ИО МКП |
-4 |
_ |
_ |
573 |
740 |
2,20 |
17 |
43 |
- |
-18 |
_ |
6 |
446 |
738 |
2,20 |
17 |
44 |
- |
|
ср.знач. |
|
|
509,5 |
739 |
2,20 |
17 |
43,5 |
|
|
без ИО МКП |
56-1 |
_ |
_ |
482 |
763 |
2,60 |
17 |
40 |
47,9 |
-6 |
|
1 |
480 |
790 |
2,45 |
17 |
42 |
- |
|
-9 |
12 |
2 |
470 |
753 |
2,40 |
17 |
45 |
- |
|
-10 |
_ |
2 |
500 |
763 |
2,30 |
15 |
40 |
- |
|
-11 |
_ |
2 |
480 |
750 |
2,40 |
16 |
43 |
44,5 |
|
-12 |
_ |
_ |
380 |
790 |
2,30 |
16 |
42 |
- |
|
-13 |
_ |
_ |
412 |
784 |
2,70 |
16 |
43 |
- |
|
-14 |
_ |
_ |
402 |
770 |
2,90 |
16 |
39 |
- |
|
-16 |
_ |
3 |
502 |
760 |
2,30 |
16 |
50 |
- |
|
-18 |
90 |
6 |
470 |
772 |
2,60 |
16 |
43 |
- |
|
-23 |
_ |
1 |
480 |
780 |
2,70 |
16 |
43 |
- |
|
-24 |
_ |
_ |
470 |
775 |
2,70 |
19 |
42 |
45,4 |
|
-29 |
_ |
1 |
439 |
799 |
3,10 |
15 |
43 |
- |
|
-30 |
_ |
1 |
485 |
817 |
3,10 |
16 |
39 |
- |
|
-33 |
_ |
_ |
420 |
804 |
3,10 |
16 |
43 |
- |
|
-34 |
40 |
4 |
436 |
750 |
3,50 |
15 |
- |
- |
|
ср.знач. |
47,3 |
2,3 |
456,8 |
776 |
2,70 |
16,2 |
42,5 |
45,9 |
|
с ИО МКП |
-3 |
_ |
3 |
468 |
726 |
2,45 |
20 |
45 |
- |
-20 |
_ |
_ |
490 |
762 |
2,60 |
15 |
43 |
- |
|
-28 |
_ |
_ |
478 |
756 |
3,00 |
15 |
40 |
45,4 |
|
-32 |
45 |
4 |
430 |
732 |
3,20 |
15 |
43 |
- |
|
ср.знач. |
45 |
4 |
467 |
744 |
2,81 |
16 |
42,8 |
45,4 |
|
Таблица 2.27 - Параметры ЭОП 2+ с МКП, часть которых проходила ионную очистку перед отгрузкой (удаление светлых точек ЧПЗ)
|
№МКП |
газоотделение отн.ед. |
Sф/к, мка/лм |
Uмкп, В |
RМКП·108,Ом |
Iэкр, нА |
N, пл/мм |
С/Ш |
|
начало |
конец |
||||||||
с ИО МКП |
33/7-7 |
_ |
3 |
460 |
785 |
3,10 |
16 |
50 |
- |
-23 |
_ |
_ |
460 |
740 |
2,55 |
16 |
44 |
51,2 |
|
33/10-1 |
_ |
3 |
500 |
780 |
22,00 |
16 |
50 |
- |
|
33/22-20 |
_ |
_ |
430 |
780 |
3,70 |
19 |
45 |
- |
|
33/30-3 |
_ |
2 |
500 |
724 |
2,30 |
16 |
43 |
- |
|
33/31-30 |
_ |
2 |
460 |
733 |
2,45 |
17 |
43 |
- |
|
33/33-5 |
_ |
_ |
440 |
728 |
4,80 |
18 |
50 |
- |
|
60/15-3 |
_ |
7 |
450 |
745 |
2,45 |
15 |
47 |
- |
|
-4 |
_ |
3 |
510 |
720 |
2,40 |
15 |
43 |
52,5 |
|
-11 |
_ |
21 |
500 |
752 |
2,10 |
20 |
42 |
- |
|
60/18-9 |
_ |
1 |
510 |
704 |
2,60 |
15 |
38 |
53,3 |
|
60/19-16 |
_ |
1 |
485 |
720 |
2,50 |
15 |
|
- |
|
60/20-7 |
_ |
_ |
560 |
690 |
2,00 |
15 |
48 |
- |
|
60/21-2 |
_ |
_ |
549 |
700 |
1,60 |
16 |
42 |
- |
|
-3 |
_ |
3 |
485 |
730 |
1,80 |
16 |
45 |
- |
|
-5 |
_ |
5 |
532 |
716 |
1,55 |
15 |
50 |
55,1 |
|
-7 |
_ |
4 |
500 |
714 |
1,50 |
16 |
45 |
- |
|
-10 |
_ |
4 |
468 |
720 |
1,60 |
15 |
40 |
- |
|
60/24-31 |
_ |
7 |
460 |
718 |
2,40 |
14 |
48 |
- |
|
60/27-29 |
_ |
7 |
540 |
715 |
2,7 |
14 |
- |
- |
|
ср.знач. |
|
4,9 |
490,0 |
731 |
3,41 |
16,0 |
45,2 |
53,0 |
|
без ИО МКП |
56/33-2 |
_ |
_ |
550 |
705 |
2,80 |
15,0 |
45,0 |
- |
-4 |
_ |
_ |
400 |
753 |
2,30 |
14,0 |
42,0 |
- |
|
-6 |
_ |
2 |
440 |
706 |
2,80 |
14,0 |
50,0 |
- |
|
-7 |
_ |
_ |
509 |
755 |
2,05 |
20,0 |
45,0 |
- |
|
-8 |
_ |
_ |
520 |
782 |
2,20 |
|
|
- |
|
-10 |
_ |
_ |
470 |
766 |
2,00 |
15,0 |
44,0 |
- |
|
-11 |
_ |
4 |
470 |
732 |
2,30 |
15,0 |
43,0 |
- |
|
-13 |
_ |
2 |
455 |
762 |
2,15 |
16,0 |
43,0 |
46,8 |
|
-15 |
_ |
4 |
493 |
757 |
2,50 |
16,0 |
43,0 |
- |
|
-16 |
_ |
2 |
512 |
716 |
1,80 |
17,0 |
44,0 |
- |
|
-17 |
_ |
3 |
490 |
714 |
2,20 |
14,0 |
43,0 |
- |
|
-18 |
_ |
_ |
530 |
725 |
2,90 |
16,0 |
- |
- |
|
-20 |
_ |
_ |
464 |
732 |
2,65 |
18,0 |
- |
- |
|
-22 |
_ |
_ |
320 |
730 |
2,45 |
16,0 |
43,0 |
- |
|
-24 |
_ |
3 |
540 |
730 |
2,40 |
16,0 |
45,0 |
- |
|
-25 |
_ |
5 |
387 |
736 |
2,65 |
16,0 |
50,0 |
46,4 |
|
-26 |
_ |
4 |
450 |
700 |
2,30 |
15,0 |
47,0 |
- |
|
-28 |
_ |
4 |
455 |
712 |
2,40 |
15,0 |
48,0 |
- |
|
-32 |
_ |
2 |
490 |
723 |
2,90 |
16,0 |
50,0 |
- |
|
-33 |
_ |
_ |
385 |
736 |
2,80 |
16,0 |
- |
- |
|
-34 |
_ |
4 |
448 |
725 |
2,60 |
16,0 |
- |
- |
|
Таблица 2.27 - (продолжение)
без ИО МКП |
58/23-3 |
- |
18 |
446 |
724 |
3,00 |
16,0 |
44,0 |
- |
-5 |
- |
3 |
485 |
740 |
2,75 |
16,0 |
43,0 |
47,3 |
|
-12 |
- |
8 |
490 |
723 |
2,40 |
15,0 |
41,0 |
- |
|
60/28-13 |
- |
5 |
434 |
750 |
2,10 |
15,0 |
45,0 |
- |
|
60/31-2 |
_ |
5 |
514 |
706 |
1,80 |
13,0 |
42,0 |
- |
|
-3 |
_ |
10 |
472 |
743 |
1,40 |
18,0 |
42,0 |
- |
|
-4 |
_ |
6 |
445 |
771 |
1,50 |
13,0 |
44,0 |
- |
|
-6 |
_ |
1 |
457 |
718 |
1,60 |
14,0 |
43,0 |
- |
|
-8 |
_ |
3 |
436 |
750 |
1,24 |
17,0 |
42,0 |
44,7 |
|
-9 |
_ |
4 |
363 |
720 |
1,40 |
16,0 |
42,0 |
49,8 |
|
-10 |
_ |
2 |
533 |
695 |
1,54 |
15,0 |
44,0 |
53,9 |
|
-11 |
_ |
4 |
408 |
736 |
1,60 |
16,0 |
48,0 |
- |
|
-15 |
_ |
3 |
512 |
680 |
2,10 |
13,0 |
39,0 |
- |
|
-17 |
_ |
3 |
466 |
695 |
2,50 |
16,0 |
|
- |
|
-22 |
_ |
2 |
476 |
723 |
2,50 |
14,0 |
43,0 |
- |
|
-23 |
_ |
4 |
440 |
727 |
2,70 |
15,0 |
46,0 |
- |
|
-24 |
_ |
1 |
476 |
677 |
3,10 |
14,0 |
43,0 |
- |
|
-25 |
_ |
2 |
450 |
736 |
2,80 |
16,0 |
46,0 |
- |
|
61/14-19 |
_ |
1 |
416 |
715 |
2,40 |
16,0 |
45,0 |
- |
|
-20 |
_ |
_ |
450 |
754 |
2,30 |
15,0 |
50,0 |
- |
|
-25 |
_ |
3 |
502 |
722 |
2,30 |
16,0 |
40,0 |
- |
|
-26 |
_ |
5 |
455 |
697 |
2,90 |
14,0 |
44,0 |
- |
|
ср.знач. |
|
4,0 |
463 |
728 |
2,30 |
15,5 |
44,4 |
48,2 |
Таким образом, анализируя результаты исследований электронно-оптических параметров МКПО, которые подвергались воздействию ионной очистки в приведенном выше режиме на разных технологических стадиях изготовления, можно отметить определенное влияние ионной обработки. В зависимости от того, на каком этапе технологического маршрута ВЗ-МКП она производится, влияние ее на электрические и электронно-оптические параметры МКПО различно.