16.Тугоплавкие металлы.

Обычная эксплуатация при высоких тем-рах может быть обеспечена в атмосфере энертных газов или в вакууме. К ним будем относить Ме, у которых >1700 . Вольфрам =3400 , , 0,055мкОм*м. Из него изготавливают электроды, подогреватели, пружины в эл.приборах, рентгеновских трубках. В электровакуумном производстве применяют марки: «ВА»- вольфрам с кремнеалюминиевой присадкой. W обладает наименьшим коэф-м температурного расщепления, что важно при изготовлении термосогласованных спаев.

Молибден(Мо) =2620 , , 0,05мкОм*м. Высокая прочность, пластичность, лучший проводниковый материал для изготовления деталей сложной формы, работающих при высоких тем-рах. Используется в качестве нагревательных элементов эл.печей.

9.Сопротивление проводников на высоких частотах(вч).

На ВЧ наблюдается неравномерное распределение эл. тока по сечению проводника: плотность тока максимальна на поверхности и убывает по мере проникновения в глубь (скинэффект). Неравномерное распределение тока объясняется действием магнитного поля того же проводника. Если i= sin(wt), то индуцируемая ЭДС: = -wL cos(wt). имеет направление противоположное току в проводе и тормозит его изменение в соответствии с законом Ленца. При прохождении переменного тока переменное магн. поле возникает как вне проводника, так и внутри его. будет max в центре и затухает к поверхности. С ростом частоты вытеснение тока к поверхности проявляется сильнее. Резкость проявления скинэфекта также усиливается при увеличении магн. проницаемости и удельной проводимости . Глубина проникновения поля связана с физ. хар-ми проводника: = = . Эквивалентная площадь сечения круглого проводника занятая током при воздействии ВЧ поля определяется: = . Поскольку центральная часть сечения проводника практически не используется , активное сопротивление провода при прохождении по нему переменного тока будет больше, чем его активное сопротивление при постоянном токе. Тогда коэф-т увеличения сопротивления для провода круглого сечения: = . выполняется для значительно меньшего : м.

В электронике для плоских проводников используют спец. характеристику- сопротивление квадрата поверхности: = (Ом). Эта формула показывает, что акт. сопр. плоского проводника в случае скинэфекта будет равно сопр-ю плоского проводника толщиной для постоянного тока.

10.Сопротивление тонких металлических пленок

Ме плёнки в электронике широко используются в качестве межэлементных соединений контактных площадок обкладок кондёров, магнитных и резистивных элементов микросхем. Эл. свойства тонких плёнок Ме и сплавов значительно отличаются от свойств объёмных образцов исходных проводниковых материалов.

-толщина плёнки, I: 0,1 мкм и более; II:0,01-0,1мкм; III: 0,001мкм;

Причины различия свойств объёмных и плоских: 1) Разнообразие структурных характеристик тонких плёнок получаемых различнами методами ( от предельно неупорядоченного мелкодисперсного состояния – аморфный конденсатор, до структуры монокристаллического слоя – эпитаксиальные плёнки); 2)Проявление размерных эффектов ( преобладание поверхностных процессов по сравнению с объёмными);

При малом кол-ве осаждённого Ме его частицы располагаются на диэлектрической подложке в виде отдельных разрозненных зёрен-островков. При приложении эл. поля в плоскости плёнки происходит переход электронов через узкие диэлектрические зазоры между ближайшими островками.

Ответственна за перенос заряда: термоэл. эмиссия и тунелирование. Сопротивление плёнки островковой структуры во многом определяется сопротивлением свободных участков в диэл-ой подложке. При увеличении кол-ва осаждённого Ме, величина зазоров уменьшается, растёт, происходит слияние островков, образование проводящих цепочек и какалов, происходит образование сплошного слоя. В сплошной плёнке >чем у объёмного проводника. Кроме того происходит сокращение длины свободного пробега электронов в следствии отражения от поверхности Ме плёнки. Т.к. хар-р зарождения и роста плёнок зависит от случайных факторов, на практике трудно получить даже для плёнок одинаковой толщины.

Для сравнительной оценки тонких плёнок будем использовать , равное сопротивлению тонкой плёнки, где длина равна ширине при прохождении тока через две противоположные грани параллельные поверхности подложки. = . Подбором толщины плёнки можно изменять независимо от . Т.к. не зависит от величины квадрата, то сопротивление тонкоплёночного резистора: R= , - длина в направлении прохождения тока, - ширина. Для изготовления тонкоплён-х резисторов используют материалы с поверхностным сопр-м от 500 до 1000